专利名称：一种带频率测试功能的存储器测试设备的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及储存器测试设备，尤其是一种带频率测试功能的储存器测试设备。
背景技术：
半导体自动化测试系统(ATE)，用于检测集成电路功能的完整性，为集成电路生产制造的最后流程，以确保集成电路生产制造的品质。现有的半导体自动化测试系统(ATE)通用工作原理，是针对被测存储器芯片进行选址后，通过输入输出管脚上的电平信号，读写数据到测试机内部的比较器，对比预期值和实测逻辑值获得PASS/FAIL的结果的测试过程。由于该特性，使得这类测试设备的输入、输出通道上，并不具备频率测试功能。如果遇到存储器测试中部分频率测试需求，必须使用额外的逻辑测试系统来进行频率测试的第二道测试工序。增加了很大的测试成本和测试工艺复杂程度，测试周期相对重复了 2次。
实用新型内容针对现有的半导体自动化测试系统在存储器测试过程中存在的上述问题，本实用新型提供一种带频率测试功能的储存器测试设备。本实用新型解决技术问题所采用的技术手段为一种带频率测试功能的存储器测试设备，包括存储器测试设备，所述存储器测试设备包括测试模块和测试引脚，所述存储器测试设备的测试模块与所述存储器测试设备的测试引脚连接，其中，还包括控制模块、控制开关和频率测试模块；所述控制模块与所述存储器测试设备的测试模块、所述控制开关及所述测试引脚分别连接，所述控制开关与所述存储器测试设备的测试模块及所述频率测试模块分别连接，所述频率测试模块与所述测试引脚连接。上述带频率测试功能的存储器测试设备，其中，所述频率测试模块包括输入输出单元、波形整形单元、分频单元、信号源和频率测试单元；所述输入输出单元与所述控制开关、波形整形单元以及所述测试引脚分别连接，所述波形整形单元与所述分频单元连接，所述分频单元与所述信号源及所述频率测试单元分别连接；所述频率测试单元与所述输入输出单元和所述控制模块连接。上述带频率测试功能的存储器测试设备，其中，所述频率测试单元与所述输入输出单元之间设有并行转串行部件，所述并行转串行部件与所述控制模块连接。上述带频率测试功能的存储器测试设备，其中，所述波形整形单元主要由高速斯密特触发器形成。上述带频率测试功能的存储器测试设备，其中，所述信号源主要由可编程频率合成器形成。上述带频率测试功能的存储器测试设备，其中，所述分频单元主要由锁相环电路形成。[0011]上述带频率测试功能的存储器测试设备，其中，所述频率测试单元主要由D触发器、一对可控计数器和一数据处理部件形成，所述D触发器的D端与一脉冲发生部件连接，所述D触发器的CP端与所述分频单元连接，所述D触发器的Q端分别与一对所述可控计数器的控制端连接，一对所述可控计数器其中之一的输入端与所述信号源连接，其中另一的输入端与所述分频单元连接，一对所述可控计数器的输出端分别与所述数据处理部件连接，所述处理部件与所述输入输出单元连接。上述带频率测试功能的存储器测试设备，其中，所述输入输出单元、波形整形单元、分频单元以及所述频率测试单元主要由一可编程逻辑器件通过编程的方式形成。上述带频率测试功能的存储器测试设备，其中，所述频率测试单元与所述并行转串行部件之间设有缓存部件。上述带频率测试功能的存储器测试设备，其中，所述并行转串行部件与所述存储器测试设备的测试模块连接。 本实用新型的有益效果是扩展了存储器测试设备品的频率测试功能，使得测试存储器芯片常规测试项目和频率测试能在同一台设备上一次连续测试完成。电路结构简单，成本低廉，安装无需改动元存储器测试设备硬件，频率范围大，精度高，不需对接口编程，不影响引脚正常测试功能，可以兼容各种存储器测试设备。
图I是本实用新型一种带频率测试功能的存储器测试设备的电路原理图；图2是本实用新型一种带频率测试功能的存储器测试设备的频率测试单元的电路原理图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，但不作为本实用新型的限定。如图I所示，本实用新型一种带频率测试功能的存储器测试设备，包括存储器测试设备，存储器测试设备包括测试模块和测试引脚，存储器测试设备的测试模块与存储器测试设备的测试引脚连接，其中，还包括控制模块、控制开关和频率测试模块；控制模块与存储器测试设备的测试模块、控制开关及测试引脚分别连接，控制开关与存储器测试设备的测试模块及频率测试模块分别连接，频率测试模块与测试引脚连接。存储器测试设备和频率测试模块共用测试引脚，当控制模块收到存储器测试设备的测试模块发出的功能切换指令时驱动控制开关切换测试引脚与存储器测试设备的测试模块和频率测试模块之间的连接。其中控制开关可以由继电器形成。在上述技术方案基础上，进一步的，频率测试模块包括输入输出单元、波形整形单元、分频单元、信号源和频率测试单元；输入输出单元与控制开关、波形整形单元以及测试引脚分别连接，波形整形单元与分频单元连接，分频单元与信号源及频率测试单元分别连接；频率测试单元与输入输出单元和控制模块连接。输入输出单元接收到测试引脚上来自待测存储芯片的频率信号后传送至波形整形单元进行整形处理，随后由波形整形单元将整形后的频率信号传送至分频单元进行分频处理，再由分频单元将分频后的频率信号传送至频率测试单元进行测试，频率测试单元测试完毕后将测试结果传送至输入输出单元，由输入输出单元将测试结果输出至存储器测试设备。其中，波形整形单元可以由高速斯密特触发器形成，分频单元可以由锁相环电路形成。进一步的，其中，频率测试单元主要由D触发器、一对可控计数器和一数据处理部件形成，D触发器的D端与一脉冲发生部件连接，D触发器的CP端与分频单元连接，D触发器的Q端分别与一对可控计数器的控制端连接，一对可控计数器其中之一的输入端与信号源连接，其中另一的输入端与分频单元连接，一对可控计数器的输出端分别与数据处理部件连接，处理部件与输入输出单元连接。脉冲发生部件发送一个预定宽度的高电平脉冲至D触发器的D端成为门控信号，经整形分频后的待测频率信号连接至CP端成为能使信号，待测频率信号的上升沿通过D触发器Q端同时启动一对可控计数器，一对可控计数器分别对 整形分频后的待测频率信号和标准信号同时计数并将结果输出至数据处理部件。结束频率测试时，脉冲发生部件发送一个预定宽度的低电平脉冲至D触发器的D端，经整形分频后的待测频率信号的一个上升沿将使一对可控计数器同时关闭。信号源可以由可编程频率合成器形成，较优的可以采用TI公司的I. IGHz⑶CE421A芯片，该单芯片可以通过可编程接口生成10. 9Mhz-l. 175Ghz的稳定信号，满足本实用新型的功能需求。利用该频率测试单元及测试方法，如果采用IGhz的信号源模块，预置门时间T=O. 1S，则误差<lXe-9，可见由测试频率带来的误差基本可以忽略。因此分段考虑被测频率信号，在整个测量范围内，其测量精度是不变的。进一步的，其中，频率测试单元与输入输出单元之间设有并行转串行部件，并行转串行部件与控制模块及存储器测试设备的测试模块分别连接，并行转串行部件将频率测试单元输出的测试结果转换为串行信号输出至存储器测试设备的测试模块。其中，由存储器测试设备的测试模块输入的脉冲同步信号作为并行转串行部件输出的同步信号同步存储器测试设备的测试模块与频率测频模块的数据传输。频率测试单元与并行转串行部件之间还可以设置缓存部件，用以缓存待转换的数据信号。在上述技术方案基础上，输入输出单元、波形整形单元、分频单元以及频率测试单元，还包括并行转串行部件和缓存部件可以由一可编程逻辑器件通过编程的方式形成，较优的可以选择CPLD器件形成上述单元。以上所述仅为本实用新型较佳的实施例，并非因此限制本实用新型的申请专利范围，所以凡运用本实用新型说明书及图示内容所作出的等效结构变化，均包含在本实用新型的保护范围内。
权利要求1.一种带频率测试功能的存储器测试设备，包括存储器测试设备，所述存储器测试设备包括测试模块和测试引脚，所述存储器测试设备的测试模块与所述存储器测试设备的测试引脚连接，其特征在于，还包括控制模块、控制开关和频率测试模块；所述控制模块与所述存储器测试设备的测试模块、所述控制开关及所述测试引脚分别连接，所述控制开关与所述存储器测试设备的测试模块及所述频率测试模块分别连接，所述频率测试模块与所述测试引脚连接。
2.如权利要求I所述带频率测试功能的存储器测试设备，其特征在于，所述频率测试模块包括输入输出单元、波形整形单元、分频单元、信号源和频率测试单元；所述输入输出单元与所述控制开关、波形整形单元以及所述测试引脚分别连接，所述波形整形单元与所述分频单元连接，所述分频单元与所述信号源及所述频率测试单元分别连接；所述频率测试单元与所述输入输出单元和所述控制模块连接。
3.如权利要求2所述带频率测试功能的存储器测试设备，其特征在于，所述频率测试单元与所述输入输出单元之间设有并行转串行部件，所述并行转串行部件与所述控制模块及所述存储器测试设备的测试模块连接。
4.如权利要求2所述带频率测试功能的存储器测试设备，其特征在于，所述波形整形单元主要由高速斯密特触发器形成。
5.如权利要求2所述带频率测试功能的存储器测试设备，其特征在于，所述信号源主要由可编程频率合成器形成。
6.如权利要求2所述带频率测试功能的存储器测试设备，其特征在于，所述分频单元主要由锁相环电路形成。
7.如权利要求2所述带频率测试功能的存储器测试设备，其特征在于，所述频率测试单元主要由D触发器、一对可控计数器和一数据处理部件形成，所述D触发器的D端与一脉冲发生部件连接，所述D触发器的CP端与所述分频单元连接，所述D触发器的Q端分别与一对所述可控计数器的控制端连接，一对所述可控计数器其中之一的输入端与所述信号源连接，其中另一的输入端与所述分频单元连接，一对所述可控计数器的输出端分别与所述数据处理部件连接，所述处理部件与所述输入输出单元连接。
8.如权利要求2所述带频率测试功能的存储器测试设备，其特征在于，所述输入输出单元、波形整形单元、分频单元以及所述频率测试单元主要由一可编程逻辑器件通过编程的方式形成。
9.如权利要求3所述带频率测试功能的存储器测试设备，其特征在于，所述频率测试单元与所述并行转串行部件之间设有缓存部件。
10.如权利要求3所述带频率测试功能的存储器测试设备，其特征在于，所述并行转串行部件与所述存储器测试设备的测试模块连接。
专利摘要本实用新型公开了一种带频率测试功能的存储器测试设备，包括存储器测试设备，所述存储器测试设备包括测试模块和测试引脚，所述存储器测试设备的测试模块与所述存储器测试设备的测试引脚连接，其中，还包括控制模块、控制开关和频率测试模块；所述控制模块与所述存储器测试设备的测试模块、所述控制开关及所述测试引脚分别连接，所述控制开关与所述存储器测试设备的测试模块及所述频率测试模块分别连接，所述频率测试模块与所述测试引脚连接。本实用新型的有益效果是扩展了存储器测试设备品的频率测试功能，使得测试存储器芯片常规测试项目和频率测试能在同一台设备上一次连续测试完成。
文档编号G11C29/08GK202512901SQ20122011081
公开日2012年10月31日 申请日期2012年3月22日 优先权日2012年3月22日
发明者童炜 申请人:上海华力微电子有限公司