专利名称：石英保温筒的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及石英制品领域，特别是涉及用于集成电路半导体芯片生产用的石 英保温筒。
背景技术：
在半导体集成电路芯片生产线中，石英制品以其优越的物理化学性能，得到了广 泛的应用。如石英舟，石英钟，石英方箱，石英保温筒等，随着信息产业的迅猛发展，对石英 制品的市场需求与日俱增。石英保温筒用于支撑放置装有半导体芯片的石英舟，由于处于大生产线的生产环 境中，半导体芯片受环境的影响，其温度会发生变化，石英保温筒使半导体芯片的散热更 慢，使处于相对稳定的恒温状态下，因此石英保温筒的结构必须简单，且保温效果好。
发明内容针对上述领域中的不足，本实用新型提供一种石英保温筒，其结构简单，保温效果 好，成本低。石英保温筒，包括水平的石英天板和石英受台，以及固定于石英天板和石英受台 之间的至少三根石英支撑棒，其特征在于在石英天板和石英受台之间固定有若干块水平 的不透明板，所述石英天板、石英受台，不透明板的中心在同一垂直线上，所述石英受台下 表面有石英支撑柱，所述石英天板上表面有石英支撑柱。所述石英天板、石英受台，不透明板为水平的圆形板。所述石英支撑棒为三根，分别位于以垂直线为中心的圆周上。石英支撑棒垂直于石英天板、石英受台、不透明板。所述不透明板之间等距设置。所述不透明板有10-15块。所述石英受台下表面的石英支撑柱为四个大基准钉，分布在与石英受台同心的圆 周上。所述石英天板上表面的支撑柱为四个大基准钉和四个小基准钉，四个大基准钉分 布在与石英天板同心的圆周上，四个小基准钉分布在与石英天板同心的另一圆周上。所述石英天板、石英受台，不透明板的中心有一个圆孔。本实用新型是放置在半导体芯片的生产线上，因此，在石英保温筒的外周采用的 均为石英材料，如石英天板、石英受台，石英支撑棒以及石英支撑柱，而在石英天板和石英 受台的中间设置有不透明板，降低了成本，且本保温筒的设计非常简洁，采用多层不透明板 使得保温效果得到提高。石英天板、石英受台，不透明板采用圆形板的话，整个石英保温筒看起来就象是一 个圆柱筒，各个板面的加工也很方便。石英受台下表面的石英支撑柱采用四个大基准钉，用于支撑整个石英保温筒及保温筒上的被支撑物如石英舟等，石英天板上表面的支撑柱为四个大基准钉和四个小基准 钉，用于支撑固定其表面的石英舟，配合生产线的使用。石英天板、石英受台，不透明板的中心有一个圆孔，用于插入专用的温度检测仪，随时检测石英保温筒内的温度情况。本实用新型石英保温筒，结构简单，造价低，保温效果好，值得推广使用。
图1本实用新型主视图，图2本实用新型俯视图，图3本实用新型仰视图，图4图1中A-A向视图，图中各标号列示如下1-石英天板，2-石英受台，3-石英支撑棒，4-大基准钉，5-小基准钉，6_不透明 板，7-孔。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型作进一步的详细说明。石英保温筒，包括水平的圆形石英天板1和圆形石英受台2，以及固定于石英天板 和石英受台之间的三根石英支撑棒3，在石英天板1和石英受台2之间固定有13块水平的 不透明板6，所述石英天板1、石英受台2，不透明板6的中心在同一垂直线上，三根石英支 撑棒3分别位于以垂直线为中心的圆周上，石英受台2下表面有四个大基准钉4，石英天板 1上表面有四个大基准钉4和四个小基准钉5，这些基准钉均为石英制品。本实用新型是放 置在半导体芯片的生产线上，因此，在石英保温筒的外周采用的均为石英材料，如石英天板 1、石英受台2，石英支撑棒3以及石英基准钉，而在石英天板1和石英受台2的中间设置有 不透明板6，降低了成本，且本保温筒的设计非常简洁，采用多层不透明板6使得保温效果 得到提高。石英受台2下表面的四个大基准钉4，用于支撑整个石英保温筒及保温筒上的被 支撑物如石英舟等，石英天板1上表面的四个大基准钉4和四个小基准钉5，用于支撑固定 其表面的石英舟，配合生产线的使用。石英天板1和石英受台2可以是其它多边形，本实施例优选圆形；石英支撑棒3也 可以是多根，但为了支撑稳固，事实上，至少需要3根，不透明板6可以根据保温的需要，设 置多块，优选是10-15块，本实施例采用13块，不透明板6之间的间距设置为等间距。大基 准钉4，小基准钉5都是起支撑作用的，为了支撑稳固，其分布在以上述垂直线为圆心的不 同圆周上。所述石英天板1、石英受台2，不透明板6的中心有一个孔7，用于插入专用的温度 检测仪，随时检测石英保温筒内的温度情况。本实用新型石英保温筒，结构简单，造价低，保温效果好，值得推广使用。
权利要求石英保温筒，包括水平的石英天板和石英受台，以及固定于石英天板和石英受台之间的至少三根石英支撑棒，其特征在于在石英天板和石英受台之间固定有若干块水平的不透明板，所述石英天板、石英受台，不透明板的中心在同一垂直线上，所述石英受台下表面和石英天板上表面有石英支撑柱。
2.根据权利要求1所述的石英保温筒，其特征在于所述石英天板、石英受台，不透明 板为水平的圆形板。
3.根据权利要求2所述的石英保温筒，其特征在于所述石英支撑棒为三根，分别位于 以垂直线为中心的圆周上。
4.根据权利要求3所述的石英保温筒，其特征在于所述石英支撑棒垂直于石英天板、 石英受台、不透明板。
5.根据权利要求1所述的石英保温筒，其特征在于所述不透明板之间等距设置。
6.根据权利要求1所述的石英保温筒，其特征在于所述不透明板有10-15块。
7.根据权利要求1所述的石英保温筒，其特征在于所述石英受台下表面的石英支撑 柱为四个大基准钉，分布在与石英受台同心的圆周上。
8.根据权利要求1所述的石英保温筒，其特征在于所述石英天板上表面的支撑柱为 四个大基准钉和四个小基准钉，四个大基准钉分布在与石英天板同心的圆周上，四个小基 准钉分布在与石英天板同心的另一圆周上。
9.根据权利要求1所述的石英保温筒，其特征在于所述石英天板、石英受台，不透明 板的中心有一个圆孔。
专利摘要本实用新型涉及“石英保温筒”，属于石英制品领域。石英保温筒，包括水平的石英天板和石英受台，以及固定于石英天板和石英受台之间的至少三根石英支撑棒，其特征在于在石英天板和石英受台之间固定有若干块水平的不透明板，所述石英天板、石英受台，不透明板的中心在同一垂直线上，所述石英受台下表面和石英天板上表面有石英支撑柱。本实用新型石英保温筒，结构简单，造价低，保温效果好，值得推广使用。
文档编号H01L21/673GK201556609SQ200920277658
公开日2010年8月18日 申请日期2009年12月4日 优先权日2009年12月4日
发明者卢爱国, 吕炳益, 张忠恕, 李翔星, 杨继盛, 边占宁, 陈强, 韦冬寒 申请人:北京凯德石英塑料制品有限公司