可变形镜及该可变形镜的制造方法

专利名称：可变形镜及该可变形镜的制造方法
技术领域：
本发明涉及一种可变形镜，该可变形镜设置于诸如光学拾取装置之类的 光学装置，并能够改变其反射面的形状，从而对光束的光学畸变进行校正等。 另外，本发明涉及一种可变形镜的制造方法。
背景技术：
通常，己提出了各种可变形镜，该可变形镜能够改变其反射面的形状以 校正入射光束的光学畸变等，而且这种可变形镜被用于包括光学拾取装置和 图像处理设备的广泛应用中。
例如，在光学拾取装置领域中，可变形镜被用来校正可能在在诸如CD (压縮盘)或DVD (数字通用盘)之类的光盘上读取或写入信息时产生的波 象差，该波象差包括可能在光盘的盘面相对于光轴倾斜时发生的慧形象差， 以及由保护光盘的记录表面的透明树脂膜(保护层)的变化引起的球面象差， 如JP-A-2004-109562或JP-A-2005-196S59中所示。
对于这种可变形镜，这里介绍了不同的传统类型，其中包括如 JP-A-2004-109562中所示的可变形镜，其使用压电元件并具有单压电晶片元 件或双压电晶片元件形状，还包括如JP-A-2005-196859中所示的可变形镜， 其由诸如压电膜之类的层叠薄膜制成。
还有一种其它类型的可变形镜，如JP-A-H05-333274中所示，该可变形 镜可以利用柱状压电元件(压电致动器)沿纵向(竖直方向)膨胀和收縮而 使其反射面变形。另外，可以利用压电元件沿纵向膨胀和收縮而使其反射面 变形的可变形镜具有制造容易的优点，以及与JP-A-2005-196859中公开的、 由层叠薄膜制成的可变形镜相比还具有成本等方面的其它优点。
而且，如果如JP-A-H05-333274中所示利用压电元件沿纵向的膨胀和收 縮，则通过使用层叠式压电致动器(其中层状的压电构件和层状的内部电极 交替层叠，同样如JP-A-2003-159697中所示)作为压电元件可以使产生的力
变大。因此，与JP-A-2004-109562或JP-A-2005-196859中所示的可变形镜相 比，具有反射面能够发生更大的变形的优点。然而，如果层叠式压电致动器被使用在例如JP-A-H05-333274中所示的 结构中，则会产生一个问题，S卩，设置为给压电致动器提供电压的布线将变 得复杂，而且连接工作变得困难。特别地，如果在光学拾取装置的光学系统 等中要求可变形镜的尺寸很小，则布线的形成更加困难。因此，产生了具有 层叠式压电致动器的可变形镜不能充分使用的问题。发明内容本发明的一个目的是提供一种具有能够产生很大能量的层叠式压电致 动器的可变形镜，该可变形镜的尺寸可以很小，并且很容易形成给压电致动 器提供电压的引线。本发明的另一个目的是提供一种可变形镜的制造方法， 通过这种方法，可以很容易地形成具有能够产生很大能量的层叠式压电致动 器的可变形镜。本发明的可变形镜包括支承基板；镜基板，其与该支承基板相对，且 在与面对该支承基板的表面相对的表面上具有反射面；固定构件，其设置在 该支承基板上，并固定该镜基板；以及至少一个压电致动器，设置在该支承 基板上，使得该镜基板的、被该固定构件固定的一部分所包围的区域能够变 形。所述压电致动器由交替叠置的多个层状压电构件和多个层状电极构成， 并且所述层状电极交替连接到第一公共电极和第二公共电极，该第一公共电 极和该第二公共电极设置在所述压电致动器的、与叠置方向近似平行的侧 面，以使得所述层状电极交替具有不同的极性。在电压施加至该第一公共电 极和该第二公共电极时，该可变形镜能够使该镜基板和该反射面变形。该支 承基板设置有至少一个导电接合部分以接合至所述压电致动器，所述导电接 合部分被分成两个区域。所述压电致动器的接合表面设置有第一金属膜，该 第一金属膜被分成彼此不电连接的第一区域和第二区域。所述压电致动器的 每一个侧面均设置有第二金属膜，该第二金属膜用来使该第一公共电极和该 第一区域电连接，或使该第二公共电极和该第二区域电连接。根据这种结构，给压电致动器提供电压的两个电极(即，正电极和负电 极)可以仅在支承基板上引出。因此，当所谓的层叠式压电致动器被用来使
可变形镜的反射面变形时，可以容易地简化布线。由此，引线没有设置在支 承基板和镜基板之间，这样使得压电致动器的元件可以高密度地设置在支承 基板上，并且可以减小可变形镜的尺寸。此外，由于引线不复杂，因此可以 减少制造可变形镜的工作量。此外，在本发明的另一个方案中，对于具有上述结构的可变形镜，第一 金属膜和第二金属膜由同样的材料制成。根据该结构，由于在压电致动器的、待接合至支承基板的接合表面上的 第一金属膜以及用来将第一金属膜和在压电致动器的侧面上形成的公共电 极连接的第二金属膜由相同的材料制成，因此可以提高形成第一金属膜和第 二金属膜的效率。此外，在本发明的另一个方案中，对于具有上述结构的可变形镜，在该 支承基板上形成布线图案，并且将该布线图案从该接合部分的两个分开的区 域的每一个中引出，从而能够实现外部供电。根据该结构，由于用来外部供电的布线图案能够在支承基板上形成导电 接合部分时同时形成，因此可以提高制造过程的效率。此外，在本发明的另一个方案中，对于具有上述结构的可变形镜，该第 一金属膜起到通过热压接合将所述压电致动器和该接合部分彼此接合的接 合膜的作用。根据该结构，由于可变形镜的压电致动器可以通过使用在压电致动器上 形成的金属膜作为接合膜而接合到支承基板，因此在形成可变形镜时，每个 元件可以不使用粘合剂，而使用金属膜通过热压接合全部地、 一体地接合。此外，在本发明的另一个方案中，对于具有上述结构的可变形镜，第一金属膜是Au膜。根据该结构，由于使用All作为金属膜，因此在压电致动器和支承基板 之间能够得到高的接合强度，从而可以提供可变形镜中出现破损的可能性很 小的、高可靠性的可变形镜。根据本发明的方法是可变形镜的制造方法，该可变形镜包括支承基板； 镜基板，其与该支承基板相对，且在与面对该支承基板的表面相对的表面上具有反射面；固定构件，其设置在该支承基板上，并固定该镜基板；至少一 个压电致动器，设置在该支承基板上，使得该镜基板的、被该固定构件固定
的一部分所包围的区域能够变形；所述压电致动器由交替叠置的多个层状压 电构件和多个层状电极构成，所述层状电极交替连接到第一公共电极和第二 公共电极，该第一公共电极和该第二公共电极设置在所述压电致动器的、与 叠置方向近似平行的侧面，以使得所述层状电极交替具有不同的极性，在电 压施加至该第一公共电极和该第二公共电极时，该可变形镜能够使该镜基板 和该反射面变形。该制造方法包括第一步骤，在该支承基板上形成至少一 个导电接合部分，所述导电接合部分被分成两个区域且接合到所述压电致动 器；第二步骤，在所述压电致动器的、待接合至该接合部分的接合表面上以 及所述压电致动器的侧面上，设置金属膜，从而使设置在所述侧面上的该第 一公共电极和该第二公共电极电连接到所述压电致动器的接合表面，并且该 第一公共电极和该第二公共电极不电连接；以及第三步骤，在第二步骤之后，在由第一步骤得到的所述接合部分上设置所述压电致动器，并且加热和按压 所述压电致动器以使其接合至该接合部分。根据该结构，用来给压电致动器提供电压的两个电极(即，正电极和负 电极)仅在支承基板上引出。此外，引线不需要布线，所以可以减少制造具 有层叠式压电致动器的可变形镜的工作量。而且，由于引线不需要布线，因 此元件可以高密度地设置在支承基板上，从而能够减小光学拾取装置的尺 寸。此外，在本发明的另一个方案中，对于具有上述结构的可变形镜的制造方法，第一步骤包括以下步骤形成布线图案，该布线图案在形成该接合部 分时从该接合部分的每一个区域中引出，从而能够实现外部供电。根据该结构，由于用来实现外部供电的布线图案能够在支承基板上形成 导电接合部分时同时形成，因此可以提高制造过程的效率。


图l是示出根据本发明实施例的可变形镜的结构图，其为示出在可变形 镜的镜基板被接合之前的状态的总体立体图。图2是示出设置于本实施例的可变形镜的支承基板的俯视图。 图3是沿图1中的线A-A的、图.1所示的可变形镜处于组装状态下的总 体剖视图。 图4是示出本实施例的压电致动器的结构的总体剖视图。图5是示出图3所示的可变形镜的、处于压电致动器膨胀状态下的视图。
具体实施方式
在下文中，将参考所附的附图描述本发明的实施例。注意，在此描述的 实施例仅为实例，本发明不限于本实施例。此外，图中所示的各个元件的尺 寸和厚度等是为了易于理解的目的示出的，而不总是与实际的结构相匹配。 (可变形镜的结构)图1是示出本发明可变形镜的实施例的视图，是示出在可变形镜的镜基板被接合之前的状态的总体立体图。图2是示出设置于本实施例的可变形镜 的支承基板的俯视图。图3是沿图1中的线A—A的、具有图l所示的接合 的镜基板的可变形镜的总体剖视图。主要参考图1到图3来描述本实施例的 可变形镜的实施例。附图标记1代表可变形镜，该可变形镜能使其反射面变形从而可以校正 入射光束的光学畸变。该可变形镜l包括支承基板2;镜基板3，其与支 承基板2相对；多个固定构件4，其设置在支承基板2上，并且固定镜基板 3;以及多个压电致动器5，其设置在支承基板2上，并通过它们的膨胀和收 縮来按压镜基板3，以使得反射面3a可以变形。在下文中，将详细描述各个 部分。支承基板2的作用是支承多个固定构件4和多个压电致动器5。支承基 板2由绝缘构件构成，且例如由玻璃或陶瓷等制成。如图2所示，在支承基 板2上设置有由导电构件制成的布线图案6和用来接合多个压电致动器5的 接合部分7。在本实施例中，布线图案6和接合部分7由硅(si)制成。接合部分7包括两个分开的区域，这两个区域之间不电连接。接合部分 7被分为两个区域的原因将在后面描述。此外，布线图案6分别从接合部分 7的两个分开的区域的每一个中引出。该布线图案6能将外部电源提供给压 电致动器5。尽管在本实施例中选择硅作为形成布线图案6和接合部分7的导电构 件，但只要布线图案6和接合部分7由导电构件制成就可以。可以采用另外 一种结构，其中在绝缘支承基板2上形成金属图案。
镜基板3设置为与支承基板2大致平行并与支承基板2相对，且反射面3a在与面对支承基板2的表面相对的表面上形成。由于镜基板3具有通过压 电致动器5的膨胀和收縮变形、从而使得反射面3a也变形的结构，所以要 求镜基板3的厚度形成得薄一些。此外，为了避免镜基板3在由压电致动器 5的膨胀和收縮而产生变形的过程中破损，要求使用具有一定硬度的材料来 制成镜基板3。考虑到这一点，在本实施例中，镜基板3由厚度接近10(Vm 的硅(si)基板制成。尽管在本实施例中镜基板3由硅制成，但是本发明不限于这种结构。镜 基板3可以由其它薄的、有硬度的材料制成。此外，硅基板3的厚度可以根 据它的目的改变，而不限于本实施例的厚度。镜基板3的反射面3a通过在镜基板3上形成铝(Al)层而获得。Al层 通过气相沉积法或溅射法来形成。注意，反射面3a不仅可以由铝制成，还 可以由能实现进入可变形镜1的反射面3a的光束的反射光所期望的反射系 数的其它材料制成。例如，金(Au)或银(Ag)等可被用于各种变型。此 外，尽管在本实施例中镜基板3的整个上表面都用来形成反射面3a，但是本 发明不限于此结构。可以采用其它结构，其中反射面3a的面积由入射光束 的入射直径决定，从而使反射面只在该区域内形成。此外，镜基板3的、面对支承基板2的表面设置有与压电致动器5接触 的多个突起部3b，如图3所示。设置这些突起部3b的目的是有效地传递通 过压电致动器5的膨胀和收縮施加至镜基板3的力。突起部3b例如通过蚀 刻工艺形成。尽管在本实施例中形成突起部3b，当然也可以采用没有设置突 起部3b的其它结构。固定构件4被放置在支承基板2上，并起固定镜基板3的作用。在本实 施例中，固定构件4在8个位置上支承镜基板3，这8个位置包括矩形镜基 板3的四个拐角以及矩形镜基板3外周的四个边的中间部分(夹在设置于拐 角的四个固定构件4中的每两个固定构件4之间的位置)。注意，固定构件 4的设置不限于本实施例的结构。可以采用能够牢固地固定镜基板3的外周 的任意结构作为各种变型。固定构件4例如由玻璃或陶瓷等制成。固定构件4与支承基板2的接合 以及固定构件4与镜基板3的接合都是通过以下方法实现的，g卩，在固定构
件4与支承基板2之间以及固定构件4与镜基板3之间设置Au层作为接合 层，并在例如400摄氏度到550摄氏度之间的高温条件下对它们施加压力。 注意，接合层不限于Au层，也可以是其它的金属层，例如Au-Sn合金等。 此外，也可以使用粘合剂使它们接合。在通电时压电致动器5膨胀或收縮，从而使得镜基板3和反射面3a可 以变形。压电致动器5设置在支承基板2上，且位于用来固定镜基板3的、 设置在镜基板3的外周侧的固定构件4的内侧。4个压电致动器5沿横向设置在支承基板2上，以使得互相面对的每两 个压电致动器相对于穿过反射面3a的中心的轴对称地设置，并垂直于反射 面3a。压电致动器5采用这种设置的目的是为了在不过多增加压电元致动器 的数量的情况下，容易地在平衡良好的情况下使反射面3a变形。然而，压 电致动器5的设置和数量不限于这种结构，其可以有镜基板3的反射面3a 能够根据其目的变形的各种改型。此外，在本实施例中，压电致动器5不与镜基板3接合，且设置为与形 成在镜基板3上的突起部3b接触。压电致动器5不与镜基板3接合的原因 是尽可能地减少畸变，如果压电致动器5与镜基板3接合，则镜基板3的反 射面3a中可能产生这种畸变。压电致动器5是所谓的层叠式压电致动器。图4是示出本实施例的压电 致动器的总体剖视图。注意，图4还示出了与压电致动器5接合的接合部分 7 (构成接合部分7的两个区域7a和7b)。如图4所示，压电致动器5具有多个层状压电构件8和多个层状内部电 极9交替叠置的结构。内部电极9包括两种类型，即，内部电极9a和内部 电极9b，它们分别连接到第一公共电极10a和第二公共电极10b，第一公共 电极10a和第二公共电极10b分别设置在压电致动器5的两个相对的侧面。 因此，压电致动器5的内部电极9交替地具有不同的极性(正极和负极)。另外，使用极化工艺处理夹在内部电极9a与9b之间的压电构件8，从 而沿图4中箭头所示的方向出现极化。注意，极化过程是指在加热的同时施 加高的直流电场，使得压电构件8内部的电偶极子统一指向一恒定方向，并 给予压电作用。如图4中所示，压电致动器5的压电构件8设置为交替具有不同的极化 方向。根据这种结构，当对交替地成为正电极和负电极的内部电极9施加电 压(电压施加到第一公共电极10a与第二公共电极10b，以使得其中一个电 极变成正电极，另一个电极变成负电极)时，所有的压电构件8将膨胀或收縮。因此，根据这种结构，通过公知的低驱动功率可以获得很大的位移(能 够产生很大的力)。而且，在本实施例中，在压电致动器5的多个压电构件8中，上端和下 端的压电构件8没有被极化工艺处理。这是因为上端和下端的压电致动器5 与导电构件接触。考虑到这一点，重要的是，本实施例的下端压电构件8尤 其不能被极化工艺处理。其原因在下面的部分叙述。尽管压电构件8的材料类型不受限，只要是压电陶瓷就可以，例如钛酸 钡(BaTk)3)或锆钛酸铅(Pb(ZrxTih)03)，但本实施例使用具有良好压电 特性的锆钛酸铅。对于具有上述结构的层叠式压电致动器5，有必要从形成于压电致动器 5的侧面上的第一公共电极10a和第二公共电极10b的侧面引出引线。将本 发明的可变形镜1设计为使包括固定构件4和压电致动器5的电路元件可以 高密度地设置在支承基板2上，并且在制造可变形镜1的过程中布线工作不 会变成很大的量。压电致动器5与支承基板2的接合表面5a设置有第一金属膜11。如图 4所示，在本实施例中，第一金属膜11在接合表面5a的中间部分被分成第 一区域lla和第二区域llb。注意，第一区域lla和第二区域llb彼此不电 连接。第一区域lla通过第二金属膜12与第一公共电极10a电连接，且第二 区域lib通过第二金属膜12与第二公共电极10b电连接。如上所述，压电致动器5设置在设置于支承基板2上的接合部分7上， 以使得第一金属膜11的第一区域lla和第二区域llb分别与不同区域(即， 接合部分7的两个区域7a和7b)接触。因此，第一公共电极10a通过第一 金属膜11和第二金属膜12与由导电构件制成的接合部分7的区域7a连接。 此外，第二公共电极10b通过第一金属膜11和第二金属膜12与由导电材料 制成的接合部分7的区域7b连接。注意，如上所述，接合部分7的两个区 域7a和7b彼此不电连接，因此，第一公共电极10a和第二公共电极10b不 会短路。
如上所述，本实施例的可变形镜l能够引出正电极和负电极，由此将电 压施加至具有设置于支承基板2的接合部分7的压电致动器5。而且，布线图案6从接合部分7的区域7a和7b中引出，从而可以通过外部供电。因此， 不需要如传统结构一样，通过焊接或引线接合将引线连接到压电致动器5。 因此，布线结构没有变得复杂，可以减少制造可变形镜l的工作量。此外， 由于减少了布线占用的空间，所以固定构件4和压电致动器5能够高密度地 设置在支承基板2上，这使得可变形镜1的尺寸变小。尽管在本实施例中，通过在支承基板2的、面对镜基板3的表面上形成 布线图案6来实现从接合部分7引出布线，也可以采用其它的结构，S卩，使 接合部分7设置通孔，且在此部分上形成布线。然而，由于可以有效地形成 接合部分7和布线图案6，因此优选在支承基板2的、与形成接合部分7的 表面相同的表面上形成布线图案的结构。此外，本实施例使用金(Au)膜作为第一金属膜11的金属膜，这使得 压电致动器5和接合部分7能够通过将在后面描述的热压接合彼此接合。因 此，还具有以下优点压电致动器5的电极的引出可以与压电致动器5的接 合同步完成。尽管在本实施例中金膜被用作第一金属膜11，但本发明不局限于这种结 构。可以使用能够通过热压接合使压电致动器5和接合部分7接合的其它金 属。例如可以使用金和锡的合金(Au-Sn合金)。此外，还可以采用一种结构，在这种结构中在压电致动器5和接合部分 7之间使用导电粘合剂，使得压电致动器5和接合部分7不用通过热压接合 而彼此接合。在这种情况下，还具有一个优点压电致动器5的电极的引出 可以与压电致动器5的接合同步实现。另外，在这种情况下，第一金属膜ll 不必是能够热压接合的金属膜。另外，在本实施例中，第二金属膜12也是Au膜。这是因为如果第一金 属膜与第二金属膜由同一种材料制成，则制造过程会变得简单。注意，虽然 可能降低工作效率，但第一金属膜11与第二金属膜12当然也可以使用不同 类型的金属膜。而且，如上所述，在压电致动器5的多个压电构件8中，设置在待接合 至接合部分7的位置处的压电构件8 (下端压电构件8)没有被极化工艺处
理。原因如下，在本实施例的结构中，下端压电构件8夹在内部电极9a与 接合部分7的、连接至不同电极(g卩，第一公共电极10a和第二公共电极10b) 的两个区域7a和7b之间。因此，如果此部分的压电构件8被极化工艺处理， 则下端压电构件8将产生一个不会膨胀或收縮的部分，以及一个在施加电压 至层叠式压电致动器5时膨胀或收縮的部分。由此，可能产生不好的效果， 例如可能在压电致动器5内产生膨胀和收縮方向的倾斜。(可变形镜的操作)将描述具有上述结构的可变形镜1的操作。图5是示出图3所示的可变 形镜1中压电致动器5的膨胀状态的示意图。如图5所示，如果压电致动器 5膨胀，则镜基板3被向上按压，从而使得反射面3a变形。另一方面，由于 压电致动器5和镜基板3彼此不接合，所以镜基板3不变形。图5示出了将 相同电压施加至左、右压电致动器5以使得它们以同样的方式伸展的状态。 然而，可以控制施加至压电致动器5的电压，且可以对它们施加不同的电压， 以使得反射面3a可以得到期望的变形。此外，尽管在本实施例中，当压电致动器5收縮时反射面3a不变形， 当然也可以采用其它的结构，即，压电致动器5和镜基板3接合以使镜基板 3的反射面3a能在压电致动器5膨胀和收縮时都变形。(可变形镜的制造方法)接下来，将描述根据本实施例的可变形镜的制造方法。首先，通过将硅 层接合到玻璃而形成支承基板2。通过蚀刻或喷砂工艺处理支承基板2的硅 层，这样使得除了接合部分7和从接合部分7引出的布线图案6以外的部分 都被移除。第一金属膜11 (金膜)例如通过气相沉积法或溅射法形成在由公知方法 制成的压电致动器5的接合表面5a上。在这种情况下，在第一金属膜11的 第一区域lla和第二区域llb之间形成了缝隙，以防止第一区域lla和第二 区域llb之间短路。该缝隙例如通过以下方法形成，即，对待成为缝隙的部 分进行掩模，并执行蒸发沉积等。接下来，例如通过气相沉积法或溅射法用第二金属膜12 (Au膜)覆盖 形成在压电致动器5的侧面上的第一公共电极10a和第二公共电极10b，以 使得压电致动器5侧面上的第一公共电极10a和第二公共电极10b电连接到
第一金属膜ll。尽管在本实施例中，如图4所示，第一公共电极10a和第二公共电极10b 全部被第二金属膜12覆盖，但是本发明不限于这种结构。在压电致动器5 的侧面上设置第二金属膜12直到第一公共电极10a能够电连接至第一区域 lla，或是第二公共电极10b能够电连接至第二区域llb就足够了。接下来，被调整了高度的固定构件4和压电致动器5通过热压接合法接 合到支承基板2。通过热压接合法的接合如下所述进行。例如通过气相沉积 法或溅射法在每一个构件的待接合的部分上形成Au膜(在上述的步骤中， 压电致动器5上已经形成了金属膜)。之后，在加热固定构件4和压电致动 器5 (例如400到550摄氏度)时，将预定压力(例如0.2MPa)施加给该固 定构件4和压电致动器5。尽管在本实施例中，在热压接合过程中形成Au膜，但是本发明不局限 于此结构。例如，可以采用金锡合金(Au-Sn合金)。然而，由于如果在热 压接合过程中使用Au膜会增强接合强度，因此优选使用Au膜。接下来，在通过气相沉积法或溅射法在镜基板3的、与形成反射面3a 的表面相对的表面上形成Au层之后，通过在加热(例如400至lj 550摄氏度) 情况下将预定压力(例如0.2MPa)施加给固定构件4，镜基板3和固定构件 4彼此接合。在这种情况下，例如也可以使用Au-Sn合金膜来代替Au膜用 于热压接合工艺。到此，本实施例的可变形镜制造完成。但是可变形镜l的制造方法不限 于上述步骤，这些步骤是可以修改的。例如，尽管在本实施例中通过热压接 合法使固定构件4和支承基板2之间接合、使固定构件4和镜基板3之间接 合、以及使压电致动器5和支承基板2 (支承基板2的接合部分7)之间接 合，也可以使用粘合剂来使它们接合。但是，由于可以形成薄的接合膜从而 可以有效地使镜基板3变形，因此优选通过热压接合法将镜基板3接合到固 定构件4。由此，优选使用热压接合法接合所有的构件。 (其它)尽管上述本实施例中可变形镜1的总体形状为如图1所示的矩形，但是 其不特别限于此形状，可以在不违背本发明的目的的情况下在本发明的范围 内进行各种改变。例如，支承基板2和镜基板3等可以是圆形的。此外，固 定构件4和压电致动器5的形状也不限于本实施例的形状，它们例如可以是 柱形的。当采用能够产生很大力的层叠式压电致动器时，可以减小本发明的可变 形镜的尺寸。此外，根据这种结构可以减少制造过程中的工作量。因此，对 于需要反射面有较大变形的、紧凑的可变形镜的光学设备尤其有用。例如， 它对光学拾取装置、视频投影机、数字相机等尤其有用。此外，根据本发明的可变形镜的制造方法，能够减少具有层叠式压电致 动器的可变形镜的工作量。因此，该方法作为具有层叠式压电致动器的可变 形镜的制造方法非常有用。
权利要求
1. 一种可变形镜，包括 支承基板；镜基板，其与该支承基板相对，且在与面对该支承基板的表面相对的表 面上具有反射面；固定构件，其设置在该支承基板上，并固定该镜基板；以及至少一个压电致动器，设置在该支承基板上，使得该镜基板的、被该固 定构件固定的一部分所包围的区域能够变形；其中所述压电致动器由交替叠置的多个层状压电构件和多个层状电极构成， 并且所述层状电极交替连接到第一公共电极和第二公共电极，该第一公共电 极和该第二公共电极设置在所述压电致动器的、与叠置方向近似平行的侧 面，以使得所述层状电极交替具有不同的极性；该支承基板设置有至少一个导电接合部分以接合至所述压电致动器，所 述导电接合部分被分成两个区域；所述压电致动器的接合表面设置有第一金属膜，该第一金属膜被分成彼 此不电连接的第一区域和第二区域；以及所述压电致动器的每一个侧面均设置有第二金属膜，该第二金属膜用来 使该第一公共电极和该第一区域电连接，或使该第二公共电极和该第二区域 电连接。
2. 如权利要求1所述的可变形镜，其中该第一金属膜和该第二金属膜 由同样的材料制成。
3. 如权利要求1所述的可变形镜，其中在该支承基板上形成布线图案， 并且将该布线图案从该接合部分的两个分开的区域的每一个中引出，从而能 够实现外部供电。
4. 如权利要求1所述的可变形镜，其中该第一金属膜起到通过热压接 合将所述压电致动器和该接合部分彼此接合的接合膜的作用。
5. 如权利要求2所述的可变形镜，其中在该支承基板上形成布线图案， 并且将该布线图案从该接合部分的两个分开的区域的每一个中引出，从而能 够实现外部供电。
6. 如权利要求2所述的可变形镜，其中该第一金属膜起到通过热压接 合将所述压电致动器和该接合部分彼此接合的接合膜的作用。
7. 如权利要求3所述的可变形镜，其中该第一金属膜起到通过热压接 合将所述压电致动器和该接合部分彼此接合的接合膜的作用。
8. 如权利要求4所述的可变形镜，其中该第一金属膜是Au膜。
9. 如权利要求5所述的可变形镜，其中该第一金属膜起到通过热压接 合将所述压电致动器和该接合部分彼此接合的接合膜的作用。
10. 如权利要求6所述的可变形镜，其中该第一金属膜是Au膜。
11. 如权利要求7所述的可变形镜，其中该第一金属膜是Au膜。
12. 如权利要求9所述的可变形镜，其中该第一金属膜是Au膜。
13. —种可变形镜的制造方法，该可变形镜包括支承基板；镜基板， 其与该支承基板相对，且在与面对该支承基板的表面相对的表面上具有反射 面；固定构件，其设置在该支承基板上，并固定该镜基板；至少一个压电致 动器，设置在该支承基板上，使得该镜基板的、被该固定构件固定的一部分 所包围的区域能够变形；所述压电致动器由交替叠置的多个层状压电构件和 多个层状电极构成，所述层状电极交替连接到第一公共电极和第二公共电 极，该第一公共电极和该第二公共电极设置在所述压电致动器的、与叠置方 向近似平行的侧面，以使得所述层状电极交替具有不同的极性，在电压施加 至该第一公共电极和该第二公共电极时，该可变形镜能够使该镜基板和该反 射面变形，该制造方法包括以下步骤第一步骤，在该支承基板上形成至少一个导电接合部分，所述导电接合 部分被分成两个区域且接合到所述压电致动器；第二步骤，在所述压电致动器的、待接合至该接合部分的接合表面上以 及所述压电致动器的侧面上，设置金属膜，从而使设置在所述侧面上的该第 一公共电极和该第二公共电极电连接到所述压电致动器的接合表面，并且该 第一公共电极和该第二公共电极不电连接；以及第三步骤，在第二步骤之后，在由第一步骤得到的所述接合部分上设置 所述压电致动器，并加热和按压所述压电致动器以使其接合至该接合部分。
14. 如权利要求13所述的可变形镜的制造方法，其中第一步骤包括以 下步骤形成布线图案，该布线图案在形成该接合部分时从该接合部分的每 一个区域中引出，从而能够实现外部供电。
全文摘要
可变形镜包括支承基板，该支承基板设置有接合至层叠式压电致动器的导电接合部分，该导电接合部分被分成两个区域。所述压电致动器的接合表面设置有第一金属膜，该第一金属膜被分成彼此不电连接的第一区域和第二区域。所述压电致动器的侧面设置有第二金属膜，该第二金属层将第一公共电极和第一区域电连接，或将第二公共电极和第二区域电连接。所述压电致动器设置在接合部分上，以使得第一金属膜的各个区域分别电连接到接合部分的不同区域。
文档编号H01L41/08GK101122679SQ20071014139
公开日2008年2月13日 申请日期2007年8月9日 优先权日2006年8月9日
发明者杉山进, 田中克彦, 田中史记, 石井明 申请人:船井电机株式会社;学校法人立命馆