矩形基片分割设备的制作方法

专利名称：：矩形基片分割设备的制作方法
技术领域：
：本发明涉及用于将各种矩形基片分割为多个器件的设备。
背景技术：
：矩形基片，例如形成有多个集成电路(例如IC和LSI)并通过树脂进行封装的CSP(芯片尺寸封装件)，是通过分割设备例如切块机分割成多个器件的。各器件被容纳在一个器件盒中，并被输送到电子设备的组装工步。在组装工步，多个器件被安装到各种类型的电子设备中。一般而言，如日本专利申请公开文献No.2000-232080(以下称作专利文献1)中所公开，一种专用的器件收容设备被用于将各器件收容到器件盒中。器件收容设备靠近分割设备安装，以使由分割设备形成的单块形式的各器件能够被器件收容设备立即收容到器件盒中。一般而言，将要被分割的矩形基片贴附在胶带T的粘着面上，胶带T贴附在一个环形框架F上以封闭其开口。在通过胶带T而被保持并与框架F形成一体的情况下，矩形基片被切割。在这种状态下，切开的矩形基片被输送到器件收容设备，在此，各器件被收容到器件盒中(例如参见专利文献1)。日本专利申请公开文献No.2000-208445(以下称作专利文献2)中所公开，一种建议的方法将矩形基片分割成各器件，其中只有与矩形基片形状相同的保护带贴附在矩形基片的背面，而不使用环形框架。然而，除了切块设备还要安装器件收容设备，需要使安装空间几乎为两倍大，从而导致不能节约空间，并且会提高成本。另外，如果通过胶带而与框架形成一体的矩形基片被切割，则切块设备必须保持比将被切割的矩形基片大的框架，因此会因框架尺寸导致切块设备大型化。在通过胶带而与框架形成一体的矩形基片被输送至器件收容设备时，需要在器件收容设备中保持框架，因此器件收容设备也会大型化。此外，还需要确保用于容纳使用过的框架的区域。这是导致设备大型化的另一个原因。另一方面，如专利文献2中的发明所示，可以在将保护带贴附在矩形基片背面而不使用环形框架的情况下实施切割。在这种情况下，粘着在保护带上的各个器件需要被拾取，因而出现了难以将器件可靠地剥离的困难。如专利文献2中所示，难以可靠地拾取器件，即使是在拾取之前降低了保护带的粘着力。另外，需要采用用于降低粘着力的特殊装置。由于还需要为此花费时间，因此生产率下降。此外，还需要采用在器件拾取之后废弃残余保护带的特殊装置。
发明内容本发明的一个目的是能够以小的空间分割矩形基片，将通过分割而形成为单块的器件收容到器件盒中，并且可靠且高效地从贴附在矩形基片背面的保护带拾取器件。为了实现上述目的，本发明提供了一种矩形基片分割设备，所述矩形基片的背面贴附着保护带，并且矩形基片上形成有用于将矩形基片分割成多个器件的预定分离线，所述矩形基片分割设备沿着所述预定分离线分割矩形基片以使矩形基片分割为各器件，并将各器件收容在器件盒中。所述矩形基片分割设备包括切割操作区，其用于切割矩形基片，以将其分割成各器件，带剥离操作区，其用于剥离贴附在矩形基片背面的保护带，以及器件收容操作区，其用于将各器件容纳在器件盒中。切割操作区包括匣台，其用于承载收容着多个矩形基片的匣；搬出装置，其用于将矩形基片从匣台搬出；装卡台，其用于保持搬出的矩形基片；切割装置，其用于沿着预定分离线切割保持在装卡台上的矩形基片，以将其分割为各器件；以及清洗装置，其用于清洗切割后的矩形基片。带剥离操作区包括临时安置台，其用于临时承载被切割和清洗过的矩形基片；拾取台，其用于在构成矩形基片的各器件被拾取时承载所述器件；以及器件传送装置，其功能为将器件从临时安置台传输到拾取台，并同时剥离贴附在矩形基片背面的保护带。器件收容操作区至少包括拾取装置，其用于拾取被传送到拾取台的器件并将其收容到器件盒中；空器件盒储存部，其用于储存空器件盒；器件盒定位装置，其用于将空器件盒从空器件盒储存部抽出并将空器件盒带到器件收容位置，该位置为器件可通过拾取装置而被收容的位置；以及收容器件盒储存部，其用于储存收容着器件的器件盒。在所述带剥离操作区中，优选地，拾取台由第一台和第二台构成，第二台被布置成与所述临时安置台相隔预定间隔，第一台被布置成可在临时安置台与第二台之间移动。所述器件传送装置包括抓持部，其用于将放置在临时安置台上的矩形基片的无用端部与保护带一起抓持；压辊，其用于推压放置在临时安置台上的矩形基片；推进件，其用于将矩形基片推入压辊与临时安置台之间，并且在第一台位于接近临时安置台的位置时将矩形基片移向第一台；以及抓持部驱动部，其用于将抓持部降低到至少低于临时安置台，并将保护带从矩形基片的背面剥离。在拾取台上方，优选布置着器件移动装置，其在第一台位于接近第二台的位置并且所述器件放置在第一台上时，将放置在第一台上的器件移动到第二台。理想地，拾取装置拾取移动到第二台的器件。在这种情况下，第一台和第二台可以彼此接触，或者可以彼此分开至这样的程度，即它们可以移动器件。在这种情况下，所述抓持部驱动部优选包括基部，其可沿着与第一台分离的方向移动；枢转部，其被所述基部可枢转地支撑着；导向件，其用于引导所述枢转部的枢转运动；以及升降驱动部，其固定在所述枢转部上，用于升降所述抓持部。在临时安置台的下方，优选设有保护带收容部分，其用于收容由所述抓持部驱动部从矩形基片上剥离的保护带。在这种情况下，优选地，在横跨第二台与第一台相反的一侧布置着端部材料收容部，其用于收容构成切割后的矩形基片的端部材料。优选地，所述器件移动装置配备有器件推出部，其用于将放置在第一台上的器件推出并移向第二台；以及端部材料推出部，其用于将残留在第二台上的端部材料推出，以使端部材料从第二台落入端部材料收容部中。在所述器件收容操作区中，所述拾取装置优选包括判断部，其用于判断作为拾取对象的器件是合格产品还是不合格产品。所述器件盒优选包括用于容纳作为合格产品的器件的合格产品器件盒和用于容纳作为不合格产品的器件的不合格产品器件盒。所述收容器件盒储存部优选包括用于储存合格产品器件盒的合格产品器件盒储存部和用于储存不合格产品器件盒的不合格产品器件盒储存部。所述器件盒定位装置优选包括合格产品器件盒定位装置，其用于从空器件盒储存部抽取空器件盒，并将所述空器件盒作为合格产品器件盒带到合格产品器件收容位置，该位置为用于收容作为合格产品的器件的位置；以及不合格产品器件盒定位装置，其用于从空器件盒储存部抽取空器件盒，并将所述空器件盒作为不合格产品器件盒带到不合格产品器件收容位置，该位置为用于收容作为不合格产品的器件的位置。在所述切割操作区中优选设有姿势校正装置，其用于校正从所述匣搬出的矩形基片的姿势；第一输送装置，其用于保持已经由姿势校正装置校正了姿势的矩形基片，并将矩形基片放置在装卡台上；第二输送装置，其用于将保持在装卡台上的已被切割了的矩形基片输送到所述清洗装置；以及第三输送装置，其用于将清洗后的矩形基片输送到临时安置台。在所述切割操作区中，优选地，两个或更多个所述匣可被放置在所述匣台上；还布置着匣定位装置，其选择性地将匣台带到下述位置，即在该位置，容纳在任何一个匣中的矩形基片可以被所述搬出装置搬出。在所述切割操作区中，优选地，所述匣台、搬出装置和清洗装置布置在第一直线上，所述切割装置布置在与第一直线垂直相交的第二直线上，且装卡台适于在第二直线上移动。在所述带剥离操作区中，优选地，所述临时安置台相对于清洗装置布置在一条与第二直线相平行的直线上，并且所述临时安置台和所述拾取台布置在一条与第一直线相平行的直线上。在所述器件收容操作区中，优选地，所述空器件盒储存部和收容器件盒储存部布置在一条与第一直线相平行的直线上，并且所述器件盒定位装置布置在空器件盒储存部的正下方和收容器件盒储存部的正下方。根据本发明，在切割操作区中，背面贴附着保护带的矩形基片被切割而被分割成各器件，再被清洗。在带剥离操作区中，器件可以可靠、容易且高效地从保护带剥离，并且还可被传送到拾取台。在器件收容操作区中，传送到拾取台的器件可以被收容到器件盒中。因此，可以在一个设备中完成从器件的切割到收容的一整套程序。特别地，保护带的剥离以及器件向拾取台的传送可以同时进行。因此，生产率极高。另外，由于不必使用环形框架，因此可以实现因设备尺寸下降而带来的空间节约效果。本发明还以下述方式构造出来拾取台由第一台和第二台构成，第二台被布置成与所述临时安置台相隔预定间隔，第一台被布置成可在临时安置台与第二台之间移动。所述器件传送装置包括抓持部，其用于将放置在临时安置台上的矩形基片的无用端部与保护带一起抓持；压辊，其用于推压放置在临时安置台上的矩形基片；推进件，其用于将矩形基片推入压辊与临时安置台之间，并且在第一台位于接近临时安置台的位置时将矩形基片移向第一台；以及抓持部驱动部，其用于将抓持部降低到至少低于临时安置台，并将保护带从矩形基片的背面剥离。在拾取台上方，布置着器件移动装置，其在第一台位于接近第二台的位置并且所述器件放置在第一台上时，将放置在第一台上的器件移动到第二台。拾取装置拾取移动到第二台的器件。在这种构造中，利用器件传送装置，放置在临时安置台上的器件被传送到第一台，同时被剥离保护带。传送到第一台的器件被器件移动装置移动到第二台，移动到第二台的器件被拾取装置拾取并被收容在器件盒中。第一台可以接近临时安置台或第二台。因此，在第一台接近第二台时，可以在第一台与临时安置台之间形成足以使抓持部进入的间隙，构成矩形基片的无用端部以及贴附在矩形基片背面的保护带可以被抓持部可靠地抓持。此外，在这种情况下，可以可靠地实现由器件移动装置将器件从第一台移至第二台。另一方面，在第一台接近临时安置台时，可以可靠地实现器件从第一台向临时安置台的传送。第一台向着临时安置台靠近可以防止器件在传送过程中受损。所述抓持部驱动部可以包括基部，其可沿着与第一台分离的方向移动；枢转部，其被所述基部可枢转地支撑着；导向件，其用于引导所述枢转部的枢转运动；以及升降驱动部，其固定在所述枢转部上，用于升降所述抓持部。根据这种特点，在抓持部抓持着保护带端部的情况下，当基部沿着与器件移动方向相反的方向移动时，枢转部受到导向件的引导而枢转。在这种状态下，基部可以沿着与第一台分开的方向移动。因此，通过基部的移动以及枢转部的枢转动作，保护带可以容易地剥离。如果在临时安置台下方布置着保护带收容部，其用于收容由所述抓持部驱动部从矩形基片上剥离的保护带，则由器件传送装置剥离的保护带可以被自动收容到保护带收容部中。因此，不需要采用专门的结构来废弃保护带。这样，可以节省相应的空间。可以存在下述情况，即所述抓持部驱动部包括基部，其可沿着与第一台分离的方向移动；枢转部，其被所述基部可枢转地支撑着；导向件，其用于引导所述枢转部的枢转运动；以及升降驱动部，其固定在所述枢转部上，用于升降所述抓持部。在这种情况下，在完成了保护带剥离之后解除抓持部对保护带的抓持时，保护带会自发地落下，并且可以被收容在保护带收容部中。可以存在下述情况，即在横跨第二台与第一台相反的一侧布置着端部材料收容部，其用于收容构成切割后的矩形基片的端部材料。此外，所述器件移动装置可以配备有器件推出部，其用于将放置在第一台上的器件推出并移向第二台；以及端部材料推出部，其用于将残留在第二台上的端部材料推出，以使端部材料从第二台落入端部材料收容部中。在这种情况下，器件移动装置将放在第一台上的器件向第二台移动，与此同时，可以将端部材料收容到端部材料收容部中。这一点是高效的，并且不需要利用专门的器械将端部材料收容到端部材料收容部中。因此，可以实现空间的节省。在所述器件收容操作区中，所述拾取装置可以包括判断部，其用于判断作为拾取对象的器件是合格产品还是不合格产品。所述器件盒可以包括用于容纳作为合格产品的器件的合格产品器件盒和用于容纳作为不合格产品的器件的不合格产品器件盒。所述收容器件盒储存部可以包括用于储存合格产品器件盒的合格产品器件盒储存部和用于储存不合格产品器件盒的不合格产品器件盒储存部。所述器件盒定位装置可以包括合格产品器件盒定位装置，其用于从空器件盒储存部抽取空器件盒，并将所述空器件盒作为合格产品器件盒带到合格产品器件收容位置，该位置为用于收容作为合格产品的器件的位置；以及不合格产品器件盒定位装置，其用于从空器件盒储存部抽取空器件盒，并将所述空器件盒作为不合格产品器件盒带到不合格产品器件收容位置，该位置为用于收容作为不合格产品的器件的位置。根据这些特征，判断部可以在拾取时判断器件是合格产品还是不合格产品，因此不会降低生产率。此外，基于判断部的判断结果，作为合格产品的器件和作为不合格产品的器件可以彼此分开，并且被收容到不同的器件盒中。因此，不需要在最后的步骤中分辨合格产品和不合格产品。在所述切割操作区中，可以设有姿势校正装置，其用于校正从所述匣搬出的矩形基片的姿势；第一输送装置，其用于保持已经由姿势校正装置校正了姿势的矩形基片，并将矩形基片放置在装卡台上；第二输送装置，其用于将保持在装卡台上的已被切割了的矩形基片输送到所述清洗装置；第三输送装置，其用于将清洗后的矩形基片输送到临时安置台。根据这些特征，即使矩形基片在匣中的收容位置和收容方向出现变化，也可以通过姿势校正装置使矩形基片的位置或方向保持恒定。在这种状态下，矩形基片可以被输送到装卡台并被切割，因此可以流畅且精确地实现切割。在切割之后，切割了的矩形基片可以被输送到清洗装置。在清洗之后，清洗过的矩形基片可以被输送到临时安置台。因此，矩形基片可以被流畅地输送到带剥离操作区。在所述切割操作区中，可以存在下述情况，即两个或更多个所述匣可被放置在所述匣台上；布置着匣定位装置，其选择性地将匣台带到下述位置，即在该位置，容纳在任何一个匣中的矩形基片可以被所述搬出装置搬出。在这种情况下，如果多个匣被放置在匣台上，则容纳在各匣中的基片可以一个接一个地被搬出。这一点是高效的，并且多个匣可以被放在一起并置于匣台上，从而导致工作得以简化。在所述切割操作区中，可以存在下述情况，即所述匣台、搬出装置和清洗装置布置在第一直线上，所述切割装置布置在与第一直线垂直相交的第二直线上，且装卡台适于在第二直线上移动。在所述带剥离操作区中，所述临时安置台可以相对于清洗装置布置在一条与第二直线相平行的直线上，并且所述临时安置台和所述拾取台布置在一条与第一直线相平行的直线上。在所述器件收容操作区中，所述空器件盒储存部和收容器件盒储存部可以布置在一条与第一直线相平行的直线上，并且所述器件盒定位装置布置在空器件盒储存部的正下方和收容器件盒储存部的正下方。根据这些特征，矩形基片在切割操作区、带剥离操作区和器件收容操作区任何一个中都没有不必要的运动，矩形基片在这些区之间的也没有任何多余运动。因此，可以因设备小型化而节省空间，并且可以获得高效率。图1是根据本发明的矩形基片分割设备的一个实施例的透视图。图2是矩形基片的一个实施例的透视图。图3是切割操作区的一部分的透视图。图4是切割操作区的一部分的透视图。图5是用于保持矩形基片的伯努利垫的一个实施例的剖视图。图6是带剥离操作区的透视图。图7是带剥离操作区的内部结构的示意性剖视图。图8是在内部结构中枢转部分倾斜的状态的示意性剖视图。图9是在内部结构中矩形基片的无用端部被夹持的状态的示意性剖视图。图10是在内部结构中枢转部分倾斜且水平移动同时夹持着无用端部的状态的示意性剖视图。图11是在内部结构中第一器件列已被传送到第一台的状态的示意性剖视图。图12是在内部结构中第一器件列向第二台传送的过程的示意性剖视图。图13是在内部结构中第一器件列已经移动到第二台的状态的示意性剖视图。图14是在内部结构中第二器件列已被传送到第一台的状态的示意性剖视图。图15是器件收容操作区的透视图。图16(A)至(C)是在器件收容操作区中抽取一个空器件盒并将其用作合格产品器件盒的动作的一个实施例的示意性剖视图，其中图16(A)示出了初始状态，图16(B)示出了从空器件盒储存部抽取空器件盒的状态，图16(C)示出了抽取的空器件盒被容纳在第一盒架中的状态。图17(A)至(C)是在器件收容操作区中抽取一个空器件盒并将其用作不合格产品器件盒的动作的一个实施例的示意性剖视图，其中图17(A)示出了从空器件盒储存部抽取空器件盒的状态，图17(B)示出了抽取的空器件盒被容纳在第二盒架中的状态，图17(C)示出了容纳在第二盒架中的空器件盒被移动的状态。图18是将器件收容在合格产品器件盒和不合格产品器件盒时的方式的透视图。图19是在带剥离操作区中端部材料落入端部材料收容部中的方式的示意性剖视图。图20(A)至(C)是在器件收容操作区中将合格产品器件盒储存到合格产品器件盒储存部中并抽取新的空器件盒一个实施例的示意性剖视图，其中图20(A)示出了将合格产品器件盒储存到合格产品器件盒储存部中的状态，图20(B)示出了空器件盒被从空器件盒储存部中新抽取的状态，图20(C)中示出了抽取的空器件盒被容纳在第一盒架中的状态。图21是在带剥离操作区的内部结构中将第八器件列传送到第一台的方式的示意性剖视图。图22是在带剥离操作区的内部结构中被剥离的保护带落下并被收容在保护带收容部中的方式的示意性剖视图。具体实施例方式在图1所示的分割设备1中，作为示例，图2中所示的矩形基片5可以被沿着形成于纵向和横向的预定分离线50切割，从而被分离成多块。图2中所示的矩形基片5沿着预定分离线50被分割以形成多个器件。在图示的例子中，这些器件包括第一器件列D1至第八器件列D8，每个器件列包括三个器件和位于两端的两个端部材料51。无用端部52形成在矩形基片5的第一器件列D1和第八器件列D8外侧。端部材料51和无用材料52最终被废弃。用于保护所述器件的保护带T贴附在矩形基片5的背面。利用图1所示的分割设备1，矩形基片5可沿预定分离线50分离，从而被分割为多个器件。在分割设备1中，多个器件可被收容在后文所述的器件盒中。作为示例，CSP或玻璃基片可被用作矩形基片5。如图1所示，分割设备1包括切割操作区(任务区)2、带剥离操作区(任务区)3和器件收容操作区(任务区)4。在切割操作区，背面贴附着保护带T的矩形基片5被纵向和横向切割，从而分割成各器件。在带剥离操作区，保护带T被从矩形基片5剥离。在器件收容操作区，多个器件被收容到器件盒中。切割操作区2至少配备有匣台20，其用于承载容纳着多个矩形基片5的匣；搬出装置21，其用于将矩形基片5从匣台20搬出；装卡台22，其固定在旋转基座22a的上表面上，用于保持搬出的矩形基片5并且能够旋转；切割装置23，其用于沿着预定分离线50切割保持在装卡台22上的矩形基片5，以将其分割为各器件；以及清洗装置24，其用于清洗切割后的矩形基片5。在切割操作区2中，通过切割而分开矩形基片5并且清洗切割后的矩形基片5。搬出装置21可沿Y轴方向移动，并且具有用于夹持矩形基片5端部的夹持部210。匣台20可沿Z轴方向与匣定位装置200(如后文所述)一起升降，并且可以承载多个匣。在图示的例子中，两个匣C1和C2可被放置在匣台20上。对应于匣台20，在匣台20下方布置着匣定位装置200，其将匣台20选择性地安置在可以使容纳在任一匣中的矩形基片被搬出装置21搬出的位置，具体地讲，是位于搬出装置21的移动路径的+Y方向延长线上。匣台20还可以沿X轴方向移动。由于这种结构，储存在匣C1和C2中的矩形基片5可以在下一步骤中被一个接一个地朝向搬出装置21高效搬出。如图3所示，姿势校正装置25布置在装卡台22上方并且位于匣台20和搬出装置21之间，并且包括两个以对置的关系配置的开闭件250，所述开闭件具有沿Y轴方向的长度尺寸，并且具有L形横截面。这两个开闭件250分别包括具有水平表面的底部250a和具有竖直表面的侧部250b。所述开闭件250彼此相向或背离地平行移动，从而在彼此接近时形成闭合状态，在彼此离开时形成第一打开状态和第二打开状态。在矩形基片5被搬出匣C1和匣C2时，姿势校正装置25位于第一打开状态，搬出的矩形基片5被放置在两个底部250a上。也就是说，第一打开状态是这样的状态，即充分打开，以使得矩形基片5可被搬出，但矩形基片又不会落下。另一方面，第二打开状态是这样的打开状态，即矩形基片5可以在两个开闭件250之间沿竖直方向移动。在两个开闭件250彼此接近以形成闭合状态时，矩形基片5接触侧部250b。结果，校正了姿势后的矩形基片5被排列在恒定姿势，并且指向恒定方向。在匣台20被定位在预定高度后，搬出装置21沿+Y方向移动，以便利用夹持部210夹持容纳在匣C1或匣C2中的矩形基片。在开闭件250位于第一打开状态的情况下，当搬出装置21沿-Y方向移动时，矩形基片5与贴附在矩形基片5背面的保护带T一起在开闭件250的底部250a上滑动。在矩形基片5移动到位于卡盘台22正上方的位置后，搬出装置21的移动停止，矩形基片5被夹持部210的夹持状态解除，从而矩形基片5被放置在两个底部250a上。然后，开闭件250彼此接近，以校正矩形基片5的姿势。在装卡台22的正上方，布置着第一输送装置26。第一输送装置26配备有保持部260，该保持部具有固定在其下部的多个吸附垫260a，这些吸附垫260a与吸力源(未示出)相通。在矩形基片5被放置在两个底部250a上后，保持部260下降，以便利用吸附垫260a吸附矩形基片5的表面。在两个开闭件250到达第一打开状态后，保持部260吸附着矩形基片5上升，以抬高矩形基片5。然后，两个开闭件250到达第二打开状态，保持部260下降，以将矩形基片5放置在装卡台22上，然后，吸附垫260a对矩形基片5的吸附解除。这样，贴附在矩形基片5背面的保护带T被装卡台22吸引和保持，由此矩形基片5也被卡盘台22保持。卡盘台22是可旋转和可沿X轴方向移动的，并且用于检测形成在矩形基片5上的预定分离线50(参看图2)的对准装置27布置在装卡台22的移动路径的上方。在矩形基片5被保持在装卡台22上时，装卡台22沿+X方向移动，由此矩形基片5被定位在对准装置27的正下方。对准装置27配备有成像部270，并且通过对例如在成像部270沿Y轴方向移动的同时由其获得的图像与预先存储的图像进行图案匹配，来检测预定分离线50。如图1所示，切割装置23相对于对准装置27布置在+X方向，其具有高速旋转的切割刀片230并且可以沿Y轴方向和Z轴方向移动。切割装置23与成像部270形成一体，切割刀片230位于成像部270在+X方向的延长线上。在预定分离线被对准装置27检测到后，预定分离线50与切割刀片230在Y轴方向的对准被自动实施。通过这种方式，实现了将要被切割的预定分离线50与切割刀片230在Y轴方向的对准。然后，保持在装卡台22上的矩形基片5沿+X方向移动，并且在切割刀片230高速旋转的状态下切割装置23下降。高速旋转的切割刀片230切入被检测到的预定分离线50，由此预定分离线50被切割，以分割矩形基片5。装卡台22沿X轴方向往复移动，切割装置在Y轴方向分度进给相邻预定分离线50间的一个宽度。在这种状态下，通过顺序切割预定分离线50，相同方向上的预定分离线都被切割，以分割矩形基片5。接下来，装卡台22转动90度，以使矩形基片5转动90度。然后，以前述相同方式实施切割，由此所有预定分离线50都被切割，以将矩形基片5分割成各器件。在矩形基片5被分割成各个器件后，装卡台22返回图1和3所示的初始位置(以下称作装卸位置)。如图4中放大显示，用于将切割后的矩形基片输送到清洗装置24的第二输送装置28布置在清洗装置24上方。第二输送装置28包括可沿Y轴方向移动的臂部280和以可升降的方式安装在臂部280的前端部的吸附板281。在如图1和3所示保持在装卡台22上并且被分割成单个器件后的矩形基片5返回装卸位置后，对矩形基片5的吸引被解除，构成第二输送装置28的吸附板281下降，以吸附矩形基片5。在这种状态下，臂部280沿-Y方向移动，由此矩形基片5移动到位于清洗装置24正上方的位置。在这种情况下，开闭件250位于第二打开状态，以允许吸附板281升降。清洗装置24配备有转台240、用于喷射清洗水的清洗水喷嘴(未示出)和用于喷射空气的空气喷嘴(未示出)，转台240固定在旋转基座240a的上表面上并且适于保持将要被清洗的材料。在切割后的矩形基片5移动到位于清洗装置24正上方的位置后，吸附板281下降，以将矩形基片5放置在转台240上。在吸附解除后，矩形基片5载置于转台240上。清洗水从清洗水喷嘴喷向保持在旋转着的转台240上的矩形基片5上，以去除切屑。在完成对矩形基片5的清理后，空气从空气喷嘴喷出，以去除清洗水并且干燥矩形基片5。在切割操作区2，第三输送装置29布置在清洗装置24附近(在图4的例子中位于-Y方向一侧)，其包括可沿X轴方向移动的臂部290和以可升降的方式安装在臂部290的前端部的吸附板291。在对矩形基片5清洗之后，构成第三输送装置29的吸附板291被安置到矩形基片5的正上方，然后吸附板291下降，以吸附矩形基片5的表面。然后吸附板291吸附着矩形基片5上升，且臂部290沿X方向移动，由此矩形基片5被带出清洗装置24，并从切割操作区2移向带剥离操作区。图5所示的伯努利垫(Bernoullipad)282可被用作如图4所示构成第二输送装置28的吸附板281和构成第三输送装置29的吸附板291。伯努利垫282可以利用以圆锥形式喷射的空气所产生的负压保持矩形基片5。伯努利垫282设有本体部282b，其内部形成有空气通道282a，以及接触保持件282d，其内部形成有喷嘴部282c，喷嘴部282c与空气通道282a相通。从外侧施加到空气通道282a的空气流经喷嘴部282c，并且从接触保持件282d的前端部的侧表面喷出。弹性件例如橡胶垫被用作接触保持件282d。在通过上述结构喷射空气的状态下，当矩形基片5接近时，矩形基片5被负压发生部282e所产生的负压吸附，并因此而被保持。此时，接触保持件282d接触矩形基片5，因此即使具有因切割而形成在其中的槽，矩形基片5也可以被接触保持件282d稳定地保持。如图6中放大显示，带剥离操作区3配备有临时安置台30，其用于临时承载在切割操作区2中被切割和清洗过的矩形基片5，拾取台31，在此器件被安置和拾取，以及器件传送装置32，其用于将器件从临时安置台30传输到拾取台31，同时剥离贴附在矩形基片5背面的保护带T。推进件320布置在临时安置台30的上方，用于沿+Y方向移动贴附有保护带T的矩形基片5。臂形推进件320将其前端沿X轴方向延伸，且臂形推进件能够沿Y轴方向往复移动，可以通过推进件320的侧表面320a推动矩形基片5。压辊321相对于推进件320布置在+Y方向，并且压辊320被安置成使其轴线指向X轴方向。压辊321可以从上方推压放置在临时安置台30上的矩形基片5，并将矩形基片5夹在其与临时安置台30之间。在图示的例子中，拾取台31包括第一台310和其台面位于相同或大致相同高度处的第二台311。第一台310被布置成可在临时安置台30与第二台311之间的区域内沿Y轴方向移动，并且可以接近临时安置台30或第二台311。第二台311布置在与临时安置台30相隔预定距离处。器件移动装置33布置在拾取台31上方，用于将放在第一台310上的器件移动到第二台311。端部材料收容部34相对于第二台311布置在+Y方向并且位于第二台311外侧，用于收容存在于切割后的矩形基片外周的端部材料。用于容纳废弃保护带的保护带收容部35布置在临时安置台30下方。器件移动装置33配备有水平移动部330，其沿Y轴方向水平移动，杆状升降部331，其被水平移动部330支撑着而能够沿Z轴方向升降，以及推出部332，其固定在升降部331的前端，用于滑动位于第一台310或第二台311上的器件和端部材料，以将它们沿+Y方向推出。推出部332具有器件推出部332a，其用于沿+Y方向推出放在第一台310上的器件并将其移至第二台311，以及端部材料推出部332b，其用于将残留在带二台311上的端部材料废弃到端部材料收容部34中。在图示的例子中，推出部332从升降部331的下端部沿-X方向水平突出，并且采用带开口中部的四边形框架的形式。推出部332的-Y方向上的一条边形成器件推出部332a，与器件推出部332a，相对的+Y方向上的一条边形成端部材料推出部332b。如图7所示，能够抓持矩形基片5的无用端部的抓持部322布置在临时安置台30和第一台310之间。抓持部322可以通过布置在临时安置台30下方的抓持部驱动部323而被降低到低于临时安置台30的位置。第一台310可以被固定在第二台311下部的驱动部311a沿Y轴方向移动。在图7所示的例子中，抓持部驱动部323包括沿Y轴方向布置的滚珠螺杆323a，用于转动滚珠螺杆323a的电机323b，具有内部螺母的基部323c，该内部螺母螺合在滚珠螺杆323a上并且随着滚珠螺杆323a的转动而沿Y轴方向移动，被基部323c可枢转地支撑着的枢转部323d，用于引导枢转部323d的枢转运动的导向件323e，以及固定在枢转部323d上的用于升降抓持部322的升降驱动部323f。作为示例，空气活塞可被用作升降驱动部323f。抓持部322上升到形成在临时安置台30和第一台310之间的空间中，并且可以将放在临时安置台30上的矩形基片的端部与保护带T一起抓持在抓持部322与枢转部323d的端面323g之间。压缩弹簧324夹在枢转部323d的外侧表面323h与基部323c的倾斜表面323i之间，以便在通常状态下将枢转部323d推压在竖立状态。辊支撑部323i固定在基部323c的外侧表面上，以可枢转地支撑着带脱落辊323k。枢转部323d设有沿X轴方向延伸的导销323m，导销323m被导向件323e支撑着而能够沿导向件323e滑动。导向件323e具有倾斜表面和水平表面，通过启动电机323b而使滚珠螺杆323a转动，可以使枢转部323d沿着导向件323e的上边沿移动。在基部323c沿着-Y方向移动时，导销323m初始滑动并同时沿导向件323e的倾斜表面上升，因此枢转部323d变得倾斜并逐渐逆时针枢转。在导销323m在导向件323e的水平表面上滑动时，枢转部323d沿-Y方向水平移动，同时维持倾斜状态，如图8所示。在切割后的矩形基片5如图6所示被放在临时安置台30上时，推进件320沿+Y方向移动，以将矩形基片5沿+Y方向移动，并将矩形基片5带到压辊321与临时安置台30之间，如图9所示。在矩形基片5沿相同方向被推进件320进一步推动时，矩形基片5外周的无用部分52被与保护带T一起推压到抓持部322与枢转部323d的端面323g之间，如图9所示。通过驱动升降驱动部323f，无用部分52与保护带T一起被夹持。然后，在如图9所示无用部分52与保护带T一起被抓持部322与枢转部323d的端面323g夹持的状态下，通过启动电机323b而使基部323c沿-Y方向移动。这样，在导销323m在导向件323e的倾斜表面上滑动的同时，枢转部323d逐渐逆时针枢转并倾斜。由于靠近无用部分52的第一器件列D1被压辊321向下压，因之只有无用部分52被与保护带T一起向下拉动。此时，矩形基片5被推进件321沿+Y方向推出，并且保护带T被拉动，从而所有的器件在临时安置台30上沿+Y方向移动。与此同时，无用部分52下降并向着临时安置台30的下方移动，靠近无用部分52的第一器件列D1移动到邻近于临时安置台30端部的位置。在这种情况下，如图10中的双点划线所示，第一台310向临时安置台30前进并且接近临时安置台30，留下略大于保护带T的厚度的间隙。在这种状态下，当基部323c沿-Y方向进一步移动时，保护带T被向下拉动，靠近无用部分52的第一器件列D1被传送到第一台310上而不被拉下，如图11所示。通过这种方式，只有第一器件列D1被传送到第一台310上。在第一器件列D1被传送到第一台310上后，第一台310沿+Y方向移动并且接近第二台311，如图12所示。然后，构成器件移动装置33的推出部332降低，并且推出部332在第一台310上沿+Y方向滑动。通过这个运动，构成推出部332的器件推出部332a沿+Y方向推动第一器件列D1，并且如图13所示将第一器件列D1从第一台310传送到第二台311。如前面所指出，抓持部322、压辊321、推进件320和抓持部驱动部323协作，以构成用于将器件列传送到拾取台31的器件传送装置32。在第一器件列D1被传送到第二台311后，构成传送到第二台311的第一器件列D1的各个器件被单个地拾取并收容到器件盒中，如后面所描述。然而，即使是在各器件被拾取后，图2所示的端部材料51也会不变地留在第二台311上。然后，如图14所示，第一台31沿-Y方向移动并且接近临时安置台30。然后，脱离了第一器件列D1的切割后的矩形基片5被推进件320沿+Y方向进一步推动，并因此而滑动。此外，基部323c沿-Y方向进一步移动，由此第二器件列D2被放置在第一台30上。然后，以与图12和13中所示相同的方式，第二器件列D2被传送到第二台311上。在这种情况下，通过推出部332的端部材料推出部332b，端部材料51被收容到端部材料收容部34中。如图15中放大显示，器件收容操作区4至少配备有拾取装置40，其用于拾取被传送到拾取台的器件并将其收容到器件盒中，空器件盒储存部41，其用于储存空器件盒6，器件盒定位装置42，其用于将空器件盒6从空器件盒储存部41抽出并将器件盒带到器件收容位置，该位置为可以收容由拾取装置40拾取的器件的位置，以及收容器件盒储存部43，其用于储存收容着器件的器件盒。在图示的例子中，收容器件盒储存部43包括合格产品器件盒储存部430，其用于储存收容着作为合格产品(acceptableproduct)的器件的合格产品器件盒7，以及不合格产品器件盒储存部431，其用于储存收容着作为不合格产品(defectiveproduct)的器件的不合格产品器件盒8。空器件盒储存部41、合格产品器件盒储存部430和不合格产品器件盒储存部431可以分别储存沿竖直方向堆叠的多个器件盒。在拾取装置40中，位于支撑部401的下表面上的支撑部402被布置成能够沿X轴方向移动，并且支撑部402支撑着吸附部403，以使吸附部403能够升降。判断部404设在支撑部401的下表面上，用于对器件进行成像并且判断其为合格产品或不合格产品。在空器件盒储存部41、合格产品器件盒储存部430和不合格产品器件盒储存部431的正下方，沿Y轴方向并排布置着第一升降板420、第二升降板421和第三升降板422。器件盒可以被放置在第一升降板420、第二升降板421和第三升降板422上。在第一升降板420、第二升降板421和第三升降板422上方，沿Y轴方向平行布置着可沿Y轴方向平行移动的第一盒架423和第二盒架424。第一盒架423和第二盒架424均具有四边形形状，但高度不同。也就是说，第一盒架423被高度较小的倒L形支撑臂423a支撑着，第二盒架424被高度较大的倒L形支撑臂424a支撑着，以使得第二盒架424位于高于第一盒架423的位置。第一盒架423和第二盒架424分别可沿Y轴方向移动，并且布置在Y轴上的同一直线上。然而，当第二盒架424相对于第一盒架423被安置在-X方向并且第一盒架423和第二盒架424交叉时，第一盒架423进入第二盒架424内侧，因而这两个盒架不会彼此接触。第一升降板420、第二升降板421、第三升降板422、第一盒架423和第二盒架424以有组织的方式动作，由此将器件盒安置在器件收容位置，并且构成器件盒定位装置42。在储存于空器件盒储存部41中的多个空器件盒6中，最下面的那一个被第一突出片410支撑着而不跌落。因此，安放在其上面的器件盒也被支撑着。第一突出片410相对于空器件盒储存部41自由伸出和退回。在第一突出片410退回时，空器件盒6的支撑状态解除。对于合格产品器件盒储存部430和不合格产品器件盒储存部431，布置着具有同样功能的第二突出片430a和第三突出片431a。在如图14所示第一器件列D1被安放在构成拾取台31的第二台311上后，储存在空器件盒储存部41中最下方位置的空器件盒被抽取，并被移动到可以收容器件的位置(即器件收容位置)。下面将解释这样的情况，即两个器件盒被从空器件盒储存部41中抽出，其中一个被用作合格产品器件盒，另一个被用作不合格产品器件盒。首先，如图16(A)所示，第一盒架423被定位在空器件盒储存部41的正下方和第一升降板420的正上方。第一升降板420上升而通过第一盒架423的内部，并且如图16(B)所示，第一升降板420被带到与最下方的空器件盒6a的下表面紧密接触，以支撑最下方的空器件盒6a，并且由第一突出片410支撑的状态被解除。在这种状态下，当第一升降板420下降时，最下方的空器件盒6a也下降并且可被抽出。第一突出片410突出以支撑位于最下方的空器件盒6a直接上方的空器件盒6b，第一升降板420进一步下降，抽取的空器件盒6a被收容在第一盒架423中，如图16(C)所示。通过这种方式，收容在第一盒架423中的空器件盒6a被用作合格产品器件盒。容纳着空器件盒6a的第一盒架423沿Y轴方向移动，由此空器件盒6a可被带到合格产品器件收容位置。例如，如图17(A)所示，假定第一盒架423沿-Y方向移动，并且被定位在合格产品器件盒储存部430正下方的位置，在此位置，器件被收容到合格产品器件盒6a中。在这种情况下，该位置是合格产品器件收容位置。如这里所指出，第一升降板420和第一盒架423用作合格产品器件盒定位装置，用于从空器件盒储存部41抽取空器件盒，并将作为合格产品器件盒的空器件盒带到合格产品器件收容位置，该位置是作为合格产品的器件被收容的位置。合格产品器件收容位置并不局限于图示实施例的位置，而只要满足下述条件即可其为构成拾取装置40的吸附部403可以移动到的位置，并且不与后文所述的不合格产品器件收容位置重叠。一个不同的空器件盒6b被从空器件盒储存部41抽出，并被用作不合格产品器件盒。不合格产品器件盒被收容到第二盒架424中。如图17(A)所示，在空器件盒6a位于合格产品器件收容位置的情况下，第二盒架424沿+Y方向移动，并且定位在空器件盒储存部41的正下方。然后，第一升降板420升高以支撑空器件盒6b。第一突出片410退回，以使最下方的空器件盒6b被抽出。在第一升降板420支撑着空器件盒6b的情况下，当第一升降板420下降时，空器件盒6b被收容在第二盒架424中，如图17(B)所示。通过这种方式，容纳在第二盒架424中的空器件盒6b被用作不合格产品器件盒。然后，第二盒424沿-Y方向移动，由此不合格产品器件盒6b可被移动到不与合格产品器件盒6a重叠的位置，如图17(C)所示。在这种状态下，作为合格产品的器件可被收容到合格产品器件盒6a中。如这里所指出，第一升降板420和第一盒架423用作不合格产品器件盒定位装置，用于从空器件盒储存部41抽取空器件盒，并将作为不合格产品器件盒的空器件盒带到不合格产品器件收容位置，该位置是作为不合格产品的器件被收容的位置。不合格产品器件收容位置是构成拾取装置40的吸附部403可以移动到的位置。在本实施例中，该不合格产品器件收容位置位于合格产品器件收容位置的正上方。在合格产品器件盒6a被安置在合格产品器件收容位置后，构成拾取装置40的支撑部402沿+X方向移动，吸附部403下降并一个接一个地吸附构成第一器件列D1的器件，如图18所示。此时，在吸附之前，判断部404对器件进行成像，以判断器件是合格产品还是不合格产品。在这一时刻判断合格产品或不合格产品不会降低生产率。在第一器件列D1的两端出现两个端部材料51(见图2)，所述端部材料51不被拾取。如果判断出将被拾取的器件是合格产品，则在吸附部403吸附着器件的情况下，支撑部402沿-X方向移动。吸附的器件被定位在合格产品器件盒6a中的一个预定空区的正上方，并且吸附部403下降。与此同时，解除吸附以使器件作为合格产品被收容到该空区中。另一方面，如果判断出将被拾取的器件是不合格产品，则第二盒架424沿+Y方向移动，以将不合格产品器件盒6b安置在不合格产品器件收容位置。此外，支撑部402沿+X方向移动，以将吸附部403定位在不合格产品器件盒6b中的一个预定空区的正上方，并且吸附部403下降。与此同时，解除吸附以使器件作为不合格产品被收容到该空区中。根据器件在空区中的收容状况，合格产品器件盒6a和不合格产品器件盒6b沿着适宜的Y轴方向移动。通过这种方式，构成第一器件列D1的各个器件被一个接一个地收容到合格产品器件盒6a或不合格产品器件盒6b中。拾取装置40可以被构造成沿Y轴方向移动。另一方面，保持安置在第二台311上的端部材料51被废弃到相对于第二台311位于+Y方向的端部材料收容部34中。用于实现此目的的机构显示于图19中。如图14所示，当第一器件列D1被传送到第二台311上后，保护带T被从接下来的第二器件列D2剥离，第二器件列D2被安放在第一台310上。在构成第一器件列D1的所有器件被拾取并收容到合格产品器件盒6a或不合格产品器件盒6b中后，进行对安放在第一台310上的第二器件列D2向第二台311的传送。这一操作是这样进行的，即以与图12和13所示相同的方式，第一台310向第二台311靠近，然后推出部332沿+Y方向移动，由此器件推出部332a推动第二器件列D2。此时，构成推出部332的端部材料推出部332b沿+Y方向推动构成第一器件列D1的端部材料51。因此，与用于第二器件列D2从第一台310向第二台311的传送操作同时，构成第一器件列D1的端部材料51可被端部材料推出部332b沿+Y方向推出，然后下落并被收容在端部材料收容部34中。这一点是非常高效的，并且不再需要利用专门的器械将端部材料51收容在端部材料收容部34中。如前所述，由需要新被拾取的器件构成的器件列从第一台310传送到第二台311，构成已被拾取的器件列的端部材料被同时废弃。在这一过程中，各器件被拾取装置40顺序拾取并被收容到器件盒中，如图18所示。在作为合格产品的器件被收容到合格产品器件盒6a的所有区域中后，如图20(A)所示，不合格产品器件盒6b移动到不与合格产品器件盒6a重叠的位置。然后，第二升降板421上升，第二突出片430a退回，由此合格产品器件盒6a储存在合格产品器件盒储存部430中。然后，如图20(B)所示，在第二升降板421下降而返回其初始位置后，第一盒架423移动到空器件盒储存部41正下方的位置。然后，第一升降板420升高，以新从空器件盒储存部41抽取空器件盒6c。在第一升降板420下降后，抽取的空器件盒6c被收容在第一盒架423中。接下来的动作与图16(A)至16(C)和图17(A)至17(C)中的相同。类似地，在作为不合格产品的器件被收容到不合格产品器件盒6b的所有区域中后，不合格产品器件盒6b被储存在不合格产品器件盒储存部431，不同的空器件盒被新从空器件盒储存部41抽取，并被收容在第二盒架424中。如图21所示，在最后的器件列即第八器件列D8被从保护带T剥离后，第八器件列D8被传送到第一台310。在基部323c沿-Y方向进一步移动时，保护带T上的除被抓持部322夹持着的部分之外的部分与靠近第八器件列D8的无用端部522一起向下落。如图22所示，在抓持部322升高以解除夹持状态后，保护带T与位于两端的无用端部52一起向下落。如有必要，带脱落辊323k逆时针转动，由此保护带T与贴附在其两端的无用端部52可以一起可靠地落下。由于保护带收容部35布置在器件传送装置32下方，因此落下的保护带T被容纳在保护带收容部35中。在分割设备1中，如前所述，在背面贴附着保护带T的矩形基片5在切割操作区2中被切割并分割成各器件，然后被清洗。在带剥离操作区3中，器件可以可靠、容易且高效地从保护带T剥离，并被传送到拾取台。在器件收容操作区4中，传送到拾取台31的器件可以被收容到器件盒中。因此，可以在一个设备中完成从器件的切割到收容的一整套程序。由于保护带T的剥离以及器件向拾取台31的传送可以同时进行，因此生产率极高。另外，由于不必使用环形框架，因此可以实现因设备尺寸下降而带来的空间节约效果。如图1所示，在切割操作区2中，匣台20、搬出装置21和清洗装置24布置在第一直线10上，切割装置23布置在与第一直线10相垂直的第二直线11上，且装卡台22适于在第二直线11上移动。也就是说，匣台20、搬出装置21和清洗装置24布置在Y轴方向的延长线上，切割装置23和装卡台22布置在X轴方向的延长线上。在带剥离操作区3中，临时安置台30相对于清洗装置24布置在一条与第二直线11相平行的直线上，临时安置台30和拾取台31布置在一条与第一直线10相平行的直线上。也就是说，临时安置台30布置在清洗装置24的X轴方向延长线上，拾取台31布置在临时安置台30的Y轴方向延长线上。拾取台31的第一台310和第二台311也布置在临时安置台30的Y轴方向延长线上。在器件收容操作区4中，空器件盒储存部41和收容器件盒储存部43布置在一条与第一直线相平行的直线上，器件盒定位装置42布置在空器件盒储存部41的正下方和收容器件盒储存部43的正下方。也就是说，空器件盒储存部41和收容器件盒储存部43布置在一条Y轴方向延长线上，器件盒定位装置42布置在空器件盒储存部41和收容器件盒储存部43的Z轴方向延长线上。此外，沿着操作步骤的顺序，切割操作区2、带剥离操作区3和器件收容操作区4布置在X轴方向上。由于前面描述的位置关系，矩形基片5在切割操作区2、带剥离操作区3和器件收容操作区4中的运动没有任何浪费。矩形基片5在这些区之间的运动也没有任何浪费。因此，可以因设备小型化而节省空间，并且可以获得令人满意的效率。在前面的描述中，拾取台31由第一台310和第二台311构成，但一个台也能够构成拾取台31。如果台的数量为一，则这一个台可以移向和离开临时安置台30。这一个台也并非必须是可移动的。类似地，即使拾取台31由第一台310和第二台311构成，第一台310也并非必须是可移动的。如果所述一个台或第一台是固定的，则该台与临时安置台30之间必须形成供抓持部322进入的间隙。然而，在这种情况下，在器件被传送时，需要施加压力，并可能损坏器件。因此，所述台优选被构造成是可移动的。权利要求1.一种矩形基片分割设备，所述矩形基片的背面贴附着保护带，并且矩形基片上形成有用于将矩形基片分割成多个器件的预定分离线，所述矩形基片分割设备沿着所述预定分离线分割矩形基片以使矩形基片分割为各器件，并将各器件收容在器件盒中；所述矩形基片分割设备至少包括切割操作区，其包括匣台，其用于承载收容着多个矩形基片的匣；搬出装置，其用于将矩形基片从匣台搬出；装卡台，其用于保持搬出的矩形基片；切割装置，其用于沿着预定分离线切割保持在装卡台上的矩形基片，以将其分割为各器件；以及清洗装置，其用于清洗切割后的矩形基片；带剥离操作区，其包括临时安置台，其用于临时承载被切割和清洗过的矩形基片；拾取台，其用于在构成矩形基片的各器件被拾取时承载所述器件；以及器件传送装置，其功能为将器件从临时安置台传输到拾取台，并同时剥离贴附在矩形基片背面的保护带；器件收容操作区，其至少包括拾取装置，其用于拾取被传送到拾取台的器件并将其收容到器件盒中；空器件盒储存部，其用于储存空器件盒；器件盒定位装置，其用于将空器件盒从空器件盒储存部抽出并将空器件盒带到器件收容位置，该位置为器件可通过拾取装置而被收容的位置；以及收容器件盒储存部，其用于储存收容着器件的器件盒。2.如权利要求1所述的矩形基片分割设备，其特征在于，在所述带剥离操作区中拾取台包括第一台和第二台，第二台被布置成与所述临时安置台相隔预定间隔，第一台被布置成可在临时安置台与第二台之间移动；所述器件传送装置包括抓持部，其用于将放置在临时安置台上的矩形基片的无用端部与保护带一起抓持；压辊，其用于推压放置在临时安置台上的矩形基片；推进件，其用于将矩形基片推入压辊与临时安置台之间，并且在第一台位于接近临时安置台的位置时将矩形基片移向第一台；以及抓持部驱动部，其用于将抓持部降低到至少低于临时安置台，并将保护带从矩形基片的背面剥离；在拾取台上方，布置着器件移动装置，其在第一台位于接近第二台的位置并且所述器件放置在第一台上时，将放置在第一台上的器件移动到第二台；拾取装置拾取移动到第二台的器件。3.如权利要求2所述的矩形基片分割设备，其特征在于，所述抓持部驱动部包括基部，其可沿着与第一台分离的方向移动；枢转部，其被所述基部可枢转地支撑着；导向件，其用于引导所述枢转部的枢转运动；以及升降驱动部，其固定在所述枢转部上，用于升降所述抓持部。4.如权利要求2所述的矩形基片分割设备，其特征在于，在临时安置台下方布置着保护带收容部，其用于收容由所述抓持部驱动部从矩形基片上剥离的保护带。5.如权利要求2所述的矩形基片分割设备，其特征在于，在横跨第二台与第一台相反的一侧布置着端部材料收容部，其用于收容构成切割后的矩形基片的端部材料；所述器件移动装置配备有器件推出部，其用于将放置在第一台上的器件推出并移向第二台；以及端部材料推出部，其用于将残留在第二台上的端部材料推出，以使端部材料从第二台落入端部材料收容部中。6.如权利要求1所述的矩形基片分割设备，其特征在于，在所述器件收容操作区中所述拾取装置包括判断部，其用于判断作为拾取对象的器件是合格产品还是不合格产品；所述器件盒包括用于容纳作为合格产品的器件的合格产品器件盒和用于容纳作为不合格产品的器件的不合格产品器件盒；所述收容器件盒储存部包括用于储存合格产品器件盒的合格产品器件盒储存部和用于储存不合格产品器件盒的不合格产品器件盒储存部；所述器件盒定位装置包括合格产品器件盒定位装置，其用于从空器件盒储存部抽取空器件盒，并将所述空器件盒作为合格产品器件盒带到合格产品器件收容位置，该位置为用于收容作为合格产品的器件的位置；以及不合格产品器件盒定位装置，其用于从空器件盒储存部抽取空器件盒，并将所述空器件盒作为不合格产品器件盒带到不合格产品器件收容位置，该位置为用于收容作为不合格产品的器件的位置。7.如权利要求1所述的矩形基片分割设备，其特征在于，所述切割操作区设有姿势校正装置，其用于校正从所述匣搬出的矩形基片的姿势；第一输送装置，其用于保持已经由姿势校正装置校正了姿势的矩形基片，并将矩形基片放置在装卡台上；第二输送装置，其用于将保持在装卡台上的已被切割了的矩形基片输送到所述清洗装置；第三输送装置，其用于将清洗后的矩形基片输送到临时安置台。8.如权利要求1所述的矩形基片分割设备，其特征在于，在所述切割操作区中两个或更多个所述匣可被放置在所述匣台上；布置着匣定位装置，其选择性地将匣台带到下述位置，即在该位置，容纳在任何一个匣中的矩形基片可以被所述搬出装置搬出。9.如权利要求1所述的矩形基片分割设备，其特征在于，在所述切割操作区中所述匣台、搬出装置和清洗装置布置在第一直线上，所述切割装置布置在与第一直线垂直相交的第二直线上，且装卡台适于在第二直线上移动；在所述带剥离操作区中所述临时安置台相对于清洗装置布置在一条与第二直线相平行的直线上，并且所述临时安置台和所述拾取台布置在一条与第一直线相平行的直线上；在所述器件收容操作区中所述空器件盒储存部和收容器件盒储存部布置在一条与第一直线相平行的直线上，并且所述器件盒定位装置布置在空器件盒储存部的正下方和收容器件盒储存部的正下方。全文摘要公开了一种矩形基片分割设备，其能够以小的空间分割矩形基片，将通过分割而形成为单块的器件收容到器件盒中，并且可靠且高效地从贴附在矩形基片背面的保护带拾取器件。矩形基片的背面贴附着保护带，并且矩形基片上形成有用于将矩形基片分割成多个器件的预定分离线，矩形基片分割设备沿着预定分离线分割矩形基片以使矩形基片分割为各器件，并将各器件收容在器件盒中。在切割操作区中，矩形基片被从匣中搬出，被切割装置切割，再被清洗装置清洗。在带剥离操作区中，器件被拾取，而保护带被剥离。在器件收容操作区中，拾取的各器件被收容在器件盒中。文档编号H01L21/78GK1783432SQ20051012855公开日2006年6月7日申请日期2005年11月30日优先权日2004年11月30日发明者大河原聪,和泉邦治,石井茂,小峰龙申请人:株式会社迪斯科