存储器的检测方法、装置及模拟检测方法与流程

本申请实施例涉及半导体制造技术，涉及但不限于一种存储器的检测方法、装置及模拟检测方法。

背景技术：

1、在存储器的研发与制造过程中，往往需要对存储器进行大量的测试以确定是否存在制造过程中产生的异常。例如，由于产品制造过程中产生的线路短路、接触不良等等情况造成的漏电或者读写异常等现象。由于存储器产品的结构精密且复杂，需要通过一系列电性测试来识别出异常。然而，由于有些异常情况在一般的读写条件下不容易显现出来，但会影响使用寿命以及产品的可靠性。因此，需要一些更为可靠的检测方法，以准确识别出不易显现的异常情况。

技术实现思路

1、有鉴于此，本申请实施例提供一种存储器的检测方法及检测装置。

2、第一方面，本申请实施例提供一种存储器的检测方法，包括：

3、通过灵敏放大器(sa，sense amplifier)向待检测的存储单元写入第一数据；

4、通过所述灵敏放大器向所述存储单元写入第二数据，所述第二数据与所述第一数据不同，在写入所述第二数据时，缩短所述灵敏放大器的放大时长；

5、读取所述存储单元中存储的数据，并根据读取的数据确定所述存储单元是否异常。

6、在一些实施例中，所述在写入所述第二数据时，缩短所述灵敏放大器的放大时长，包括：

7、选通与所述存储单元耦接的位线，使待写入的写入电压传递至所述位线；

8、在选通所述位线后，延迟预定的第一时长开启所述灵敏放大器的放大功能；其中，所述灵敏放大器开启所述放大功能后基于所述写入电压向所述存储单元写入所述第二数据。

9、在一些实施例中，所述灵敏放大器包括：电源节点；所述在选通所述位线后，延迟预定的第一时长开启所述灵敏放大器的放大功能，包括：

10、在选通所述位线后，延迟所述第一时长后向所述电源节点施加开启电压以开启所述灵敏放大器的所述放大功能。

11、在一些实施例中，所述在写入所述第二数据时，缩短所述灵敏放大器的放大时长，包括：

12、选通与所述存储单元耦接的位线，使待写入的写入电压传递至所述位线；

13、在选通所述位线后，提前预定的第二时长关闭所述灵敏放大器的放大功能；其中，所述灵敏放大器开启所述放大功能后基于所述写入电压向所述存储单元写入第二数据。

14、在一些实施例中，所述灵敏放大器包括：电源节点；所述在选通所述位线后，提前预定的第二时长关闭所述灵敏放大器的放大功能，包括：

15、在选通所述位线后，延迟预定的第二时长向所述电源节点施加关闭电压以关闭所述灵敏放大器的所述放大功能。

16、在一些实施例中，所述写入第一数据时的第一写入时长与所述写入第二数据时的第二写入时长相等；

17、所述写入第一数据时所述灵敏放大器的第一放大时长大于所述写入第二数据时所述灵敏放大器的第二放大时长。

18、在一些实施例中，所述选通与所述存储单元耦接的位线，使待写入的写入电压传递至所述位线，包括：

19、在所述第二写入时长内选通与所述存储单元耦接的位线，使待写入的写入电压传递至所述位线；其中，所述第二写入时长大于灵敏放大器的第二放大时长。

20、在一些实施例中，所述存储器包括至少一个存储块，所述存储块包括多个存储单元；所述方法还包括：

21、在对所述待检测的存储单元写入第一数据的过程中，选通与所述待检测的存储单元耦接的字线，同步选通所述字线连接的多条位线，并向所述多条位线和所述字线耦接的多个存储单元中同步写入所述第一数据；

22、在对所述待检测的存储单元写入第二数据的过程中，向所述多条位线和所述字线耦接的多个存储单元中同步写入所述第二数据。

23、在一些实施例中，所述存储器的多个存储块上分别包含有所述待检测的存储单元；所述选通与所述待检测的存储单元耦接的字线，包括：

24、同步选通多个存储块上与所述待检测的存储单元耦接的字线。

25、第二方面，本申请实施例还提供一种存储器的检测装置，包括：

26、写入模块，被配置为：通过灵敏放大器向待检测的存储单元写入数据；

27、控制模块，被配置为：控制所述灵敏放大器放大时长；

28、读取模块，被配置为：读取所述存储单元中存储的数据，并根据读取的数据确定所述存储单元是否异常。

29、在一些实施例中，所述控制模块包括：

30、时序控制模块，被配置为：缩短所述灵敏放大器的放大时长。

31、在一些实施例中，所述时序控制模块包括：

32、延迟模块，被配置为：延迟开启所述灵敏放大器的放大功能。

33、在一些实施例中，所述时序控制模块，包括：

34、关断模块，被配置为：提前关闭所述灵敏放大器的放大功能。

35、第三方面，本申请实施例还提供一种模拟检测方法，所述方法包括：

36、通过控制灵敏放大器模拟向待检测的存储单元写入第一数据的过程；

37、通过控制所述灵敏放大器模拟向所述存储单元写入不同于所述第一数据的第二数据的过程，其中，在写入所述第二数据时，通过调整所述灵敏放大器的控制信号，缩短所述灵敏放大器的放大时长；

38、读取所述存储单元中存储的数据，并根据读取的数据确定所述存储单元是否异常。

39、在一些实施例中，所述在写入所述第二数据时，通过调整所述灵敏放大器的控制信号，缩短所述灵敏放大器的放大时长，包括：

40、在选通所述存储单元选通的位线后，通过提供延迟开启的控制信号，缩短所述灵敏放大器的放大时长。

41、在一些实施例中，所述在写入所述第二数据时，通过调整所述灵敏放大器的控制信号，缩短所述灵敏放大器的放大时长，包括：

42、在选通所述存储单元选通的位线后，通过提供提前关闭的控制信号，缩短所述灵敏放大器的放大时长。

43、本申请实施例的技术方案，先在存储单元中写入第一数据，然后重新写入不同于第一数据的第二数据。并且在写入第二数据时缩短灵敏放大器的放大时长。这样，一方面缩短灵敏放大器的放大时长增大了写入的难度，从而使存在异常的存储单元更难以写入正确数据；另一方面，写入第二数据如果不成功，则存储单元中存储的数据仍为第一数据，从而更容易被检测到，进而提升了检测准确率。

技术特征：

1.一种存储器的检测方法，其特征在于，所述方法包括：

2.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述在写入所述第二数据时，缩短所述灵敏放大器的放大时长，包括：

3.根据权利要求2所述的检测方法，其特征在于，所述灵敏放大器包括：电源节点；所述在选通所述位线后，延迟预定的第一时长开启所述灵敏放大器的放大功能，包括：

4.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述在写入所述第二数据时，缩短所述灵敏放大器的放大时长，包括：

5.根据权利要求4所述的检测方法，其特征在于，所述灵敏放大器包括：电源节点；所述在选通所述位线后，提前预定的第二时长关闭所述灵敏放大器的放大功能，包括：

6.根据权利要求2至5任一所述的检测方法，其特征在于，所述写入第一数据时的第一写入时长与所述写入第二数据时的第二写入时长相等；

7.根据权利要求6所述的检测方法，其特征在于，所述选通与所述存储单元耦接的位线，使待写入的写入电压传递至所述位线，包括：

8.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述存储器包括至少一个存储块，所述存储块包括多个存储单元；所述方法还包括：

9.根据权利要求8所述的检测方法，其特征在于，所述存储器的多个存储块上分别包含有所述待检测的存储单元；所述选通与所述待检测的存储单元耦接的字线，包括：

10.一种存储器的检测装置，其特征在于，包括：

11.根据权利要求10所述的检测装置，其特征在于，所述控制模块包括：

12.根据权利要求11所述的检测装置，其特征在于，所述时序控制模块包括：

13.根据权利要求11所述的检测装置，其特征在于，所述时序控制模块，包括：

14.一种模拟检测方法，其特征在于，所述方法包括：

15.根据权利要求14所述的方法，其特征在于，所述在写入所述第二数据时，通过调整所述灵敏放大器的控制信号，缩短所述灵敏放大器的放大时长，包括：

16.根据权利要求14所述的方法，其特征在于，所述在写入所述第二数据时，通过调整所述灵敏放大器的控制信号，缩短所述灵敏放大器的放大时长，包括：

技术总结
本申请实施例公开了一种存储器的检测方法、装置及模拟检测方法，所述方法包括：通过灵敏放大器向待检测的存储单元写入第一数据；通过所述灵敏放大器向所述存储单元写入不同于所述第一数据的第二数据，在写入所述第二数据时，缩短所述灵敏放大器的放大时长；读取所述存储单元中存储的数据，并根据读取的数据确定所述存储单元是否异常。本申请实施例通过在写入第二数据时缩短灵敏放大器的放大时长，使得存在异常的存储单元更容易被检测到，进而提升了检测准确率。

技术研发人员：第五天昊,楚西坤,刘东
受保护的技术使用者：长鑫存储技术有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13