专利名称：记录/重放头支撑机构和记录/重放装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及，硬盘驱动器(以下简称HDD)或光盘驱动器等记录/重放装置中的记录/重放头支撑机构，以及有着此一记录/重放头支撑机构的记录/重放装置。
背景技术：
用于HDD的现有技术的磁头支撑机构，一般由悬挂件来支撑设有电磁转换元件的滑块，在悬挂件表面上设置连接到电磁转换元件的配线图案。
电磁转换元件，包括把电信号与磁信号相互转换用的磁极和线圈，此外，包括把磁信号转换成电压信号用的磁阻效应元件等，这些通过薄膜成形技术和组装技术等来形成。滑块，由Al2O3-TiC或CaTiO3等非磁性陶瓷或铁氧体等磁性体来构成，其形状大体上为立方体形，对着盘媒体的表面(空气轴承面)加工成适合于产生与盘媒体隔开微小的距离而悬浮用的压力的形状。支撑磁头的悬挂件，是通过对具有弹性的不锈钢板等实行弯曲或落料等加工形成的。配线图案，一般为用树脂覆盖层覆盖导体线的结构。由设在悬挂件表面上的配线图案实现的电气上的连接，由于与引线实现的电气上的连接相比，电容成分和电感成分变小，所以适合于高频信号的记录。
在HDD中，随着小型化、高密度记录化的进展，信道密度更高了，信道宽度更窄了。高密度记录HDD中为了提高信道精度，在记录/重放头上设置使电磁转换元件或滑块对悬挂件微小位移的致动器是有效的。这种致动器，记载于例如日本专利申请公开特开平6-259905号公报、特开平6-309822号公报、特开平8-180623号公报中。
发明的公开在由上述那种致动器来驱动滑块之际，滑块对于悬挂件相对地位移。此时，如果相邻的头构成要素接触，也就是说，如果致动器与悬挂件接触，致动器与滑块接触，滑块与悬挂件接触，则存在着因摩擦而妨碍致动器的位移性能，电磁转换元件的定位精度降低的可能性。此外，存在着各头构成要素的可靠性因摩擦负载、碰撞冲击而降低的可能性。此外，存在着起因于磨损或碰撞引起的尘埃产生等，记录重放性能的可靠性降低的可能性。但是，在记载了设置致动器的前述各公报中，没有考虑可能在各头构成要素之间产生的这种问题。
本发明的目的在于，在包括微小位移用的致动器的磁盘装置或光盘装置的记录/重放头支撑机构中，防止致动器的位移性能的妨碍，同时使可靠性提高。
这种目的，通过下述构成来实现。
(1)一种记录/重放头支撑机构，其中作为头构成要素至少包括滑块、悬挂件和致动器，在前述滑块上设置电磁转换元件或光学模块，前述滑块经由前述致动器支撑于前述悬挂件，可以由前述致动器使前述滑块对于前述悬挂件相对地位移，包括在相对地位移的头构成要素之间设置空隙用的空隙形成机构。
(2)上述(1)的记录/重放头支撑机构，其中作为前述空隙形成机构利用设在相对地位移的头构成要素之间的电极、配线图案和粘接构件中的至少一个。
(3)上述(2)的记录/重放头支撑机构，其中前述粘接构件具有导电性。
(4)上述(1)～(3)中的任何一种记录/重放头支撑机构，其中作为前述空隙形成机构利用设在相对地位移的头构成要素的至少一个上的台阶。
(5)上述(1)～(4)中的任何一种记录/重放头支撑机构，其中前述空隙的尺寸为5～50μm。
(6)上述(1)～(5)中的任何一种记录/重放头支撑机构，其中前述空隙形成机构，关于悬挂件、致动器和滑块各自的与悬挂件延伸方向平行的中心线对称地配置。
(7)上述(1)～(6)中的任何一种记录/重放头支撑机构，其中前述空隙形成机构中的至少一个，由3个以上的构成单位构成，前述3个以上的构成单位中的至少3个不是排列成直线形。
(8)上述(1)～(7)中的任何一种记录/重放头支撑机构，其中经由前述空隙相向的致动器表面与悬挂件表面几乎平行，和/或，经由前述空隙相向的致动器表面与滑块表面几乎平行。
(9)上述(1)～(8)中的任何一种记录/重放头支撑机构，其中在至少一个前述空隙中，作为摩擦降低机构存在着润滑剂，此一润滑剂，含有具有与前述空隙的长度几乎相同的粒径的固体颗粒。
(10)上述(9)的记录/重放头支撑机构，其中在前述润滑剂中，前述固体颗粒分散在半固体和/或液体中。
(11)上述(9)或(10)的记录/重放头支撑机构，其中前述润滑剂具有导电性。
(12)上述(1)～(8)中的任何一种记录/重放头支撑机构，其中在至少一个前述空隙中，作为摩擦降低机构存在着以有机材料或无机材料为主要成分的膜，此一膜的厚度与前述空隙的长度几乎相同，此一膜，仅固定在夹着前述空隙的两个头构成要素中的一方，或者不固定在前述两个头构成要素中的任何一方。
(13)上述(12)的记录/重放头支撑机构，其中前述膜具有导电性。
(14)上述(1)～(8)中的任何一种记录/重放头支撑机构，其中在至少一个前述空隙中，作为摩擦降低机构和/或前述空隙形成机构存在着至少一个从夹着此一空隙的两个头构成要素中的至少一方伸出的突起，此一突起的高度与前述空隙的长度几乎相同。
(15)上述(14)的记录/重放头支撑机构，其中前述突起的顶端附近为曲面。
(16)上述(14)或(15)的记录/重放头支撑机构，其中前述突起，包括突起主体，和覆盖此一突起主体的至少顶端附近的覆盖膜，此一覆盖膜，由摩擦系数比前述突起主体要低的材料构成。
(17)上述(14)～(16)中的任何一种记录/重放头支撑机构，其中前述突起形成在前述致动器上。
(18)上述(14)～(17)中的任何一种记录/重放头支撑机构，其中前述突起具有导电性。
(19)上述(1)～(18)中的任何一种记录/重放头支撑机构，其中前述致动器是利用逆压电效应或电致伸缩效应的器件。
(20)上述(1)～(19)中的任何一种记录/重放头支撑机构，其中向前述致动器的配线和/或向前述滑块的配线在前述悬挂件上形成。
(21)上述(1)～(20)中的任何一种记录/重放头支撑机构，其中包括驱动前述悬挂件的主致动器。
(22)包括上述(1)～(21)中的任何一种记录/重放头支撑机构的记录/重放装置。
附图的简要说明
图1A和图1B是表示利用电极作为空隙形成机构的第1实施例的磁头的构成例的侧视图，图1C是表示此一实施例中所用的悬挂件的构成例的俯视图，图1D是表示此一实施例中所用的致动器的构成例的俯视图。
图2A和图2B是表示利用电极作为空隙形成机构的第1实施例的磁头的构成例的俯视图。
图3A是表示利用配线图案作为空隙形成机构的第2实施例中的悬挂件的构成例的俯视图，图3B是把致动器粘接到图3A中所示的悬挂件上时的俯视图，图3C是沿图3B的C-C线截取的剖视图，图3D是沿图3B的D-D线截取的剖视图。
图4是表示利用粘接构件作为空隙形成机构的第3实施例的磁头的构成例的侧视图。
图5A和图5B是表示利用设在致动器表面和/或滑块表面上的台阶作为空隙形成机构的第4实施例的磁头的构成例的侧视图。
图6A是表示设置了摩擦降低机构的致动器的透视图，图6B是图6A的剖视图。
图7A是表示本发明的磁头支撑机构的构成例的分解透视图，图7B是图7A中所示的磁头支撑机构的侧视图。
图8是表示利用悬挂件的万向支架部作为空隙形成机构的磁头的构成例的侧视图。
图9是表示利用悬挂件的万向支架部作为空隙形成机构的磁头的构成例的侧视图。
图10是表示利用悬挂件的万向支架部作为空隙形成机构的磁头的构成例的侧视图。
图11是表示利用悬挂件的万向支架部作为空隙形成机构的磁头的构成例的侧视图。
图12A是表示致动器的构成例的透视图，图12B是利用图12A中所示的致动器的磁头支撑机构的侧视图。
图13是表示磁头支撑机构的构成例的分解透视图。
实施发明的最佳形态本发明的记录/重放头支撑机构，包括电磁转换元件或光学模块设于其上的滑块，和悬挂件，滑块经由使之位移用的致动器支撑在悬挂件上。下面，举例电磁转换元件设在滑块上的磁头的场合，说明本发明。
首先，就悬挂件、致动器和滑块的典型的构成进行说明。
图13中作为分解透视图示出包括致动器的磁头支撑机构的构成例。此一磁头支撑机构，包括设置电磁转换元件1的滑块2，和支撑此一滑块2的悬挂件3，在滑块2与悬挂件3之间设置致动器4。
致动器4，用来使滑块2对于悬挂件3微小位移，通过粘接等固定于设在悬挂件3的末端部的万向支架部3a。万向支架部3a是以使滑块跟踪盘媒体表面为目的，通过用蚀刻等设置落料槽而形成的。再者，在此一磁头上，还设置着驱动悬挂件总体用的主致动器。
致动器4，包括固定部43和可动部44，进而，包括连接它们的两根棒状的位移发生部41、41。成为这样的构成，即在位移发生部41上，至少设置一层电极层存在于两侧的压电·电致伸缩材料层，通过在电极层上施加电压而产生伸缩。压电·电致伸缩材料层，由靠逆压电效应或电致伸缩效应而伸缩的压电·电致伸缩材料制成。成为这样的构成，即位移发生部41的一端经由固定部43连接到悬挂件，位移发生部41的另一端经由可动部44连接到滑块，滑块通过位移发生部41的伸缩而位移，电磁转换元件与盘媒体的记录信道交叉地弧形位移。
在致动器4中，在位移发生部41中，压电·电致伸缩材料层由PTZ等所谓压电材料来构成的场合，通常对压电·电致伸缩材料层施加提高位移性能用的极化处理。由此一极化处理产生的极化方向，为致动器的厚度方向。在对电极层施加电压时的电场的方向与极化方向一致的场合，两电极间的压电·电致伸缩材料层沿着其厚度方向伸长(压电纵效应)，在其面内方向上收缩(压电横效应)。另一方面，在电场的方向与极化方向相反的场合，压电·电致伸缩材料层沿着其厚度方向收缩(压电纵效应)，在其面内方向上伸长(压电横效应)。而且，如果在一方的位移发生部和另一方的位移发生部上，轮流施加产生收缩的电压，则一方的位移发生部的长度与另一方的位移发生部的长度的比率变化，借此两个位移发生部在致动器的面内朝着相同方向变形。通过此一变形，可动部44以未施加电压时的位置为中心沿着图中箭头方向相对于固定部43摆动。此一摆动，是可动部44沿着几乎与位移发生部41的伸缩方向垂直的方向描绘弧形轨迹的位移，摆动方向存在于致动器的面内。因而，电磁转换元件也描绘弧形轨迹而摆动。此时，由于电压与极化方向相同，所以没有极化衰减的危险，是最好的。再者，即使轮流施加于两个位移发生部的电压使位移发生部伸长，也产生同样的摆动。
在图示的致动器中，也可以在两个位移发生部上，同时施加产生彼此相反的位移的电压。也就是说，也可以在一方的位移发生部和另一方的位移发生部上同时施加一方伸长时另一方收缩，一方收缩时另一方伸长的交变电压。此时的可动部44的摆动，以未施加电压时的位置为中心。在此一场合，把驱动电压取为相同时的摆动振幅，约为轮流施加电压的上述场合的两倍。但是，在此一场合，在摆动的一方侧使位移发生部伸长，此时的驱动电压与极化方向相反。因此，在施加电压高的场合或者持续进行电压施加的场合，存在着压电·电致伸缩材料的极化衰减的危险。因而，沿着与极化相同的方向施加一定的直流偏置电压，把此一偏置电压与前述交变电压叠加作为驱动电压，借此使驱动电压的方向不会与极化方向相反。此一场合的摆动，成为以仅施加偏置电压时的位置为中心。
图示的致动器，成为通过在设有电极层的电压·电致伸缩材料的板状体上在规定部位形成孔部或缺口，整体地形成位移发生部41、固定部43和可动部44的结构。因而，可以提高致动器的刚性和尺寸精度，不用担心产生组装误差。此外，因为在致动器的制造中不使用粘接剂，故由位移发生部的变形产生应力的部位上不存在粘接剂层。因此，也不产生粘接剂层引起的传递损失，或粘接强度的老化等问题。
在本说明书中所谓压电·电致伸缩材料，是指因逆压电效应或电致伸缩效应而伸缩的材料。虽然压电·电致伸缩材料，只要是能够运用于上述致动器的位移发生部的材料什么都可以，但是从刚性高这一点来说，通常最好是PZT[Pb(Zr,Ti)O3]、PT(PbTiO3)、PLZT[(Pb,La)(Zr,Ti)O3]、钛酸钡(BaTiO3)等陶瓷压电·电致伸缩材料。在由陶瓷压电·电致伸缩材料来构成致动器的场合，可以用贴片法或印刷法等厚膜法容易地制造。再者，致动器，也可以用薄膜法来制作。在压电·电致伸缩材料具有结晶构造的场合，可以是多晶体也可以是单晶体。
电极层的形成方法未特别限定，可以考虑压电·电致伸缩材料层的形成方法，从导电性糊状物的印刷、烧制、溅射、蒸镀、CVD等各种方法中适当选择。
致动器，虽然可以是在位移发生部上，至少有一层电极层夹着两侧的压电·电致伸缩材料层的结构，但是最好是这种压电·电致伸缩材料层叠层两层以上的叠层型者。虽然压电·电致伸缩材料层的伸缩量与电场强度成比例，但是如果制成上述叠层型，则由于压电·电致伸缩材料层变薄，所以成为可以用低电压得到所需的电场强度，可以降低驱动电压。此外，如果取为与单层结构的场合相同的驱动电压，则能得到更大的伸缩量。压电·电致伸缩材料层的厚度未特别限定，虽然可以根据驱动电压、所需的伸缩量、制造容易等各种条件适当确定，通常最好是5～50μm左右。压电·电致伸缩材料层的叠层数的上限没有指定，可以适当确定以便得到作为目标的厚度的位移发生部。再者，在位于最外侧的电极层的更外侧上，通常设置作为覆盖部的压电·电致伸缩材料层。
再者，虽然未画出，在悬挂件3的表面上，根据需要形成驱动致动器4用的配线图案，或连接到电磁转换元件1的配线图案。此外，在悬挂件3表面上，也可以搭载头驱动用的IC芯片(读写IC)。如果把信号处理IC设在悬挂件上，则由于可以缩短从电磁转换元件到信号处理IC的配线图案的长度，所以可以减少电感成分而提高信号频率。
本发明，虽然适合于利用图示的结构的整体型致动器的场合，但是除此之外，也可以运用于利用使用压电元件的组装结构的各种致动器，用静电力的致动器，用电磁力的致动器等中的某一种的场合。
悬挂件3，一般来说，由不锈钢等具有弹性的金属材料构成。另一方面，配线图案一般制成由树脂覆盖层覆盖导体线的结构。这种结构的配线图案的形成方法虽然未特别限定，但是可以用，例如，作为绝缘膜在悬挂件3的表面上形成树脂膜，在其上形成导体线，进而作为保护膜形成树脂膜的方法，或者利用把由这种树脂膜和导体线的叠层体组成的配线用薄膜粘接到悬挂件3上的方法。
在本发明中，在具有上述这种构成的磁头支撑机构中，在相对位移的头构成要素之间设置空隙。在本说明书中把设置此一空隙用的机构称为空隙形成机构。所谓前述相对位移的头构成要素之间，例如，是致动器的可动部位与悬挂件之间，致动器的可动部位与滑块之间，以及滑块与悬挂件之间。进而在本发明中，最好是在前述空隙的至少一个中，设置防止头构成要素彼此的直接接触用的摩擦降低机构，也就是具有空隙维持功能的摩擦降低机构。
再者，所谓此一场合的致动器的可动部位，是对其他头构成要素相对位移的部位。也就是说，如果用图13来说明，则对于悬挂件3来说，位移发生部41和可动部44成了可动部位，对于滑块2来说，位移发生部41和固定部43成了可动部位。
下面，说明空隙形成机构和摩擦降低机构的构成例。
在本发明的第1实施例中，把设在致动器表面与悬挂件表面之间和/或致动器表面与滑块表面之间的电极，作为前述空隙形成机构来利用。用图1A～图1D来说明此一实施例。在图1A中，在致动器4表面与悬挂件3表面之间和致动器4表面与滑块2表面之间分别设置电极10，把这些电极10作为空隙形成机构来利用。图1B示出在图1A中所设置的空隙内设置膜状摩擦降低机构8的构成。
在图1B中，致动器4表面与悬挂件3表面之间的电极10，由端子电极构成。此一端子电极，例如，是图1C中所示的悬挂件3表面的致动器驱动用配线图案5，与致动器4内的电极层连接的端子电极，此外，把连接到电磁转换元件的配线图案(虽然未画出，但是通常在悬挂件3表面上形成)和在致动器4表面上形成的配线图案(未画出)连接起来的端子电极等。另一方面，致动器4表面与滑块2表面之间的电极10，是把致动器4表面上形成的配线图案，和设在滑块2上的电磁转换元件的端子电极连接起来的电极。再者，滑块2与电极10之间，靠绝缘膜等实现电绝缘。
在此一实施例中，把悬挂件2表面的端子电极13A、13B、13C(参照图1C)和致动器4表面的端子电极14A、14B、14C(参照图1D)形成得合起来成为想要的厚度，也可以以这些作为空隙形成机构，此外，也可以在两个端子电极之间作为电极夹着另一个导电构件，把这些合起来作为空隙形成机构来利用。虽然作为空隙形成机构来利用的电极的形成方法未特别限定，但是有时产生与通常的端子电极相比加厚的必要，此外，由于为了把电极分别紧密接触的各头构成要素的表面彼此维持得几乎平行而要求尺寸(厚度)精度高，所以最好是采用能够尺寸精度高地形成厚金属膜的方法，例如采用喷镀法或丝网印刷法。
在图2A和图2B中，分别示出在第1实施例中摩擦降低机构的构成不同的例子。在图2A中，把致动器4配置在滑块2的背面侧，在致动器4与悬挂件3之间和致动器4与滑块2之间分别由电极10设置空隙，在这些空隙内，设置着膜状的摩擦降低机构8。在此一构成例中，因为在相对位移的头构成要素的相对的表面的两方上设置摩擦降低机构8，故是摩擦降低机构8彼此接触的构成。另一方面，图2B中所示的构成例，除了把滑块2配置在致动器4的侧面一侧之外是与图2A中所示的构成例相同的。
在本发明的第2实施例中，把设在相对位移的头构成要素之间的电气配线作为空隙形成机构来利用。用图3A、图3B、图3C和图3D来说明此一实施例。在图3A中，悬挂件3表面的配线图案5，由用树脂层覆盖导体的结构的配线薄膜组成，导体的一部分从树脂层露出，构成连接到致动器用的端子电极13A、13B、13C。图3B示出在图3A中所示的悬挂件3上，粘接致动器4的状态。在图3C中示出沿图3B中的C-C线截取的截面，在图3D中示出沿D-D线截取的截面。再者，在图3C和图3D中仅示出截面，省略了纵深方向的图示。
如图3C中所示，致动器4的固定部43粘接在配线图案5上。与此相对照，如图3D中所示，相对于悬挂件3位移的位移发生部41、41，离开悬挂件3表面的距离为配线图案5的厚度，在两者之间形成空隙。因而，在此一构成中，位移发生部41、41的位移不受妨碍。在图示例子中，在靠空隙形成机构所形成的空隙内，设置着膜状的摩擦降低机构8。再者，除此之外，也可以在致动器4的表面上设置想要的厚度的配线图案，将其作为空隙形成机构来利用。此外，也可以在悬挂件表面与致动器表面的两方上设置配线图案，把两个配线图案合起来作为空隙形成机构来利用。此外，虽然这里仅就致动器与悬挂件之间的空隙进行了说明，但是致动器与滑块之间的空隙，也可以通过把设在致动器表面和/或滑块表面上的配线图案作为空隙形成机构来利用，同样地形成。
在本发明的第3实施例中，把设在相对位移的头构成要素之间的粘接构件，作为前述空隙形成机构来利用。用图4来说明此一实施例。在图4中，在致动器4表面与悬挂件3表面之间和致动器4表面与滑块2表面之间，分别存在着粘接构件6。虽然这些粘接构件6，是把磁头的头构成要素彼此粘接起来用的构件，但是在此一实施例中，通过把这些粘接构件6形成为想要的厚度而作为空隙形成机构来利用。在图示例子中，在靠空隙形成机构所形成的空隙内，设置膜状的摩擦降低机构8。粘接构件，可以通过一边在所粘接的两种头构成要素中的至少一方的表面上，涂布粘接剂以便粘接后成为想要的厚度，一边粘贴粘接片材而形成。但是，粘接构件，没有必要仅由粘接剂来构成，也可以是把由刚性材料或挠性材料组成的基材埋入粘接剂层中者。例如，如果把分散了硬质填充剂的粘接剂层用作粘接构件，则可以把粘接构件在其面内制成一样的厚度。因此，可以把粘接构件减薄到所需最小限度。此外，把分别粘贴了粘接构件的各头构成要素的表面彼此维持几乎平行变得容易了。结果，在靠致动器4使电磁转换元件1摆动之际，在几乎平行于盘媒体表面的面内摆动变得容易了。再者，在第1实施例和第2实施例中也是，与各头构成要素的空隙形成机构的接触面最好是彼此几乎平行。
在本发明的第4实施例中，把设在致动器表面和/或滑块表面上的台阶，作为前述空隙形成机构来利用。用图5A和图5B来说明此一实施例。在图5A中，在致动器4的上表面上设置台阶并使固定部43向上延长，借此在致动器4与悬挂件3之间设置空隙，此外，在致动器4的下表面上设置台阶并使可动部44向下延长，借此在致动器4与滑块2之间设置空隙。在图示例子中，在靠空隙形成机构所形成的空隙内，设有膜状的摩擦降低机构8。另一方面，图5B，代替在致动器4的下表面上设置台阶，在滑块2的上表面上设置台阶并使上表面的一部分向上延长，借此在致动器4与滑块2之间设置空隙这一点与图5A不同。这样一来，在致动器或滑块上设置台阶的构成中，可以减小空隙的尺寸误差，组装误差也可以减小。再者，在第4实施例中也是，对峙的头构成要素的两个表面，最好是彼此几乎平行。
在本发明中，也可以把上述第1～第4实施例中的两个以上并用。例如，形成致动器与悬挂件之间的空隙的机构，和形成致动器与滑块之间的空隙的机构，也可以不同。
在本发明中，空隙形成机构最好是关于悬挂件、致动器和滑块各自中的，与悬挂件延伸方向平行的中心线，对称地配置。例如图1B中的端子电极13A、13B、13C，图1C中的端子电极14A、14B、14C以及图3A中的配线图案5，全都成为关于与悬挂件3的延伸方向(图中左右方向)平行的中心线对称的配置。通过制成这种对称配置，在头载荷时滑块的悬浮状态稳定，致动器驱动时的稳定性变得良好。
此外，在本发明中，最好是由三个以上的构成单位来构成空隙形成机构，而且，前述三个以上的构成单位中的至少三个不排列成直线形。其具体例子，例如如图1B中所示。在该图中端子电极13A、13B、13C为上述构成单位，这些构成单位不排列成直线形。使至少三个构成单位这样排列而构成空隙形成机构，借此把致动器与其他头构成要素之间维持成恒定间隔变得容易了。结果，在由致动器4使滑块摆动之际，使之在几乎与盘媒体面平行的面内摆动变得容易。
在本发明中，设在各头构成要素之间的空隙的尺寸，考虑悬挂件引起的载荷或头构成要素的刚性，确定为使得在头构成要素彼此相对位移之际不产生干涉就可以了，但是宜为5～50μm，更好是10～30μm。如果空隙过窄，则在致动器驱动时存在着发生接触的危险。另一方面，如果空隙过宽，则招致磁头的厚度增大或刚性的降低。
此外，摩擦降低机构的厚度，对应于设在各头构成要素之间的空隙的长度，设定成此一长度几乎相同就可以了。但是，摩擦降低机构的厚度，在因摩擦降低机构的材质或形成方法而受到限制的场合，也可以根据摩擦降低机构的厚度来确定空隙长度。
下面，就设在前述空隙内的摩擦降低机构的细节进行说明。
如果如上所述在头构成要素之间设置空隙，则能防止头构成要素彼此经常接触。但是，如果在头构成要素之间设置空隙，则由于施加在磁头或整个磁盘装置上的外力，有时发生头构成要素的变形或头构成要素彼此的碰撞。如果在头构成要素上发生变形，则存在着致动器的位移性能受到妨碍，滑块的悬浮量变得不正确的危险。此外，如果发生碰撞，则存在着头构成要素破损，致动器的位移性能受到妨碍的危险。与此相反，如果设置摩擦降低机构，取为相对峙的头构成要素不直接接触的构成，则磁头的耐冲击性提高，而且，可以防止头构成要素之间的摩擦增大。此外，通过设置摩擦降低机构，由于在磁头组装之际容易把头构成要素之间的空隙设定成规定的长度，所以可以提高组装精度。在仅设置空隙的场合，虽然为了确保组装精度最好是临时在空隙中夹放隔离物，但是由于如果用摩擦降低机构来代替此一隔离物，则在制造之际隔离物的抽去成为不需要的，所以可以削减工序数，同时还提高制造成品率。具体地说，在磁头组装之际，致动器的高度方向的定位变得非常容易，对峙的头构成要素彼此之间的间隔和平行度的管理变得容易了。
在本发明中，作为摩擦降低机构使用润滑剂，或者使用以有机材料或无机材料为主要成分的膜，或者采用从夹着空隙的两个头构成要素中的至少一方延伸的突起。
可是，美国专利第5856896号说明书的第4栏第2段中，记载了也可以在从构成悬挂件的一部分的弯曲件延伸的滑块支撑臂与滑块之间，粘贴允许两者的相对横向运动用的柔性剪切层(最好是迈拉膜(聚酯膜))，或者设置减少由两者的相对运动产生的磨损或碎片用的润滑剂(盘用的通常的润滑剂)。
该说明书中所述的迈拉膜，因为粘贴在相对位移的两个头构成要素(滑块支撑臂和滑块)的两者，故随着两个头构成要素的相对位移而在迈拉膜上产生剪切力。因为迈拉膜不是刚体，故前述剪切力引起变形，结果，可以认为允许头构成要素间的相对运动。但是，磁头的致动器，跟踪动作时的动作(响应)频率很高。此外，迈拉膜等树脂膜一般算不上足够容易变形。因此，如果树脂膜粘贴在夹着它的两个头构成要素的两方，则不能充分地跟踪头构成要素的位移，存在着妨碍致动器的位移性能的可能性。此外，迈拉膜等树脂膜，因为一般其柔软性与温度有关，故还存在着位移性能容易受环境温度变化影响这样的问题。
此外，在用盘用的通常的润滑剂代替迈拉膜的场合，无法防止外力引起的头构成要素彼此的碰撞。
针对这种现有技术，在本发明中作为摩擦降低机构使用的润滑剂，含有具有几乎与空隙的长度相同的粒径的固体颗粒。作为固体颗粒，虽然可以用作固体润滑剂的润滑性高者，例如石墨颗粒或二硫化钼颗粒很好，但是也可以采用其他固体颗粒，例如氧化铝颗粒或碳酸钙颗粒等，即使在该场合，与头构成要素彼此接触的场合相比，摩擦也变低。此外，除了这些无机颗粒之外，也可以使用由氟系高分子等树脂组成的有机颗粒。为了把位于头构成要素间的空隙的长度保持一定，此外，为了降低对头构成要素的摩擦，固体颗粒最好是几乎球形而且粒径一致。
为了防止致动器驱动时的固体颗粒的飞散，或者为了进一步降低对头构成要素的摩擦，最好是采用固体颗粒分散在半固体和/或液体中的状态的润滑剂。作为上述半固体和上述液体，最好是采用其本身就是润滑剂者，也就是说，采用半固体润滑剂和液体润滑剂。借此，即使在采用润滑性低的固体颗粒的场合，也可以充分地降低摩擦。再者，在与润滑性高的固体颗粒组合的场合，由于上述半固体和上述液体只要发挥防止固体颗粒的飞散的作用就可以了，所以也可以没有润滑性。
作为半固体润滑剂，可以采用例如润滑脂。作为液体润滑剂，可以采用例如氟系油等。
把上述润滑剂设置在空隙内的方法未特别限定。例如，可以在把头构成要素彼此组装之前通过涂布于头构成要素表面来设置，也可以在组装之后注入头构成要素间的空隙。前一种场合，没有必要在组装之际设置维持空隙长度用的隔离物。
下面，就采用膜作为摩擦降低机构的场合进行说明。在上述美国专利第5856896号说明书中，描述了粘贴在相对位移的两个头构成要素(滑块支撑臂和滑块)的两者的迈拉膜。与此相对照在本发明中作为摩擦降低机构使用的膜，仅固定于夹着空隙的两个头构成要素的一方，或者不固定于夹着空隙的两个头构成要素的任何一方。因此，即使在跟踪动作时的致动器的动作(响应)频率高的场合，也不妨碍致动器的位移性能。
在本发明中用作摩擦降低机构的膜，是以有机材料或无机材料为主要成分，对头构成要素的摩擦或者膜彼此之间的摩擦小的低摩擦膜。
为了形成仅固定于夹着空隙的两个头构成要素的一方的低摩擦膜，可以利用喷溅或蒸镀，CVD等薄膜形成方法或者涂布法(例如丝网印刷，浸渍，喷涂)在头构成要素的表面上形成膜。此时，也可以进行图案形成而做成低摩擦膜分散在多个部位的构成。此外，也可以利用把一个或多个独立的低摩擦膜粘贴于头构成要素的方法。通过把低摩擦膜分割成多个分散地配置在空隙内，由于除了确保滑块驱动时的稳定性外还可以减小低摩擦膜与头构成要素的接触面积或者膜彼此的接触面积，所以可以进一步减小摩擦。
在以仅固定于两个头构成要素的一方的低摩擦膜为摩擦降低机构的场合，虽然形成低摩擦膜的头构成要素未特别限定，但是最好是形成在致动器上。下面，说明最好是在致动器上形成低摩擦膜的理由。在制造本说明书中举例示出的压电致动器之际，首先，在大面积的压电基片上叠加电极图案，进而，反复进行压电基片和电极图案的叠层，形成包含多个致动器图案的母材。接着，用切割机把此一母材切断，通过磨料喷射来落料以便分割，借此一举得到多个致动器。在这种制造过程中，如果在上述母材的切断或落料之前，在母材的至少一方的主表面上形成低摩擦膜，则可以把设置低摩擦膜引起的工作量的增大抑制到最低限度。低摩擦膜，例如如图2A中所示，最好是在致动器表面中粘接于另一个头构成要素的区域内不设置。这是为了不妨碍粘接力的缘故。因而，在该场合，在上述母材的主表面上形成低摩擦膜之际利用掩模来形成图案，形成之后去除低摩擦膜的一部分。与此相对照，在滑块或悬挂件粘接于致动器的侧面的场合，可以在上述母材的主表面的整个区域上形成低摩擦膜。但是，由于如果低摩擦膜的形成面积很大则致动器的位移受到妨碍，所以最好是也考虑这种情况适当确定形成范围。
为了形成不固定于夹着空隙的两个头构成要素的任何一方的低摩擦膜，把独立的低摩擦膜夹在对峙的头构成要素间就可以了。图6A示出用由氟系高分子膜组成的摩擦降低机构8覆盖致动器4的位移发生部41的例子。此一摩擦降低机构8，如图6B的剖视图中所示，由分别弯曲了两端的两张膜8a、8b构成。膜8a和8b分别从上侧和下侧夹着位移发生部41，在组装磁头支撑机构的状态下，分别与悬挂件和滑块相接触。
再者，也可以在低摩擦膜的表面上涂布润滑剂，也可以仅在空隙内的一部分设置低摩擦膜，在未设置低摩擦膜的区域中填充润滑剂。作为用于此一场合的润滑剂，虽然最好是半固体润滑剂或液体润滑剂，但是也可以采用前述含有固体颗粒的润滑剂。
作为以无机材料为主要成分的低摩擦膜金刚石类碳(DLC)膜，作为以有机材料为主要成分的低摩擦膜聚四氟乙烯膜等氟系高分子膜，在摩擦低而且耐磨性良好方面都很好。
DLC膜，因为硬度高，此外，表面可以平滑，故摩擦小。此外，因为即使制成极薄也可以得到足够的粘接力和机械强度，故可以做薄。因而，DLC膜不容易弹性变形。因此，在载荷施加于滑块时，以及在随着致动器引起的滑块的位移而施加剪切力时，不容易变形。结果，当在滑块在媒体上悬浮的状态下驱动致动器时，可以防止滑块变形的妨碍。
DLC膜，有时称为金刚石类碳膜，i-碳膜。关于金刚石类碳膜，例如在日本专利申请公开特开平11-278990号公报中有记载。DLC，在拉曼分光分析中，在1550cm-1处显示出宽的(1520～1560cm-1)拉曼吸收峰值。也就是说，是与在拉曼分光分析中，在1333cm-1处显示出尖锐的峰值的金刚石，或在1581cm-1处显示出尖锐的峰值的石墨，有着明显不同的结构的物质。DLC膜，是以碳和氢为主要成分的非晶体状态的薄膜，在膜中随机地存在着碳彼此的sp3结合。DLC中的原子比C∶H，通常为95～60∶5～40左右。DLC膜，如上述各公报中所示，除了碳和氢之外也可以含有各种元素，例如Si、N、O、F等的至少一种。DLC膜，可以用等离子体CVD法，电离蒸镀法，喷溅法等来形成。
再者，仅固定于头构成要素的一方的氟系高分子膜，最好是通过例如涂布法或薄膜形成法来形成。
如图1B和图2A中所分别举例示出，低摩擦膜可以仅设置在夹着空隙对峙的两个头构成要素的一方上，也可以设在两方上。
下面，就把从夹着空隙的两个头构成要素的一方延伸的突起作摩擦降低机构来利用的场合，进行说明。
此一摩擦降低机构的构成例，作为分解透视图示于图7A，作为侧视图示于图7B。在此一构成例中，在致动器4的固定部43上，在悬挂件3对峙面上设置两个突起43a，在滑块2对峙面上设置两个突起43b，在致动器4的可动部44上，在悬挂件3对峙面上设置两个突起44a，在滑块2对峙面上设置两个突起44b。
这些之中，突起44a和突起43b作为摩擦降低机构发挥作用。另一方面，突起43a和突起44b存在于粘接构件6中，构成空隙形成机构的一部分。在此一致动器中，因为上面的突起与下面的突起形成于对称位置，故在磁头的组装之际，没有必要对致动器的上下给予注意。
作为摩擦降低机构发挥作用的突起44a和突起43b，由于对悬挂件3和滑块2的接触面积极小，所以在这些与突起之间实质上未施加载荷的场合，摩擦变得非常小。作为摩擦降低机构起作用的突起的个数，一个空隙中有一个就可以了。如果突起个数少则摩擦力小，另一方面，如果突起个数多，则在因冲击等而施加载荷时因为载荷分散，故一个突起所负担的载荷可以减小。突起个数的上限虽然未特别限定，但是为了减小摩擦，通常，最好是取为5个以下。作为摩擦降低机构发挥作用的突起，虽然也可以是顶端平坦的，但是如果像图示的半球形突起这样，顶端附近由曲面构成，则在未施加载荷的状态下的摩擦显著地减小。在突起的顶端为曲面的场合，突起的尺寸未特别限定。在突起的顶端为平面的场合，突起顶端的直径，最好是比较小的直径，例如30～100μm左右。
如前所述，在把粘接剂层作为空隙形成机构来利用的场合，如果使硬质的填充剂分散在粘接剂层中，则把各头构成要素的表面彼此维持几乎平行变得容易了。作为空隙形成机构的一部分发挥作用的突起43a和突起44b，显示出与上述硬质填充剂同样的效果。作为摩擦降低机构发挥作用的突起和作为空隙形成机构发挥作用的突起，最好是合计设置3个以上。如果合计设置3个以上，则把对峙的头构成要素的表面彼此保持平行变得容易了。此外，如图所示如果在致动器4的下表面上存在着3个以上的突起，则在用夹具把致动器4粘接到悬挂件3之际，由于把致动器4相对于夹具水平安装，所以致动器4相对于夹具的定位可以非常容易地进行。
作为摩擦降低机构发挥作用的突起，和作为空隙形成机构发挥作用的突起，为了提高生产率最好是同时形成。突起的形成手段虽然未特别限定，但是图示的半球形的突起，例如可以通过以下方法来形成。首先，把含有熔点比较低的玻璃粉末和粘接剂的糊剂，用丝网印刷或撒布器进行点状涂布。接着，进行热处理使玻璃熔化，借此得到半球形突起。热处理条件，虽然可以根据使用的玻璃粉末的物性适当确定，但是通常在空气中在500～800℃左右，最好是在600～700℃左右施行热处理就可以了。
突起的构成材料未特别限定，除了上述玻璃之外，也可以使用玻璃以外的无机材料(例如DLC，金属)，或者树脂(例如氟系高分子)等有机材料。由这些制成的突起，可以通过使用掩模的薄膜形成法来形成，或通过丝网印刷来形成。此外，也可以由突起主体，和覆盖此一突起主体的至少顶端附近的覆盖膜来构成突起。在此一场合，在形成由玻璃等制成的突起主体之后，形成氟系高分子膜或DLC膜等低摩擦膜，以便覆盖此一突起主体的至少顶端附近。
虽然在图示的例子中在致动器上形成突起，但是也可以在其他头构成要素上形成。但是，与前述的低摩擦膜同样，在大面积的致动器母材的至少一方的主表面上用丝网印刷法等一举形成多个突起之后，分割成各个致动器，借此可以显著地提高生产率。因此，突起最好是设在致动器上。此外利用压电材料的致动器，因为耐热性比较高，故在能够涂布玻璃糊剂或金属糊剂利用热处理方法方面也很好。在把突起设在滑块上的场合，为了避免温度上升引起的对电磁转换元件的不利影响，最好是利用例如溅射法。
摩擦降低机构的厚度，确定成在滑块上未施加载荷的状态下摩擦降低机构与头构成要素相接触，也就是说确定成与空隙长度几乎相同就可以了。借此，能防止夹着空隙对峙的头构成要素彼此的碰撞，同时可以把摩擦增大抑制到最小限度。具体地说，摩擦降低机构的最佳厚度，虽然因构成材料而异，但是一般为5～50μm，最好是10～30μm。如果摩擦降低机构过薄，则难以得到足够的机械强度，存在着因为与头构成要素的接触或摩擦降低机构彼此的接触而破损，从而丧失功能的危险。另一方面，如果摩擦降低机构过厚，则除了DLC膜以外摩擦降低机构的刚性容易降低，结果，摩擦容易变大。此外，在招致磁头的厚度增大方面也不好。
摩擦降低机构，根据需要，也可以具有导电性。滑块，因为以极低的高度悬浮在高速旋转的媒体上，故有时因与空气的摩擦等而带电。此外，CSS(接触起停)也引起带电。如果滑块带电，则电磁转换元件或光学模块有时会被静电所破坏。如果使摩擦降低机构具有导电性，设定摩擦降低机构的配置图案以便使静电经由摩擦降低机构按滑块→致动器→悬挂件的顺序释放，则可以防止电磁转换元件或光学模块的静电破坏。给摩擦降低机构赋予导电性的方法未特别限定。例如，在把含有固体颗粒的润滑剂作为摩擦降低机构来利用的场合，使用石墨颗粒或其他具有导电性的颗粒就可以了。此外，也可以利用掺杂了导电性元素的低摩擦膜。此外，也可以由导电性材料来构成前述突起。
此外，前述空隙形成机构之中，关于图4中所示的粘接构件6，或图7B中所示的突起43a和突起44b，出于同样的理由最好是也具有导电性。
下面，就悬挂件的结构与上述构成例不同的磁头进行说明。
图8中所示的构成例中的悬挂件，是有着悬挂件主体31，安装在其顶端部的万向支架部(弯曲件)3a，以及设在悬挂件主体(加载臂)31的顶端部的支点33的结构。支点33，伸过设在万向支架部3a上的通孔(未画出)，与设在致动器4的可动部上的膜状摩擦降低机构8相接触。因为致动器4配置在滑块3的背面侧，故支点33经由摩擦降低机构8和前述可动部给滑块2赋予初始载荷。
在图9中所示的构成例中，致动器4配置在滑块2的侧面一侧，支点33，与设在滑块2的背面上的膜状摩擦降低机构8相接触。在此一构成中，支点33直接给滑块2赋予初始载荷。
在图10中所示的构成例中，在万向支架部3a上形成凹部，借此形成朝滑块2突出的突起31a，而且，把支点33插入前述凹部内。其他构成与图9中所示的构成例相同。在此一构成例中，突起31a接触于滑块2背面的摩擦降低机构8，此一突起31a作为支点发挥作用。通过取为此一结构，可以抑制万向支架部3a的面内偏离，结果，抑制了滑块2的面内偏离而不容易产生电磁转换元件的跟踪偏离。再者，所谓此一的面内偏离，是指媒体的面内方向上的偏离。此一偏离，是由例如搜索时悬挂件振动引发的。
在图11中所示的构成例中，在万向支架部3a上形成多个凹部，借此形成朝滑块2突出的突起31b。支点33，通过推压万向支架部3a给滑块2赋予初始载荷。其他构成与图9中所示的构成例相同。在此一构成例中，由于突起31b推压设在滑块2背面上的膜状摩擦降低机构8，所以接触面积减小。再者，图8～图11中去掉膜状摩擦降低机构8的结构，由于支点33、突起31a、突起31b作为摩擦降低机构8发挥作用，所以包括在本发明中。
在图8～图11中，由于在膜状摩擦降低机构8上，支点33、突起31a、突起31b按各自的接触点或接触面施加载荷，而且，有必要在此一接触点或接触面上产生滑动，所以摩擦降低机构8最好是刚性高。因而，作为摩擦降低机构8，高硬度而且耐久性高的DLC膜特别合适。
再者，虽然在图8～图11中，把万向支架部3a的一部分弯曲并设置台阶，借此在万向支架部3a与滑块2之间形成空隙，但是也可以使用上述其他的空隙形成机构。
图12A中示出致动器的另一个构成例。该图中所示的致动器，包括构成致动器的外框的框形固定部43，由固定部43包围的可动部44，以及把它们连接起来的L字形的两个位移发生部41、41。此一致动器的外形形状，是关于垂直于面内并且通过可动部44的中央的对称轴(图中的Z轴)旋转对称的。在此一致动器中，如果施加两个位移发生部41、41同时收缩或同时伸长的电压，则可动部44进行以前述对称轴为中心的旋转运动，粘接在可动部44上的滑块也进行旋转运动。结果，电磁转换元件描绘弧形的轨迹。
图12B中示出利用此一致动器的磁头的侧视图。在该图中，致动器4靠粘接构件6分别粘接到万向支架部3a和滑块2，这些粘接构件6构成空隙形成机构。悬挂件的结构，除了不把万向支架部3a作为空隙形成机构来利用之外与图8几乎相同。但是，设在悬挂件主体31的顶端部上的支点33，成为推压可动部44的旋转中心而赋予载荷的结构。在此一构成中，在致动器驱动时，在支点33与可动部44之间实质上不产生横向的摩擦。因而，伴随致动器驱动的可动部44与支点33之间的摩擦极小。
虽然以上，就记录/重放头中HDD的磁头进行描述，但是本发明也可以运用于光盘装置。在现有技术的光盘装置中，利用备有至少包括透镜的光学模块的光传感器。此一光传感器，是把透镜机械地控制成聚焦于光盘的记录面的。但是，最近，作为飞跃地提高光盘的记录密度的方法，提出了近场记录[NIKKEI ELECTRONICS1997.6.16(no.691).p.99]，在此一近场记录中，用悬浮型头。此一悬浮型头，用与悬浮型磁头同样的滑块，此一滑块，是组装了包括称为SIL(固体浸没透镜)的半球形透镜，磁场调制记录用线圈，以及预聚焦透镜的光学模块的部件。近场记录用悬浮型头，美国专利第5497359号说明书中也有记载。因为在这种悬浮型头中，与HDD用磁头同样随着记录密度的提高必须提高跟踪精度，故微小位移致动器是有效的。因而，本发明也可以运用于这种光记录媒体用的记录/重放头(光学头)。
更一般地说，本发明能够运用的光学头，包括与上述磁头相同的滑块，在此一滑块上装上光学模块，或者由光学模块构成滑块本身。光学模块至少包括透镜，进而，根据需要装上透镜致动器或磁场发生用线圈等。作为这种光学头，除了上述近场记录用悬浮型头之外，可以举出滑块沿着记录媒体表面滑动的光学头，也就是伪接触型或接触型光学头。关于把本发明运用于光学头的场合，只要在上述说明中把电磁转换元件替换成光学模块，就可以容易地理解。再者，本发明，在磁头中也可以运用于伪接触型或接触型者。
在本说明书中，把记录/重放头，取为包含记录重放头和记录专用头和重放专用头在内的概念，记录/重放装置也是同样，取为包含记录重放装置和记录专用装置和重放专用装置在内的概念。此外，记录媒体也是，不限定于可记录媒体，取为包含例如重放专用光盘之类的重放专用型媒体在内的概念。
实验例为了确认本发明的效果，进行了以下的实验。
制作了图1A、图3A～图3D、图4、图5A和图5B中分别示出的构成的磁头。其中，没有设置膜状摩擦降低机构8。在各自中，致动器4与悬挂件3之间的空隙长度和致动器4与滑块2之间的空隙长度，全都取为30μm。
致动器，是作为压电·电致伸缩材料使用PZT(压电常数d31=-200×10-12m/V)者，在两个位移发生部上分别施加10V(直流偏置电压)±10V(正弦波驱动电压)，正弦波驱动电压彼此相位相反，这时可动部的位移量约为±0.5μm。
用这些磁头，把头载荷取为2.5g而驱动致动器时，发现能维持空隙，不发生接触，位移量约为±0.5μm，致动器的驱动性能不受妨碍。
发明的效果本发明的记录/重放头支撑机构，由于包括确保致动器的可动部位与其他头构成要素之间的空隙用的空隙形成机构，所以可以防止致动器与其他头构成要素之间的接触、摩擦。因而，致动器的滑块驱动性能(电磁转换元件或光学模块的定位精度)不受妨碍。此外，可以防止摩擦负载、碰撞冲击、磨损尘埃的发生等引起的可靠性降低。
此外，在本发明中，如果在记录/重放头支撑机构的头构成要素上设置台阶，或者在组装之际控制电极或粘接剂层的厚度等，借此设置想要尺寸的空隙，则没有必要追加空隙形成用的特别工序，可以抑制成本上升。
此外，在本发明中，如果在前述空隙内设置摩擦降低机构，则可以防止由于起因于冲击、载荷等的头构成要素彼此的接触而产生的破损、尘埃的发生。此外，头组装变得容易了，组装精度也提高了。而且，致动器的滑块驱动性能，设置摩擦降低机构也实质上不受妨碍。
权利要求
1．一种记录/重放头支撑机构，其中作为头构成要素至少包括滑块、悬挂件和致动器，在前述滑块上设置电磁转换元件或光学模块，前述滑块经由前述致动器支撑于前述悬挂件，可以由前述致动器使前述滑块对于前述悬挂件相对地位移，备有用来在相对地位移的头构成要素之间设置空隙的空隙形成机构。
2．权利要求1所述的记录/重放头支撑机构，其中作为前述空隙形成机构利用设在相对地位移的头构成要素之间的电极、配线图案和粘接构件中的至少一个。
3．权利要求2所述的记录/重放头支撑机构，其中前述粘接构件具有导电性。
4．权利要求1～3中的任何一项所述的记录/重放头支撑机构，其中作为前述空隙形成机构利用设置在相对地位移的头构成要素的至少一个上的台阶。
5．权利要求1～4中的任何一项所述的记录/重放头支撑机构，其中前述空隙的尺寸为5～50μm。
6．权利要求1～5中的任何一项所述的记录/重放头支撑机构，其中前述空隙形成机构，关于悬挂件、致动器和滑块各自的与悬挂件延伸方向平行的中心线对称地配置。
7．权利要求1～6中的任何一项所述的记录/重放头支撑机构，其中前述空隙形成机构中的至少一个，由3个以上的构成单位构成，前述3个以上的构成单位中的至少3个不是排列成直线形。
8．权利要求1～7中的任何一项所述的记录/重放头支撑机构，其中经由前述空隙相向的致动器表面与悬挂件表面几乎平行，和/或，经由前述空隙相向的致动器表面与滑块表面几乎平行。
9．权利要求1～8中的任何一项所述的记录/重放头支撑机构，其中在至少一个前述空隙中，作为摩擦降低机构存在着润滑剂，此一润滑剂，含有具有与前述空隙的长度几乎相同的粒径的固体颗粒。
10．权利要求9所述的记录/重放头支撑机构，其中在前述润滑剂中，前述固体颗粒分散在半固体和/或液体中。
11．权利要求9或10所述的记录/重放头支撑机构，其中前述润滑剂具有导电性。
12．权利要求1～8中的任何一项所述的记录/重放头支撑机构，其中在至少一个前述空隙中，作为摩擦降低机构存在着以有机材料或无机材料为主要成分的膜，此一膜的厚度与前述空隙的长度几乎相同，此一膜，仅固定在夹着前述空隙的两个头构成要素中的一方，或者不固定在前述两个头构成要素中的任何一方。
13．权利要求12所述的记录/重放头支撑机构，其中前述膜具有导电性。
14．权利要求1～8中的任何一项所述的记录/重放头支撑机构，其中在至少一个前述空隙中，作为摩擦降低机构和/或前述空隙形成机构存在着至少一个从夹着此一空隙的两个头构成要素中的至少一方伸出的突起，此一突起的高度与前述空隙的长度几乎相同。
15．权利要求14所述的记录/重放头支撑机构，其中前述突起的顶端附近为曲面。
16．权利要求14或15所述的记录/重放头支撑机构，其中前述突起，包括突起主体，和覆盖此一突起主体的至少顶端附近的覆盖膜，此一覆盖膜，由摩擦系数比前述突起主体要低的材料构成。
17．权利要求14～16中的任何一项所述的记录/重放头支撑机构，其中前述突起形成在前述致动器上。
18．权利要求14～17中的任何一项所述的记录/重放头支撑机构，其中前述突起具有导电性。
19．权利要求1～18中的任何一项所述的记录/重放头支撑机构，其中前述致动器是利用逆压电效应或电致伸缩效应的器件。
20．权利要求1～19中的任何一项所述的记录/重放头支撑机构，其中向前述致动器的配线和/或向前述滑块的配线在前述悬挂件上形成。
21．权利要求1～20中的任何一项所述的记录/重放头支撑机构，其中包括驱动前述悬挂件的主致动器。
22．一种记录/重放装置，包括权利要求1～21中的任何一项所述的记录/重放头支撑机构。
全文摘要
目的在于在包括微小位移用的致动器的磁盘装置或光盘装置的记录/重放头支撑机构中,防止致动器的位移性能的妨碍,同时使可靠性提高。本发明的记录/重放头支撑机构,作为头构成要素至少包括滑块、悬挂件和致动器。在滑块上,设置着电磁转换元件或光学模块。滑块经由致动器支撑在悬挂件上,可以由致动器使滑块对于悬挂件相对位移。在相对位移的头构成要素之间,存在着空隙。最好是在空隙中设置摩擦降低机构。
文档编号G11B5/55GK1288569SQ99802129
公开日2001年3月21日 申请日期1999年11月12日 优先权日1998年11月13日
发明者添野佳一, 市川慎司, 白石一雅, 和田健, 纲隆满, 太田宪和, 本田隆, 川合满好 申请人:Tdk株式会社