专利名称：写/读头支撑机构以及写/读系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种用于写/读系统，例如硬盘驱动器(下文简称为HDD)或光盘驱动器的写/读头支撑机构，以及一种包括这种写/读头支撑机构的写/读系统。
背景技术：
与HDD一起使用的现有技术的磁头支撑机构，一般由带有电磁变换(器)元件的滑动器、用于支撑该滑动器的悬架、以及与该电磁变换(器)元件相连接的互连图案组成。
该电磁变换(器)元件包括用于将电信号转换为磁信号的磁极与线圈(反之亦然)，用于将磁信号变换为电压信号的磁阻效应元件等等，每一个都是通过薄膜工艺、组装工艺等进行制造的。该滑动器由非磁性陶瓷，比如Al2O3-TiC或CaTiO3构成，或者由磁性材料，比如铁氧体构成，并且一般具有立方体形状。该滑动器与盘介质相对的表面(空气支承面)加工成适于产生压力的形状，以使滑动器以一小的间隙飞在盘介质上。
用于支撑该磁头的悬架通过对一弹性不锈钢片进行弯曲、冲压或以其它方式加工来形成。
对于互连图案已建议一种设置方案，典型地如在JU-A 61-153117中所陈述，其中在该悬架上构成的互连线通过导线连接至电磁变换(器)元件上；以及另一种设置方案，其中全部互连线以同该悬架表面紧密接触的方式产生。
另一方面，随着记录密度越来越高，HDD日益地需要减少尺寸，因而HDD具有越来越高的轨迹密度和越来越窄的轨迹宽度。为了改善高密度记录HDD中的轨迹精度，提供带有致动器的磁头，以使电磁变换(器)元件或滑动器相对于该悬架产生微量位移是有效的。这样的致动器，例如在日本专利公开6-259905，6-309822以及8-180623中已被公开。
发明概述带有致动器的磁头存在的一个问题是，用于将悬架侧边连接至电磁变换(器)元件的互连线可能对滑动器相对于该悬架的相对位移形成障碍，这种情况当滑动器由致动器驱动时会发生。
然而，公开关于设置致动器的上述出版物并未提及有关用于将悬架侧边连接至电磁变换(器)元件的互连线的任何内容。换句话说，或者说当然，该互连线对该致动器位移能力的影响并未受到考虑。
本发明的目的在于提供一种用于带有微量位移致动器的磁盘或光盘系统的写/读头支撑机构，借助于该支撑机构，对该致动器位移能力的任何障碍都得到消除。
通过由以下(1)至(11)限定的本发明的构成，该目的可得以实现。
(1)一种写/读头支撑机构，包括一配备有电磁变换(器)元件或光学组件(optical module)的滑动器，以及一悬架，其中所述滑动器通过一用于移动所述滑动器的致动器支撑在所述悬架上，至所述电磁变换(器)元件或所述光学组件的电连接，由通过所述致动器可沿所述滑动器的位移方向移动和/或变形的第一互连装置构成，以及至所述致动器的电连接由第二互连装置构成。
(2)根据上述(1)的写/读头支撑机构，其中所述第一互连装置包括离开所述悬架表面浮动的导线。
(3)根据上述(2)的写/读头支撑机构，其中离开所述悬架表面浮动的所述导线为连接线。
(4)根据上述(1)的写/读头支撑机构，其中所述第一互连装置包括一挠性印刷线。
(5)根据上述(1)的写/读头支撑机构，其中所述第一互连装置通过使线与所述悬架的表面紧密接触，然后除去一部分所述悬架，致使与所述悬架的表面紧密接触的一部分所述线处于浮动状态来形成。
(6)根据上述(1)的写/读头支撑机构，其中所述第一互连装置在所述悬架的表面上形成，同时所述第一互连装置与其紧密接触，并容许一低硬度的区域存在于所述悬架的一部分之上，致使所述第一互连装置可通过所述致动器沿所述滑动器的位移方向移动和/或变形。
(7)根据上述(1)至(6)中任一条的写/读头支撑机构，其中至少一部分所述第一互连装置和至少一部分所述第二互连装置不能存在于所述悬架的同一表面上。
(8)根据上述(1)至(7)中任一条的写/读头支撑机构，其中所述致动器应用逆压电效应或电致伸缩效应。
(9)根据上述(1)至(8)中任一条的写/读头支撑机构，其中磁头激励IC芯片装在所述悬架上。
(10)根据上述(1)至(9)中任一条的写/读头支撑机构，它包括一驱动所述悬架的主致动器。
(11)一种写/读系统，包括如上述(1)至(10)中任一条所述的写/读头支撑机构。
附图简述
图1A为根据本发明第一方面在磁头中悬架的与介质相对表面的平面视图。
图1B为图1A所示悬架的平面视图，其上安装有滑动器且致动器位于其间。
图1C为图1B的侧视图。
图2为根据本发明第一方面的磁头一示范结构的侧视图。
图3为根据本发明第一方面的磁头另一示范结构的侧视图。
图4为该悬架与介质相对表面的平面视图。
图5A为根据本发明第二方面在磁头中悬架的与介质相对表面的平面视图。
图5B为图5A所示悬架的平面视图，其上安装有滑动器，且致动器位于其间。
图5C为图5B的侧视图。
图6A为根据本发明第三方面在磁头中悬架的与介质相对表面的平面视图。
图6B为图6A所示悬架的平面视图，其上安装有滑动器且致动器位于其间。
图6C为图6B的侧视图。
图7为根据本发明第三方面的磁头的平面视图，其中滑动器安装在悬架上并且致动器位于它们之间。
图8为根据本发明第四方面的磁头的平面视图，其中滑动器安装在悬架上并且致动器位于它们之间。
图9A为根据本发明第三方面在磁头中悬架的与介质相对表面的平面视图。
图9B为图9A所示悬架的平面视图，其上安装有滑动器且致动器位于其间。
图10为磁头支撑机构一示范结构的分解透视图。
本发明的优选实施方案根据本发明的写/读头支撑机构，包括一配备有电磁变换(器)元件或光学组件的滑动器，以及一悬架，悬架上安装该滑动器同时一使该滑动器移动的致动器置于它们之间。现在将参照带有安装于滑动器上的电磁变换(器)元件的磁头对本发明进行解释。
首先，对悬架、致动器和滑动器的典型结构进行说明。
图10为包括致动器的磁头支撑机构一示范结构的分解透视图。该磁头支撑机构由配备有电一磁换能器元件1的滑动器2和用于支撑该滑动器2的悬架3构成，悬架3带有致动器4置于该滑动器2和悬架3之间。
致动器4引起滑动器2相对于悬架3的微量位移，并通过与位于悬架3一端部的万向块3a相接合进行固定。万向接头块3a通过用刻蚀、冲压或其它类似方法在悬架构件中设置沟槽来构成，以使该滑动器能跟随盘介质表面。这里要指出的是，该磁头配备一主致动器用于驱动整个悬架。
致动器4包括一固定部分43和一可动部分44，并进一步包括两个杆状位移发生机构41和41。每个位移发生机构41至少配备一个在两面具有电极层的压电或电致伸缩材料层，并以如此方式构成，致使它依照施加在电极层上的电压产生伸长与缩短。该压电或电致伸缩材料层由压电或电致伸缩材料构成，依靠逆压电效应或电致伸缩效应产生伸长与缩短。位移发生机构41的一端通过固定部分43与悬架相联接，而且位移发生机构41的另一端通过可动部分44与滑动器相联接。依照位移发生机构41的伸长与缩短，滑动器如此地产生移动，使得电磁变换(器)元件产生环形移动。这进而引起电磁变换(器)元件横跨盘介质上的记录轨迹。
在夹在致动器4的位移发生机构41中电极层之间的压电或电致伸缩材料层由所谓的压电材料，比如PZT构成时，该压电或电致伸缩材料层通常要经过极化处理，以便改善其位移能力。通过此极化处理的极化方向为该致动器的厚度方向。当依照施加在电极层上的电压的电场方向与该极化方向成直线时，两电极层之间的压电或电致伸缩材料层沿其厚度方向上伸长(纵向压电效应)，而沿其平面方向缩短(横向压电效应)。另一方面，当电场方向与极化方向相反时，压电或电致伸缩材料层沿其厚度方向缩短(纵向压电效应)，而沿其平面方向伸长(横向压电效应)。当收缩感生的电压交替地施加于一个位移发生机构与另一个位移发生机构上时，一个位移发生机构与另一个位移发生机构之间的长度比发生变化，以致两个位移发生机构在该致动器平面中的同一方向内产生偏斜。通过这一偏斜，可动部分44以不存在电压时由可动部分44的位置限定的滚转与俯仰运动为中心，沿图10中箭头所示的方向相对于固定部分43产生滚转与俯仰。这一滚转与俯仰运动使得可动部分44可沿基本上垂直于位移发生机构41的伸长与缩短方向的方向作环形移动，且此滚转与俯仰运动的方向位于致动器的平面内。因而，电磁变换(器)元件也在环形轨道内产生滚转与俯仰。此时，不用担心极化的减弱，因为电压方向与极化方向是成直线的。需要指出的是，即使当因交替施加于其上的电压使两个位移发生机构伸长时，类似的滚转与俯仰运动也会发生。
在所说明的致动器中，电压可以这样的方式同时加在两个位移发生机构上，使得它们的位移彼此反向。换句话说，交变电压可以这样的方式同时加在两个位移发生机构上，使得一个伸长而另一个缩短，反之亦然。此时，可动部分44的滚转与俯仰运动的中心由不存在电压时可动部分44的位置予以限定。假定此处使用同一激励电压，滚转与俯仰运动的幅度比电压交替运用的情况大一倍左右。于是，在此情况下滚转与俯仰运动的一侧位移发生机构如此伸长，以致激励电压的方向与极化方向相反。因此，压电或电致伸缩材料层的极化在施加高电压下或在持续施加电压时可能产生衰减。因而要求在与极化方向相同的方向施加衡定的直流偏压并将前述交变电压叠加在该偏压上以获得激励电压，从而排除激励电压的方向与极化方向相反的可能性。在此情况下，滚转与俯仰运动的中心由在该偏压单独加于其上时的位移发生机构的状态限定。
致动器4具有一种结构，其中位移发生机构41、以及固定与可动部分43与44通过对带有在给定地段形成的电极层的薄片状压电或电致伸缩材料构件进行打孔与开槽构成一整体的单独零件。因此可能提高致动器的硬度及尺寸精度，而无需担心组装的误差。此外，对致动器的生产不使用任何的粘合剂，因为在因位移发生机构的变形而产生应力的致动器位置附着任何粘合剂层是非常靠不住的。另外指出，如像由于粘合剂层造成传输损耗与粘合强度随时间变化的问题是绝对不可能发生的。
此处使用的“压电或电致伸缩材料”指的是由于逆向压电效应或电致伸缩效应能产生伸长或缩短的材料。只要能应用于致动器位移发生机构的任何期望的压电或电致伸缩材料都可以使用。然而，由于高硬度的原因，通常优选使用陶瓷压电或电致伸缩材料，比如PZT〔Pb(Zr，Ti)O3〕、PT(PbTiO3)、PLZT〔(Pb，La)(Zr，Ti)O3〕，以及钛酸钡(BaTiO3)。当致动器由陶瓷压电或电致伸缩材料制做时，使用厚膜工艺，比如薄层加工或印刷方法可容易地生产。需要指出，该致动器也可用薄膜工艺进行生产。当压电或电致伸缩材料具有晶体结构时，它既可以是多晶结构，也可是单晶结构。
对于如何形成电极层并不施加特定的限制；从各种工艺方法，比如印刷、焙烧、溅射以及导电膏的干燥中可做出适宜的选择，同时考虑到如何形成压电或电致伸缩材料层。
致动器可具有任意的结构，其中至少一个在两面上都有电极层的压电或电致伸缩材料层存在于位移发生机构上。但是，优选使用一种多层结构，其中两个或多个这样的压电或电致伸缩材料层彼此叠加。压电或电致伸缩材料层的伸长与缩短量正比于电场强度。然而，前述的多层结构使得它能够将压电或电致伸缩材料层做得如此之薄，以致所需电场强度可在低电压下获得，以致激励电压可以降低。使用与单层结构同样的激励电压时，伸长与缩短的量可变得大得多。压电或电致伸缩材料层的厚度不是关键性的，因而可依据各种条件，比如激励电压、需要的伸长与缩短总量以及生产的容易程序进行确定。然而，在本发明的实际应用中通常优选大约5μm至大约50μm的厚度。同样，彼此叠加的压电或电致伸缩材料层的数量的上限不是关键性的，因而可以这样的方法进行确定，能获得具有希望厚度的位移发生机构。需要指出，包覆的压电或电致伸缩材料层通常设置于最外部电极层上。
尽管没有说明，根据情况悬架3在其表面上装备有一激励致动器4的互连图案和一连接至电磁变换(器)元件1的互连图案。悬架3在其表面上还可配备一头激励IC芯片(读/写IC)。如果信号处理IC安装在该悬架上，则有可能减少从电磁变换(器)元件至该信号处理IC的互连图案的长度，以致信号频率可由于电感分量的降低而增高。
虽然本发明适用于使用所说明的整体结构的致动器的场合，应该理解，本发明还可应用于具有利用压电元件的组装结构的各种致动器、应用静电力的致动器、以及电磁力被应用的各种场合。
悬架3通常由弹性的金属材料，比如不锈钢构成。另一方面，对于互连图案它的一部分具有一般的结构，其中树脂包覆导线与悬架表面产生紧密的接触。对于如何形成具有这种结构的互连图案并不施加特殊的限制；但是优选使用一种方法，其中在悬架3的表面上形成一绝缘树脂膜，并且随后通过在其上形成另一树脂膜作为保护膜而在该树脂膜上形成导线，以及一种方法，其中具有包括这样的树脂膜和导线的多层结构的互连膜结合至悬架3上。
在具有如在此所述结构的磁头支撑机构中，至电磁变换(器)元件的电连接，由通过致动器致动可沿滑动器的位移方向移动和/或变形的第一互连装置构成，至该致动器的电连接，由第二互连装置构成。
然后，对第一与第二互连装置的典型结构予以说明。
本发明第一方面的一个典型实施方案示于图1A、1B与1C中。图1A为从悬架3与介质相对一侧看到的、并且致动器与滑动器从其被去除的悬架3的平面视图。图1B为图1A悬架3的平面视图，其上安装有滑动器2，致动器4位于它们之间。图1C为图1B所示实施方案的侧视图。
参见图1A，带有用于激励致动器的三条导线的第二互连装置52与悬架3同介质相对的表面紧密接触地进行设置，在其基端侧与设置在悬架3同介质相对表面上的一组端接电极91相连接，在其前端侧与设置在万向块3a上的一组端接电极92相连接。在此应指出，在端接电极组91中的每一个端接电极与待连接至致动器的激励电路和/或写/读电路的导线(未示出)相连接。
在具有四条待与电磁变换(器)元件相连接的导线的第一互连装置中，与悬架3同介质相对的表面紧密接触的密接触线51A通过端接电极组93与导线51B相连接，如图1B所示，导线51B至少在与电磁变换(器)元件相接合的附近离开悬架3浮起。在第一互连装置的基端侧，紧密接触线51A与上述端接电极组91相连接，而在前端侧导线51B穿过在悬架3中形成的通孔31至悬架3的背表面，于是它们绕过悬架3的前端返回，端接于设置在滑动器2上的电磁变换(器)元件中的端接电极组的接点上。
按照图1A、1B与1C中所示本发明的第一方面，由导线51B完成对设置于滑动器2上的电磁变换(器)元件的连接。这些导线51B可通过致动器4沿滑动器2的位移方向运动和/或变形，因而不会对致动器4的位移能力设置障碍。
在本发明的实际应用中，连接线可用离开悬架表面浮动的导线。图2与3为典型连接线装置的侧视图。
如图2与3中所示，延伸至悬架3末端部分的紧密接触线51A在其末端配备有端接电极组，其借助于连接线51E随后再连接至设置于滑动器2上的电磁变换(器)元件中的端接电极组。连接线51E具有如图所示的多余长度，因而它能沿滑动器2的位移方向运动和/或变形。而且在该实施方案中，第一互连装置对致动器4的位移能力也不会设置障碍。
通过线连接工艺来形成连接线51E。使用自动连接装置使得互连步骤能如此自动化完成，以致生产率能得到改进，并导致成本降低。为进行线连接，可采用通常使用的热压接合工艺、超声接合工艺、以及在热压过程中应用超声波的热-声接合工艺。对于连接线的材料不施加特殊的限制；由通常使用的Au、Al、Cu等中可进行适宜的选择。然而，Au因其良好的抗腐蚀性而特别地被优选。虽然取决于何种材料被使用于连接线，其直径可以如此地进行确定，以使在具有足够挠性的同时可达到充分的导电能力及机械强度，以便不对滑动器2的位移设置障碍。但是，连接线应优选具有20至50μm的直径。太细的连接线使得导电能力与机械强度可能变得不够充分，而太粗的连接线又可由于其过高的硬度而阻碍滑动器2的位移。
在图2中，致动器4位于滑动器2的背表面一侧，即滑动器2与悬架3相对的表面上，如图1C所示。另一方面，在图3中致动器4位于滑动器2的一侧，以便保持整体低的高度。在包含于其中的所有装置中，不用说使用连接线的互连装置，如图2或图3所示，滑动器应优选相对于致动器进行设置。
在上面刚刚提到的实施方案中，不需要伴随致动器的激励产生运动或变形的第二互连装置，以同该悬架表面紧密接触的方式形成。这是优选的结构，因为几乎没有必要对第二互连装置进行调整，于是形成第二互连装置的步骤可被简化。然而，在本发明的实际运用中，例如如图4所示，使至少一部分第二互连装置52离开悬架3浮动是可以接受的。
本发明第二方面的一个典型实施方案示于图5A、5B与5C。图5A为从悬架3相对于介质的一侧观察到的悬架3的平面视图，而且致动器及滑动器已从中去除。图5B为图5A悬架3的平面视图，在该悬架上安装有滑动器2，且致动器4位于它们之间。图5C为图5B所示实施方案的侧视图。
根据本发明第二方面的这一实施方案与根据第一方面的实施方案相同，但是对于图1B中的导线51B使用挠性印刷线51C除外。在该实施方案中使用的挠性印刷线51C能够沿滑动器2的位移方向产生移动和/或变形；而且在该实施方案中，第一互连装置也不会对致动器4的位移能力设置障碍。
本发明第三方面的一个典型实施方案示于图6A、6B与6C中。图6A为从悬架3与介质相对一侧观察到的悬架3的平面视图，而致动器及滑动器已从中去除。图6B为图6A悬架3的平面视图，在该悬架上安装有滑动器2，且致动器4位于它们之间。图6C为图6B所示实施方案的侧视图。
如图6A所示，在本发明第三方面中第二互连装置52具有如同本发明其余方面的紧密接触结构。
图6A所示的第一互连装置，包括与悬架3紧密接触的密接触线51A和离开悬架3浮动的导线51D。该第一互连装置通过在悬架3与介质相对的表面上形成紧密接触线，然后去除悬架3的前端部分，从而使一部分紧密接触线置于浮动状态来形成。在所说明的实施方案中，带有包含四个端接电极的端接电极组94的紧密接触线预先在悬架3的前端部形成。然后悬架3的前端部被去除，以保留端接电极组94以端接电极片32的形式存在的区域。然后，使浮动线51D弯曲或转弯以便将端接电极组94与滑动器2上的端接电极组相连接，如图6B与6C所示。然而在本发明的实际运用中，对于形成端接电极片32没有必需的要求；也就是说，第一互连装置可直接与滑动器2上的端接电极组相连接。悬架3一部分的去除可通过，例如湿法刻蚀来达到。
按照本发明的第三方面，至少提供浮动线51D的一部分最先形成的紧密接触线，应如所示的那样优选转弯或弯曲。这使得浮动线51D可沿滑动器2的位移方向通过致动器4容易地产生运动和/或变形，于是按照本发明的第三方面，第一互连装置对致动器4的位移能力也不会设置障碍。
本发明第三方面的一种改进示于图7中。该项改进与图6B所示实施方案的区别在于，在靠近悬架前端的部位，第一互连装置中的紧密接触线51A变成浮动线51D。因而，该浮动线51D比图6B中的更容易移动与变形。图7所示的结构可以按照与图6B所示同样的方式来形成。
本发明的第三方面适用于生产过程的自动化，因为工序的数量可小于图1B及图5B中的。另外，由于第一互连装置的实质部分包括紧密接触线，所以几乎不需要任何调整，结果稳定性得到改进。
在根据本发明第四方面的磁头实施方案中，第一互连装置以同悬架3的表面紧密接触的方式进行设置，且悬架3的一部分配备有一低硬度区，如图8中所示，该区域及与其表面紧密接触的第一互连装置51因而可沿滑动器2的位移方向移动和/或变形。在图8中，该低硬度区由设置于悬架3前端部的狭窄的低硬度区33限定。该低硬区的形状、宽度及长度可以如此确定，以致滑动器2的位移不会受到阻碍，同时位移量，位移的频率等都得到考虑。
根据本发明第四方面的磁头可用类似于根据本发明第三方面磁头的方法进行生产。返回来参见说明本发明第三方面的图6A，端接电极片32与悬架3完全分开。然而，在生产根据第四方面的磁头时，使端接电极片32与悬架3部分接触是可接受的，借此容许第一互连装置与部分接触区域发生紧密接触。换言之，如果狭窄区域是借助于蚀刻或冲压、任选地蚀刻或冲压出悬架前端部的外缘，通过提供穿过悬架3前端部的通孔而保留的，则该区域可提供低硬度的区域33。在这方面，根据配备以紧密接触线使悬架3成形或在预成形的悬架3上形成紧密接触线也是可接受的。
在图8中，致动器4位于滑动器2的一侧。但是，本发明的第四方面也可应用于致动器4位于滑动器2背表面侧的结构。在此情况下，需要将悬架的前端部跨越致动器朝滑动器弯曲或转弯，而且一部分上述前端部具有足够低硬度，以便能够通过致动器沿滑动器的位移方向移动和/或变形。另外说明，悬架的前端部优选应如此进行弯曲或转弯，使得端接电极片如同图6C所示端接电极片32的情形超过致动器4并达到滑动器2。
并且，按照本发明的第四方面，端接电极片32如同本发明第三方面一样不是必不可少的。进一步说，同本发明的第三方面，本发明的第四方面由于工序数量可以减少而适用于生产过程自动化。更进一步说，由于第一互连装置的实质部分包含紧密接触线，所以任何的调整几乎都是不必要的，结果稳定性得到提高。
在本发明的实际运用中，如分别在图1B及图5B中典型示出的那样，最好是至少一部分第一互连装置与至少一部分第二互连装置不在悬架的同一个表面之上。这使得有可能减小头信号与致动器激励信号之间的互相干扰。
按照本发明的第一与第二方面，紧密接触线51A可在悬架3远离介质的表面上形成，同时悬架3不配备通孔31。按照本发明的第三方面，紧密接触线51A可在悬架3远离介质的表面上形成，以致浮动线51D可以越过悬架3的前端。
当致动器4位于滑动器2的侧边上时，容许同两侧共同结合。然而，由于相对小的结合面积粘接强度常会变得不足。因而在此情况下，最好使用能以大面积与滑动器2和致动器4两者结合的支持件。图9A中所示为本发明第三方面磁头的一个实施方案，其中提供了这样一种支持件。在图9A中，支持片34起前述支持件的作用。该支持片34的尺寸足以使得与滑动器2的背表面及致动器4中可动部分的背表面两者相结合。如图9B中所示，该支持片结合至并跨接两个背表面。所说明的支持片34如图6A所示带有端接电极片32的情形一样，具有一端接电极组94，并可如带端接电极片32的情况一样，通过对悬架3进行处理来形成。
在这方面，提供带有端接电极组94的支持片34并不是基本要求，即是说，支持片34可设计成只起支持件的作用。虽然所表示的支持片34为一独立于悬架3的构件，应该理解，如图8所示带有端接电极片32的情形那样，该支持片可以作为悬架3的一部分构成。因而，该支持片不仅可用于本发明的第三方面，还可用于本发明的第一、第二与第四方面。
虽然本发明是参照写/读头当中的HDD磁头进行的，但应理解，本发明也可应用于光盘系统。传统的光盘系统利用包括有至少包括一个透镜的光学组件的光拾取器。该光拾取器如此进行设计，使得该透镜可被机械调整，以便在光盘的记录表面上聚焦。近年来，近场记录被提出以便达到愈来愈高的光盘记录密度。在这方面，可参见“NIKKEI ELECTRONICS”，1997.6.16(No.691)，99页。这种近场记录利用一种悬浮头，该悬浮头使用一种与同悬浮型磁头一起使用的滑动器相类似的滑动器。装设于该滑动器内部的为一光学组件，其包括一被称作固体浸没透镜或者SIL的半球状透镜、磁场调制记录线圈以及预聚焦透镜。另一种近场记录用的悬浮头公开于No.5，497，359的美国专利中。随着更高的记录密度，这样的悬浮头也日益需要具有更高的跟踪精度，如HDD磁头的情形一样。于是，微量位移致动器对于该悬浮头也是有效的。因此，本发明也可应用于光学记录介质用的这种写/读头(光学头)。
更概括地说，本发明可应用的光学头包括一类似于前述磁头中的滑动器，且其中内置一光学组件，或者本身是由光学组件构成的滑动器。该光学组件至少包括一透镜，如果需要，还带有结合于其中的透镜致动器和磁场产生线圈。这种光学头，例如，不仅包括如上面刚描述的那种用于近场记录的悬浮头，而且包括其中滑动器可在记录介质表面上滑动的光学头，即准接触型(pseudo-contact type)或接触型光学头。为了对本发明应用于光学头的情况易于理解，前面说明中的电磁变换(器)元件应作为光学头被读出。应该理解，本发明同样可应用于准接触型或接触型磁头。
从概念上讲，这里使用的术语写/读头”应包括写/读头、只写头、和只读头。同样，这里使用的术语“写/读系统”应包括写/读系统、只写系统、及只读系统。这里使用的术语“记录介质”，除可记录介质外，同样应包括只读型介质，比如只读光盘。
为弄清本发明的优点，特完成以下实验。
实验例1准备如图1A、1B与1C所示那样结构的磁头。镀覆聚酰亚胺的导线用作紧密接触线51A，具有40μm外径的导线用于导线51B。与紧密接触线51A相同的导线用于第一互连装置52。
提出了所使用的致动器采用PZT(压电常数d31=-200×10-12m/V)作为压电或电致伸缩材料。当10V(直流偏压)±10V以这样的方式施加于两个位移发生机构上，致使正弦波激励电压的相位彼此反相时，可移动部分表现出大约±0.5μm的位移量。
使用这种磁头，致动器在2.5克磁头载荷之下受到激励。因此，设置在滑动器2上的电磁变换(器)元件的位移量大约为+0.5μm，这表示致动器的位移能力没有受到损害。
实验例2准备具有如图2所示那种结构的磁头。紧密接触线51A及第二互连装置如实验例1中那样形成。具有25μm直径的导线用于连接线51E。使用的致动器及滑动器与实验例1中的相同。
该磁头如同实验例1中那样受到激励。因此，该致动器位移能力不会被削弱是确实的。
实验例3准备具有如图7所示那种结构的磁头。第二互连装置52如实验例1中那样形成。第一互连装置以下面的方式形成。首先，在悬架表面上形成紧密接触线。在此情况下，然后用湿法刻蚀掉悬架的一部分，由此使一部分紧密接触线离开悬架3浮动。照这样，获得包括有紧密接触线51A及浮动线51D的第一互连装置。
该磁头如同实验例1中那样受到激励。因此，致动器的位移能力不会被削弱是确实的。
本发明优点在本发明的写/读头支撑机构中，由于悬架侧边是借助于通过致动器沿滑动器的位移方向移动或变形的互连装置与电磁变换(器)元件相连接，故该致动器的位移能力不会受到阻碍。
日本专利申请Nos.10-341131与11-200358结合于此作为参考。
在这里说明与描述的结构表明本发明的原理。可对所说明的实施方案进行改进但不脱离本发明的精神与范围。因此本发明包括由所附权利要求及所有适当的等同物限定的主题内容。
权利要求
1．一种写/读头支撑机构，包括一配备有电磁变换(器)元件或光学组件的滑动器，以及一悬架，其中所述滑动器通过一用于移动所述滑动器的致动器支撑在所述悬架上，至所述电磁变换(器)元件或所述光学组件的电连接，由通过所述致动器可沿所述滑动器的位移方向移动和/或变形的第一互连装置构成，以及至所述致动器的电连接由第二互连装置构成。
2．根据权利要求1的写/读头支撑机构，其中所述第一互连装置包括浮动离开所述悬架表面的导线。
3．根据权利要求2的写/读头支撑机构，其中离开所述悬架表面浮动的所述导线为连接线。
4．根据权利要求1的写/读头支撑机构，其中所述第一互连装置包括一挠性印刷线。
5．根据权利要求1的写/读头支撑机构，其中所述第一互连装置通过使线与所述悬架的表面紧接接触，然后除去一部分所述悬架，致使与所述悬架的表面紧接接触的一部分所述线处于悬浮状态来形成。
6．根据权利要求1的写/读头支撑机构，其中所述第一互连装置在所述悬架的表面上形成，同时所述第一互连装置与之紧密接触，并容许一低硬度区域存在于所述悬架的一部分之上，致使所述第一互连装置可通过所述致动器沿所述滑动器的位移方向移动和/或变形。
7．根据权利要求1至6中任一权利要求的写/读头支撑机构，其中至少一部分所述第一互连装置和至少一部分所述第二互连装置不能存在于所述悬架的同一表面上。
8．根据权利要求1至7中任一权利要求的写/读头支撑机构，其中所述致动器应用逆压电效应或电致伸缩效应。
9．根据权利要求1至8中任一权利要求的写/读头支撑机构，其中磁头激励IC芯片装在所述悬架上。
10．根据权利要求1至9中任一权利要求的写/读头支撑机构，它包括一驱动所述悬架的主致动器。
11．一种写/读系统，它包括如权利要求1至10中任一权利要求所述的写/读头支撑机构。
全文摘要
本发明的目的在于提供一种用于带有微量位移致动器的磁或光盘系统的写/读头支撑机构,通过它使得对该致动器位移能力的任何妨碍都得以消除。一种写/读头支撑机构,包括配备有电磁变换(器)元件或光学组件的滑动器以及悬架。该滑动器通过用于移动滑动器的致动器支撑在悬架上。至电磁变换(器)元件或所述光学组件的电连接,由通过致动器致动可沿滑动器的位移方向移动和/或变形的第一互连装置构成,以及至致动器的电连接由第二互连装置构成。
文档编号G11B5/48GK1288559SQ99802098
公开日2001年3月21日 申请日期1999年11月12日 优先权日1998年11月13日
发明者添野佳一, 纲隆满, 市川慎司, 白石一雅, 和田健 申请人:Tdk株式会社