专利名称：磁盘驱动器和磁头滑动器的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种磁盘驱动器和磁头滑动器。
背景技术：
常规磁盘驱动器读或写信息，同时在其上携带读/写磁头的磁头滑动器在旋转的磁记录介质上飞行。当飞行的磁头滑动器受到来自磁盘驱动器的外部的干扰或与旋转的磁记录介质接触时，它在其飞行高度方向上振动。
为了获得高密度磁记录，每年磁头滑动器的飞行高度变得越来越低，并且目前飞行高度低至接近10nm。但是，磁头滑动器的飞行高度的降低增加了磁头滑动器和磁记录介质的表面之间接触的概率，因而磁盘驱动器的可靠性可能恶化。因此，有必要使磁头滑动器在磁盘驱动器的内部稳定地飞行。
为了在常规磁盘驱动器中稳定磁头滑动器的飞行，采用以下技术例如，像负压磁头滑动器，在磁头滑动器的空气支承表面中形成负压凹槽，以增强磁头滑动器和磁记录介质之间的空气支承的刚性，由此增加对干扰的抵抗性。在磁头滑动器的空气支承表面中形成细密结构形状，以减小磁头滑动器与磁记录介质接触时引起的摩擦力。
最近进行了尝试，以改进磁头滑动器的空气支承表面的轨面形状，由此稳定磁头滑动器的飞行。例如，在日本专利特开号2000-353370(专利文献1)中，在磁头滑动器的空气支承表面的负压凹槽中形成压力控制凹槽，以控制飞行高度，由此抑制磁头滑动器的飞行高度变化，从而稳定该磁头滑动器的飞行。此外，例如在日本专利特开号2004-71140(专利文献2)中，用U-形形成磁头滑动器的空气支承表面，该U-形朝着前沿侧面上的方向开口，以减小由例如制造的变化引起的空气支承表面的飞行高度的变化灵敏度，由此稳定磁头滑动器的飞行。这些技术能够容易地通过仅仅增加用于常规磁头滑动器的空气支承表面的加工工序中的步骤数目来实现。考虑到这一点，可以说上述技术在稳定磁头滑动器的飞行中是有效的。
日本专利特开号2000-353370[专利文献2]日本专利特开号2004-71140[本发明解决的问题]但是，专利文献1和2中公开的磁盘驱动器是用于提高磁头滑动器的飞行过程中的稳定性，以防止磁头滑动器的大振动的发生。当由于来自磁盘驱动器外部的冲击或由于环境变化磁头滑动器主要在其飞行高度方向上振动时，或当磁头滑动器由于与磁记录介质接触而振动时，专利文献1和2中公开的磁盘驱动器不是如此有效。磁头滑动器和磁记录介质被设计为允许轻微的相互接触。但是，当它们处于连续的或强烈的互相接触时，很可能一个或两个都可能遭受物理损坏和磁损坏。如果磁头滑动器的大振动连续，很可能发生磁头滑动器与磁记录介质的连续或强烈接触，因此希望迅速地抑止磁头滑动器的振动。
本发明提供一种能迅速地抑止磁头滑动器的飞行高度方向上的平移和倾斜振动，同时稳定磁头滑动器的飞行的磁盘驱动器和磁头滑动器。
本发明还提供一种能迅速地抑止磁头的飞行高度方向上的平移、倾斜和旋转振动，同时稳定磁头滑动器的飞行的磁盘驱动器和磁头滑动器。
发明内容
在本发明的一个方面提供一种磁盘驱动器，包括用于记录信息的磁记录介质；以及用于在磁记录介质的表面上飞行并从磁记录介质读出信息或将信息写入磁记录介质的磁头滑动器；其中该磁头滑动器包括与磁记录介质的表面相对的滑动器空气支承表面和用于信息的读出或写入的磁换能器(Magnetic Transducer)；其中该滑动器空气支承表面包括前衬垫，包括在前沿侧面上的前轨面和比前轨面更深的前台阶支承表面；后衬垫，包括在后沿侧面上的后轨面和比后轨面更深的后台阶支承表面；以及在前衬垫和后衬垫之间插入的负压凹槽；其中该磁换能器被布置在后衬垫的后轨面的后沿附近；以及其中在后衬垫的后轨面中形成振动抑制凹槽，以便比后轨面更深并被封闭在其周围。
下面是在本发明的上述第一方面中的优选特定结构的例子。
(1)接近磁换能器的前沿形成振动抑制凹槽。
(2)在后台阶支承表面中形成气流调整凹槽以朝前沿一侧的方向开口，以便朝振动抑制凹槽的方向前进的气流量增加，后台阶支承表面相对于后轨面位于前沿侧面上。
(3)提供侧衬垫，该侧衬垫位于滑动器空气支承表面的两侧上以具有各个侧轨面。此外，每个侧轨面设有形成为比侧轨面更深并封闭在其周围的振动抑制凹槽。
在本发明的第二方面中，提供一种磁盘驱动器，包括用于记录信息的磁记录介质；以及用于在磁记录介质的表面上飞行并从磁记录介质读出信息或将信息写入磁记录介质的磁头滑动器；其中该磁头滑动器包括与磁记录介质的表面相对的滑动器空气支承表面和用于读出或写入信息的磁换能器；其中该滑动器空气支承表面包括前衬垫，包括在前沿侧面上的前轨面和比前轨面更深的前台阶支承表面；后衬垫，包括在后沿侧面上的后轨面和比后轨面更深的后台阶支承表面；以及在前衬垫和后衬垫之间插入的负压凹槽；其中该磁换能器被布置在后衬垫的后轨面的后沿附近；以及其中侧衬垫位于滑动器空气支承表面的两侧上，以便具有各个侧轨面，以及侧衬垫表面每个设有形成为比侧轨面更深并在封闭其周围的振动抑制凹槽。
下面是在本发明的上述第二方面中的优选特定结构的例子。
(1)侧轨面和比侧轨面更深的侧台阶支承表面构成侧衬垫，并且与前台阶支承表面邻接地形成侧台阶支承表面。
(2)后衬垫的后轨面设有形成为比后轨面更深并封闭在其周围的振动抑制凹槽。
在本发明的第三方面，提供一种用于在磁记录介质的表面上飞行并从磁记录介质读出信息或将信息写入磁记录介质的磁头滑动器。该磁滑动器包括滑动器空气支承表面，包括前衬垫，包括在前沿侧面上的前轨面和比前轨面更深的前台阶支承表面；后衬垫，包括在后沿侧面上的后轨面和比后轨面更深的后台阶支承表面；以及在前衬垫和后衬垫之间插入的负压凹槽；以及在后衬垫的后轨面的后沿附近布置的磁换能器；其中后衬垫的后轨面设有形成为比后轨面更深并封闭在其周围的振动抑制凹槽。
在本发明的第四方面，提供一种用于在磁记录介质的表面上飞行并从磁记录介质读出信息或将信息写入磁记录介质的磁头滑动器。该磁头滑动器包括滑动器空气支承表面，其包括前衬垫，包括在前沿侧面上的前轨面和比前轨面更深的前台阶支承表面；后衬垫，包括在后沿侧面上的后轨面和比后轨面更深的后台阶支承表面；以及在前衬垫和后衬垫之间插入的负压凹槽；以及在后衬垫的后轨面的后沿附近布置的磁换能器；侧衬垫位于后衬垫的后轨面两侧，以便具有各个侧轨面；以及分别设置在侧轨面中的振动抑制凹槽，以便形成得比侧轨面更深并被封闭在其周围。
根据本发明，可以以提供一种能迅速地抑止磁头的飞行高度方向上的平移、倾斜和旋转振动，同时稳定磁头滑动器的飞行的磁盘驱动器和磁头滑动器。
图1是根据本发明的第一实施例的磁盘驱动器的平面图。
图2是从滑动器的空气支承表面一侧观察时，第一实施例的磁头滑动器的视图。
图3是用于检查图2所示的磁头滑动器的计算中使用的空气支承表面模型的平面图。
图4是示出基于图3所示的空气支承表面模型的磁头滑动器的飞行高度方向上的平移振动的阻尼系数计算结果的视图。
图5是示出基于图3所示的空气支承表面模型的磁头滑动器的飞行高度方向上的倾斜振动的阻尼系数计算结果的视图。
图6是空气流入方向上的剖面图，图示了第一实施例的磁头滑动器中振动抑制凹槽的附近。
图7是交叉空气流入方向的方向上的剖面图，图示了第一实施例的磁头滑动器中振动抑制凹槽的附近。
图8是示出第一实施例中的阻尼系数随振动抑制凹槽的宽度变化而变化的视图。
图9是示出第一实施例中的阻尼系数随振动抑制凹槽的长度变化而变化的视图。
图10是示出第一实施例中的阻尼系数随振动抑制凹槽的深度变化而变化的视图。
图11是示出第一实施例中的阻尼系数随从振动抑制凹槽至磁换能器的距离变化而变化的视图。
图12是示出第一实施例中的用于200kHz的振动的阻尼系数随从振动抑制凹槽至磁换能器的距离变化而变化的视图。
图13是从滑动器的空气支承表面侧面观察时，根据本发明第二实施例的磁头滑动器34的视图。
图14是示出基于第二实施例中使用的空气支承表面模型的磁头滑动器的飞行高度方向上的平移振动的阻尼系数计算结果的视图。
图15是示出基于第二实施例中使用的空气支承表面模型的磁头滑动器的飞行高度方向上的倾斜振动的阻尼系数计算结果的视图。
图16是从滑动器的空气支承表面侧面观察时，根据本发明第三实施例的磁头滑动器的视图。
图17是用于检查图16所示的磁头滑动器34的计算中使用的空气支承表面模型的平面图。
图18是示出基于第三实施例中使用的空气支承表面模型的磁头滑动器的飞行高度方向上的旋转振动的阻尼系数计算结果的视图。
具体实施例方式
下面将参考附图描述本发明的优选实施例。在本实施例的附图中，相同的参考数字表示相同或相等效的部分。本发明包括实施例在必要时适当地结合成更有效的实施例的情况。
(第一实施例)下面将参考图1至12描述根据本发明的第一实施例的磁盘驱动器和磁头滑动器。
首先，将参考图1描述根据该实施例的磁盘驱动器的整个结构。图1是磁盘驱动器的平面图。
由31表示的磁盘驱动器包括磁记录介质32、主轴电机33、磁头滑动器34、致动器35、壳体36、电路板(未示出)以及缓冲部件38。
磁记录介质32以圆盘形状形成并具有其上记录信息的磁道。在由磁记录磁盘32的旋转产生的气流作用下，磁头滑动器34在磁盘表面上以轻微的间隙飞行并读取磁记录介质32上记录的信息或将信息写入该磁记录介质。在其尖端部分携带磁头滑动器34的致动器35使磁头滑动器34在磁盘表面上径向地移动并将它定位在预定磁道上。主轴电机33旋转地支撑磁记录介质32并以高速使磁记录介质旋转。
壳体36用薄的矩形形状形成并在其中容纳磁记录介质32、致动器35和主轴电机33。盖子(未示出)被提供作为壳体36的上表面。电路板使用印刷电路板，其控制主轴电机33和致动器35。该电路板被安装在壳体36的下表面下。利用螺钉等，该电路板被安装到附着于壳体36的支架，并平行于壳体36的下表面放置。缓冲部件38用于缓冲外部冲击等并且被安装以便覆盖壳体36的整个侧面。
接下来，将参考图2描述根据该实施例的磁头滑动器34。图2是从滑动器的空气支承表面一侧观察的磁头滑动器34的视图。
磁头滑动器34设有滑动器空气支承表面1，该滑动器空气支承表面1具有前沿2和后沿3。滑动器空气支承表面1包括在前沿侧面上提供的前衬垫4、在后沿侧面上提供的后衬垫5以及在前衬垫4和后衬垫5之间插入的负压凹槽6。
前衬垫4由位于互相远离的两侧上的两个前轨面8和比前轨面8更深的前台阶支承表面7组成。前台阶支承表面7被提供以便围绕前轨面8并且在前沿侧面上连接。此外，提供侧台阶支承表面9，该侧台阶支承表面9从前台阶支承表面7的两侧朝着后沿一侧的方向延伸。
后衬垫5包括中心地位于后沿侧面上的后轨面10和比后轨面10更深的后台阶支承表面11。后台阶支承表面11被形成以便围绕除其后沿侧面部分以外的后轨面10。
负压凹槽6形成为比前台阶支承表面8、侧台阶支承表面9和后台阶支承表面11更深并提供在前台阶支承表面8、侧台阶支承表面9以及后台阶支承表面11的两侧。
在后轨面10的中心和后沿3附近布置用于从磁记录介质读出信息或将信息写入磁记录介质的磁换能器12。
在后衬垫5的后轨面10中形成振动抑制凹槽13。该振动抑制凹槽13形成为比后轨面10更深并封闭在其周围。该振动抑制凹槽13位于磁换能器12的前沿侧面上并在磁换能器附近。该振动抑制凹槽13形成为比后轨面10更深和比负压凹槽6更浅。该振动抑制凹槽13被形成以便沿磁换能器12延伸并从其两端朝其两侧的方向凸出。
根据该实施例，由于在后轨面10中形成比后衬垫5的后轨面10更深并封闭在其周围的振动抑制凹槽13，因此可以改善空气膜刚性自然频率附近的阻尼系数。因此，磁头滑动器34的飞行高度方向上的平移和倾斜振动可以被迅速地抑止，同时稳定磁头滑动器34的飞行。通过在用于形成滑动器空气支承表面的现有工艺中仅仅向几个步骤添加某些修改，可以容易地执行振动抑制凹槽13的形成。
接下来，参考图3至5，将给出通过形成振动抑制凹槽13可以迅速地抑止磁头滑动器34的飞行高度方向上的平移和倾斜振动的特定描述。图3是用于计算以检查图2所示的磁头滑动器34的空气支承表面模型的平面图。图4是示出在使用图3所示的空气支承表面模型获得的磁头滑动器的飞行高度方向上，用于平移振动的阻尼系数的计算结果的视图。图5是示出在使用图3所示的空气支承表面模型获得的磁头滑动器的飞行高度方向上，用于倾斜振动的阻尼系数的计算结果的视图。在图4和5中，沿横坐标的轴绘制频率，并且沿纵坐标的轴绘制阻尼系数。
在磁头滑动器34的飞行过程中，滑动器空气支承表面1和磁记录介质32之间存在的空气膜的自然频率关于平移、倾斜和旋转振动在100至300kHz的范围之内。与磁记录介质32接触的振动中的频率成分的分析已揭示，上述范围中的自然频率成分的比例大。
但是，如图4和5中的特性曲线14和16所示，在低于100kHz的频率范围中，未设有振动抑制凹槽13的常规磁头滑动器34中的平移和倾斜振动的阻尼系数较大，并且在100至300kHz的空气膜自然频率范围中小。结果，在磁头滑动器34的飞行高度方向上，不可能迅速地抑止平移和倾斜振动。
另一方面，如图4和5中的特性曲线15和17所示，在100至300kHz的空气膜自然频率范围中，根据该实施例设有振动抑制凹槽13的磁头滑动器34中的平移和倾斜振动的阻尼系数大。因此，在磁头滑动器34的飞行高度方向上可以迅速地抑止平移和倾斜振动。
在图4中，由虚线表示的特性曲线14表示未设有振动抑制凹槽13的磁头滑动器34的飞行高度方向上的平移振动的阻尼系数计算结果，而由实线表示的特性曲线14表示根据该实施例设有振动抑制凹槽13的磁头滑动器34的飞行高度方向上的平移振动的阻尼系数计算结果。同样，在图5中，由虚线表示的特性曲线16表示在未设有振动抑制凹槽13的磁头滑动器34的飞行高度方向上克服倾斜振动的阻尼系数计算结果。另一方面，由实线表示的特性曲线17表示根据该实施例设有振动抑制凹槽13的磁头滑动器34的飞行高度方向上的倾斜振动的阻尼系数计算结果。
接下来，参考图6至12，提供以下描述，其关于磁头滑动器34中的振动抑制凹槽13的宽度w、长度l和深度d以及从振动抑制凹槽13至磁换能器12的距离是如何与阻尼性能相关的。图6是在空气流入方向上的并且在振动抑制凹槽13附近的根据该实施例的磁头滑动器34的剖面图。图7是在交叉空气流入方向的方向上的并且在振动抑制凹槽13附近的根据该实施例的磁头滑动器34的剖面图。图6和7的图例比实际更着重。图8至10示出了在该实施例中，阻尼系数怎样随振动抑制凹槽13的宽度w、长度l和深度d变化而变化。图11示出了阻尼系数怎样随从该实施例中的振动抑制凹槽13直至磁换能器12的距离x变化而变化。图12示出了对于200kHz的频率，阻尼系数怎样随从该实施例中的振动抑制凹槽13直至磁换能器12的距离x变化而变化。
由图8至10看到，根据该实施例的磁头滑动器34，振动抑制凹槽13的宽度w、长度l和深度d越大，在100至300kHz的范围中，阻尼系数越改善，但是在一定程度的宽度w、长度l和深度d下，能够获得足够的效果。通过优化这些参数能够预期更高的阻尼效应。
根据图8至10的计算结果，尽管在100至300kHz范围内，阻尼系数的峰值随振动抑制凹槽13的参数w、l和d变化而变化，但是峰值频率值没有这么大地变化。但是，通过从振动抑制凹槽13至磁换能器12的距离x，可以改变峰值频率值。亦即，由图11看到，当振动抑制凹槽13接近磁换能器12时，阻尼系数的峰值变为更高的频率。
由图12看到，当从振动抑制凹槽13至磁换能器12的距离x约为20μm时，对于200kHz的振动可以获得最高的阻尼效应。该结果说明每个ABS设计(空气支承表面设计)的空气膜共振频率被确定，并且对于如此确定的频率，从振动抑制凹槽13至磁换能器12的距离x和阻尼系数之间的关系被确定。以此方式，能够进行调整，以产生最高的阻尼效应。
因此，根据每个ABS设计，通过调整从振动抑制凹槽13至磁换能器12的距离x以改变阻尼系数的峰值频率位置，并且通过选择振动抑制凹槽13的适合宽度w、长度l和深度d，可以优化用于获得更高的阻尼效应的凹槽形状。
(第二实施例)接下来，参考图13至15描述本发明的第二实施例。图13是从滑动器的空气支承表面侧面观察时，根据本发明的第二实施例的磁头滑动器34的视图。图14是示出基于第二实施例中使用的空气支承表面模型的磁头滑动器的飞行高度方向上的平移振动的阻尼系数计算结果的视图。图15是示出基于第二实施例中使用的空气支承表面模型的磁头滑动器的飞行高度方向上的倾斜振动的阻尼系数计算结果的视图。在图14和15中，沿横坐标的轴绘制频率，并且沿纵坐标的轴绘制阻尼系数。
该第二实施例在以下点不同于第一实施例，并且在其他点与第一实施例基本上相同，因此不再赘述。
与第一实施例相比较，该第二实施例被构造以增加朝振动抑制凹槽13的方向前进的气流。亦即，在相对于后轨面10位于前沿侧面的后台阶支承表面11中，形成向前沿侧面开口的气流调整凹槽18。这增加了通过气流调整凹槽18朝着后台阶支承表面11的方向流动的空气量，由此增加了朝着位于后沿侧面上的振动抑制凹槽13的方向流动的空气量。
根据这种结构，在100至300kHz的空气膜自振频率范围中，磁头滑动器34中的平移和倾斜振动的阻尼系数变得非常大，分别如图14和15中的特性曲线20和24所示。因此，可以更迅速地抑止磁头滑动器34的飞行高度方向上的平移和倾斜振动。图14和15中的特性曲线14至17分别与图4和5中的特性曲线14至17相同。
(第三实施例)接下来，将参考图16至18描述本发明的第三实施例。图16是从滑动器的空气支承表面侧面观察时，根据本发明第三实施例的磁头滑动器的视图。图17是用于图16所示的磁头滑动器34的可检查计算的空气支承表面模型的平面图。图18图示了基于该第三实施例中使用的空气支承表面模型的磁头滑动器的飞行高度方向上的旋转振动的阻尼系数计算结果。在图18中，沿横坐标的轴绘制频率，并且沿纵坐标的轴绘制阻尼系数。由虚线表示的特性曲线29表示未设有振动抑制凹槽13的磁头滑动器34的飞行高度方向上的旋转振动的阻尼系数计算结果。由实线表示的特性曲线30表示具有根据第三实施例的振动抑制凹槽13的磁头滑动器34的飞行高度方向上的倾斜振动的阻尼系数计算结果。
该第三实施例在以下点不同于第一实施例，并且在其他点与第一实施例基本上相同，因此不再赘述。
在第三实施例中，在滑动器空气支承表面1的两侧上提供侧面衬垫25。侧面衬垫25具有侧轨面26和比侧轨面26更深的侧台阶支承表面28。在侧轨面26中形成振动抑制凹槽27，以便比侧轨面26更深并被封闭在其周围。与前台阶支承表面9邻接地形成侧台阶支承表面28。
根据第三实施例的这种结构，如图18中的特性曲线30所示，在100至300kHz的范围中，能够增加磁头滑动器34的飞行过程中旋转方向上的阻尼系数，并且在磁头滑动器34的飞行高度方向上可以迅速地抑止旋转振动。另一方面，在磁头滑动器34不具有振动抑制凹槽13的情况下，如图18中的特性曲线29所示，在100至300kHz的范围中，不能增加磁头滑动器34的飞行过程中旋转方向上的阻尼系数。
尽管在第三实施例中与前台阶支承表面9邻接地形成侧台阶支承表面28，但是在每个侧台阶支承表面28和相关的前台阶支承表面9之间可以插入负压凹槽6，以将前衬垫4与侧衬垫25隔离。此外，尽管在第三实施例中，仅仅在侧轨面26中形成振动抑制凹槽27，但是可以与第一或第二实施例结合，分别在后轨面10和侧轨面26中形成振动抑制凹槽13和27。
1滑动器空气支承表面，2前沿，3后沿，4前衬垫，5后衬垫，
6负压凹槽，7前轨面，8前台阶支承表面，9侧台阶支承表面，10后轨面，11后台阶支承表面，12磁换能器，13振动抑制凹槽，18气流调整凹槽，25侧衬垫，26侧轨面，27振动抑制凹槽，31磁盘驱动器，32磁记录介质，33主轴电机34磁头滑动器35致动器36壳体38缓冲部件
权利要求
1.一种磁盘驱动器包括用于记录信息的磁记录介质；以及适合于在所述磁记录介质的表面上飞行并从所述磁记录介质读出信息或将信息写入所述磁记录介质的磁头滑动器；其中所述磁头滑动器包括与所述磁记录介质的表面相对的滑动器空气支承表面以及用于读或写信息的磁换能器；其中所述滑动器空气支承表面包括前衬垫，包括在前沿侧的前轨面和比所述前轨面更深的前台阶支承表面；后衬垫，包括在后沿侧的后轨面和比所述后轨面更深的后台阶支承表面；以及在所述前衬垫和所述后衬垫之间插入的负压凹槽；其中所述磁换能器被布置在所述后衬垫的所述后轨面的后沿附近；以及其中在所述后衬垫的所述后轨面中形成振动抑制凹槽，以便比所述后轨面更深并被封闭在其周围。
2.根据权利要求1的磁盘驱动器，其中在所述磁换能器的前沿附近形成所述振动抑制凹槽。
3.根据权利要求2的磁盘驱动器，其中在所述后台阶支承表面中形成气流调整凹槽以朝向所述前沿一侧开口，以便朝所述振动抑制凹槽的方向前进的气流量增加，所述后台阶支承表面相对于所述后轨面位于所述前沿侧面上。
4.根据权利要求3的磁盘驱动器，还包括侧衬垫，其位于所述滑动器空气支承表面的两侧上以具有各个侧轨面；其中所述侧轨面每个设有形成为比所述侧轨面更深并在其周围封闭的振动抑制凹槽。
5.一种磁盘驱动器，包括用于记录信息的磁记录介质；以及适合于在所述磁记录介质的表面上飞行并从所述磁记录介质读出信息或将信息写入所述磁记录介质的磁头滑动器；其中所述磁头滑动器包括与所述磁记录介质的表面相对的滑动器空气支承表面和用于读或写信息的磁换能器；其中所述滑动器空气支承表面包括前衬垫，包括在前沿侧的前轨面和比所述前轨面更深的前台阶支承表面；后衬垫，包括在后沿侧的后轨面和比所述后轨面更深的后台阶支承表面；以及在所述前衬垫和所述后衬垫之间插入的负压凹槽；其中所述磁换能器被布置在所述后衬垫的所述后轨面的后沿附近；以及其中侧衬垫位于所述滑动器空气支承表面的两侧上，以便具有各个侧轨面，并且所述侧衬垫表面每个设有形成为比所述侧轨面更深并在其周围封闭的振动抑制凹槽。
6.根据权利要求5的磁盘驱动器，其中所述侧轨面和比所述侧轨面更深的所述侧台阶支承表面构成所述侧衬垫，并且所述侧台阶支承表面邻接前台阶支承表面。
7.根据权利要求5的磁盘驱动器，其中所述后衬垫的所述后轨面设有形成为比所述后轨面更深并在其周围封闭的振动抑制凹槽。
8.一种适合于在磁记录介质的表面上飞行并从所述磁记录介质读出信息或将信息写入所述磁记录介质的磁头滑动器，包括滑动器空气支承表面，包括前衬垫，包括在前沿侧的前轨面和比所述前轨面更深的前台阶支承表面；后衬垫，包括在后沿侧的后轨面和比所述后轨面更深的后台阶支承表面；以及在所述前衬垫和所述后衬垫之间插入的负压凹槽；以及布置在所述后衬垫的所述后轨面的后沿附近的磁换能器；其中所述后衬垫的所述后轨面设有形成为比所述后轨面更深并在其周围封闭的振动抑制凹槽。
9.一种适合于在磁记录介质的表面上飞行并从所述磁记录介质读出信息或将信息写入所述磁记录介质的磁头滑动器，包括滑动器空气支承表面，包括前衬垫，包括在前沿侧的前轨面和比所述前轨面更深的前台阶支承表面；后衬垫，包括在后沿侧的后轨面和比所述后轨面更深的后台阶支承表面；以及在所述前衬垫和所述后衬垫之间插入的负压凹槽；以及布置在所述后衬垫的所述后轨面的后沿附近的磁换能器；侧衬垫，位于所述后衬垫的所述后轨面两侧上，以便具有各个侧轨面；以及振动抑制凹槽，分别设置在所述侧轨面中，以便形成为比所述侧轨面更深并在其周围封闭。
全文摘要
一种磁盘驱动器设有磁记录介质和磁头滑动器34，该磁头滑动器用于在磁记录介质的表面上飞行并读出信息或写入信息。该磁头滑动器34包括滑动器空气支承表面1和磁换能器12。滑动器空气支承表面1包括具有前轨面8和前台阶支承表面9的前衬垫4、具有后轨面10和后台阶支承表面11的后衬垫5以及在前衬垫4和后衬垫5之间插入的负压凹槽6。在后轨面10中形成振动抑制凹槽13，以便比后轨面10更深并被封闭在其周围。
文档编号G11B5/60GK1933007SQ20061015367
公开日2007年3月21日 申请日期2006年9月12日 优先权日2005年9月14日
发明者清水裕树, 徐钧国, 李建华, 山崎敬法 申请人:日立环球储存科技荷兰有限公司