专利名称：太阳电池扩散炉石英承载加热装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及在太阳电池生产过程中使用的一种承载 加热装置，特别涉及一种太阳电池扩散炉石英承载加热装置。
背景技术：
太阳电池生产工艺包括清洗制绒、扩散、刻蚀、去磷硅玻 璃、镀膜、印刷电极、烧结和测试分选工序，其中在扩散工序 中需将硅片放入石英承载加热装置中，再将该装置放入太阳 电池扩散炉中进行扩散。现有的石英承载加热装置主要是由 加热炉体、设在加热炉体内的石英管、设在石英管进料口一 端的石英门、由石英门插入石英管内的悬臂桨以及设在石英 管内安装在悬臂桨上的石英舟构成，其石英管主腔体的长度
为2380mm。由于石英管较长，炉口 (即石英管管口)距离加热 炉体内的加热区比较远，因此在生产过程中炉口的温度低于扩 散用工艺气体所产生的偏磷酸的沸点，造成每次扩散工艺后在 炉口处都会沉积大量的偏磷酸，对设备、产品和工艺环境都有 很大的不良影响。 发明内容
本实用新型的目的是要提供一种能够大量减少偏磷酸沉 积，从而提高产品质量，减少对环境和设备污染的太阳电池
3扩散炉石英承载加热装置。
本实用新型是这样实现的它有一个由加热管盘绕而成 的加热炉体，在加热炉体内插装有石英管，石英管一端引出 排气孔，另一端口设有密封石英门，在石英管内插入有悬臂 桨，在悬臂桨上位于石英管内设有石英舟，在悬臂桨上位于 石英门外设有缓冲支撑装置，其特殊之处是所述的石英管 主腔体的长度A为2160-2180mm。
上述的太阳电池扩散炉石英承载加热装置，所述的石英 管主腔体的长度A为2170皿。
上述的太阳电池扩散炉石英承载加热装置，所述的缓冲 支撑装置是由设在悬臂桨上的四氟波纹管和送片座，分别设 在四氟波纹管和送片座上的炉门和支座，连接炉门和支座的 炉门支撑杆，以及连接石英门和支座的石英门支撑杆构成。
本实用新型的优点是由于将石英管主腔体的长度縮短， 即缩短了石英管管口 (即炉口)至咖热炉体内加热区的距离， 在生产过程中使炉口的温度提高，炉口温度高于扩散用工艺气 体所产生的偏磷酸的沸点，产生的偏磷酸难以沉降并以气体的 形式被排风系统抽走，从而提高产品质量，减少对环境和设 备的污染。
图l是本实用新型的结构示意图。
图中加热炉体l，石英管2，保温棉3，密封石英门4，炉门5，石英门支撑杆6，支座7，送片座8，炉门支撑杆9， 四氟波纹管IO，悬臂桨ll，尾气管12，石英舟13，石英匀 流板14，废液瓶15，排气孔16。
具体实施方式
如图所示，本实用新型有一个由加热管盘绕而成的管状 加热炉体l，在加热炉体1内插装有石英管2，石英管2通过固 定在加热炉体1两个端口处的保温棉3定位，石英管2—端由保 温棉3引出排气孔16，另一端口固定有密封石英门4，石英管2 主腔体的长度A为2160-2180咖，其最佳值为2170mm。在石英 管2内由密封石英门4一侧插入有悬臂桨11，在悬臂桨ll上位 于石英管2内支撑有可滑动的石英舟13，在悬臂桨ll上位于石 英舟13两侧分别放置有石英匀流板14。在悬臂桨ll上位于石
英门外设有缓冲支撑装置，所述的缓冲支撑装置是由套在悬 臂桨11上且顶靠密封石英门4的四氟波纹管10、固定在悬臂桨 11外端的送片座8、分别设在四氟波纹管10和送片座8上的不 锈钢炉门5和支座7、连接炉门5和支座7的炉门支撑杆9以及连 接密封石英门4和支座7的石英门支撑杆6构成。在石英管2与 排气孔16对应一侧插入有用于排放尾气的尾气管12，在尾气 管12外端连接有两个废液瓶15，以使尾气均匀排放。工作时， 将硅片放置在石英舟13上，再将石英舟13安装在悬臂桨11上并 将悬臂桨ll插入石英管2内，然后固定密封石英门4和缓冲支 撑装置，而后即可将该装置放入太阳电池扩散炉中进行扩散。
权利要求1、一种太阳电池扩散炉石英承载加热装置，包括一个由加热管盘绕而成的加热炉体，在加热炉体内插装有石英管，石英管一端引出排气孔，另一端口设有密封石英门，在石英管内插入有悬臂桨，在悬臂桨上位于石英管内设有石英舟，在悬臂桨上位于石英门外设有缓冲支撑装置，其特征是所述的石英管主腔体的长度A为2160-2180mm。
2、 根据权利要求l所述的太阳电池扩散炉石英承载加热 装置，其特征是所述的石英管主腔体的长度A为2170mm。
3、 根据权利要求l所述的太阳电池扩散炉石英承载加热 装置，其特征是所述的缓冲支撑装置是由设在悬臂桨上的 四氟波纹管和送片座，分别设在四氟波纹管和送片座上的炉 门和支座，连接炉门和支座的炉门支撑杆，以及连接石英门 和支座的石英门支撑杆构成。
专利摘要本实用新型公开了一种太阳电池扩散炉石英承载加热装置，解决了现有装置由于石英管过长导致炉口距离加热炉体内的加热区比较远，造成每次扩散工艺后在炉口处都会沉积大量偏磷酸的问题。它有一个加热炉体，在加热炉体内插装有石英管，石英管一端引出排气孔，另一端口设有密封石英门，在石英管内插入有悬臂桨，在悬臂桨上位于石英管内设有石英舟，在悬臂桨上位于石英门外设有缓冲支撑装置，其特殊之处是；所述的石英管主腔体的长度A为2160-2180mm。该太阳电池扩散炉石英承载加热装置能够大量减少偏磷酸沉积，从而提高产品质量，减少对环境和设备污染。
文档编号H01L31/18GK201408770SQ20092001361
公开日2010年2月17日 申请日期2009年5月7日 优先权日2009年5月7日
发明者铁 夏, 旭 牛, 陈琳琳 申请人:锦州华昌光伏科技有限公司