专利名称：物品收纳用容器的防振机构的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种物品收纳用容器(以下，称之为“Front-OpeningUnified Pod FOUP ”)的防振机构。除悬垂式升降搬运台车(以下，称之为“Overhead Hoist Transport =OHT台车)、 辊式传送带外，依靠按此看待的搬运装置沿规定路径进行搬运的FOUP等容器，在搬运过程 中往往会受到振动。本发明涉及一种用于抑制该振动传递给FOUP内部插拔自如地收纳了 多枚晶片、液晶板等物品的物品收纳用容器的防振机构。
背景技术：
近年来，为了沿洁净室里的工序内以及工序间环状轨道配置，在对晶片施行各种 表面处理(形成薄膜、光刻、清洗、蚀刻、检测等)的一连串处理工作台施行必要的处理，多 半使用OHT台车搬运收纳了上述晶片的容器(FOUP)。衬底的处理工序按收纳衬底的FOUP上安装的标签予以管理，标签的内容也随着 衬底处理工序的进展逐步更新。衬底处理工序由附着于FOUP的标签信息特定，以后的必要 处理根据该标签信息由计算机进行管理。这样在多个处理工作台上，为了逐个搬运衬底依次接受不同种类的处理，搬运中 就要保持气密状态并在处理工作台接受规定的处理，因此，使用一种前面的门被敞开，且衬 底可用机械手逐个插拔这样结构的F0UP。迄今通用的FOUP结构用图6表示如下。在该图6中，31为主体，31a为敞开面。从 该敞开面31a观察，在位于两侧的两侧面上，设置有可用手工实现搬运的侧部法兰31b。31c 为法兰，并由后述的OHT台车钩爪部夹持，因此，主体31以及安装于上述敞开面31a的盖体 32予以整体升降、搬运。31d为搁片构件，在敞开面31a上形成凹凸状搁片部，该凹部状搁片部可水平地保 持多枚(例如，24枚)用未图示的机械手(设置于处理工作台)插拔的衬底(晶片、液晶板
寸乂 O并且，该搁片构件31d整体地固定于FOUP主体31，或者与FOUP主体31成形为一 个整体。而且，上述盖体32在搬运FOUP主体31时，对该FOUP主体31的敞开面31a保持 气密状态，在处理处理工作台所收纳的衬底之前，通过配备于该处理工作台的未图示的加 锁或解锁装置对闭锁构件32a施行解锁(图示的状态)，从而与FOUP主体31分离。接着，在上述处理工作台上，全部衬底处理完了，收纳了处理过的衬底的FOUP主 体31在搬运之前，用盖体32覆盖敞开面31a，通过加锁或者解锁装置对上述闭锁构件32a 施行加锁。
但是，当搬运晶片等衬底时，衬底会相对衬底搬运用容器的衬底支撑部移动，使支 撑构件与衬底之间产生碰撞、摩擦等，大多会给衬底带来不良化的危险。因此，例如，开发出一种在处理装置之间的搬运或运到下一道工序之前的保管晶 片等方面使用的晶片托架，并作为下述专利文献1予以公开。S卩，专利文献1的晶片托架，首先，逐个将晶片9的周缘部夹入形成于托架主体2 内壁的一连串槽部3内。其次，由具有柔性的坯料形成的舌形片5，将晶片9压紧在上述槽部3的一个侧面 上，使晶片9与托架主体2成为一个整体，从而将槽部3内晶片9维持不移动的稳定状态。另一方面，用行驶台车搬运衬底时，以衬底的防振为目的，已有下述专利文献2。该专利文献2上公开的技术，特别是关于在具有大形化倾向的衬底搬运中，其特 征在于抑制从悬挂支撑该支撑部8的行驶台车部7向收纳衬底1的支撑部8传递振动。S卩，与被搬运衬底1的大形化相适应，在支撑部8内沿纵向配置该衬底1，并弹性地 支撑行驶台车部7与支撑部8。为此作为其具体装置，设置有防振机构22，该防振机构22可吸收构成行驶台车部 的垂直、行驶、行驶正交立体的三方向上各自的振动。日本专利文献1 特许第3212890号
日本专利文献2 特开2004-359436以往，在处理工作台，晶片等的衬底逐个接受不同处理的搬运中，例如，使用图6 所示的FOUP。在该FOUP中，主体31与搁片构件31d按照规定的配置固定在一起，因此，搬运时 FOUP主体31受到的振动仍然传递至搁片构件31d。因而，水平状态插拔自如地逐个装载于搁片构件31d里的多枚衬底，也仍然会受 到FOUP主体31搬运时受到的振动。该振动是由FOUP主体加减速时产生的惯性力所受到的振动与来自驱动部发生的 微振动等合成生成的，所以其发生不能避免。这样，施与搁片构件31d的振动，使衬底离开该搁片构件31d的衬底装载面弹起， 或者使衬底装载面与衬底之间产生摩擦，从而有可能给衬底带来不良化的影响。
发明内容
因此，本发明的目的，在于提供一种容器弹性地支撑搁片构件的技术，S卩，在使用 OHT台车等驱动装置进行搬运，并具有搁片构件以保持水平状态逐个插拔自如地支撑多枚 晶片等衬底的搁片构件的FOUP等容器中，在该容器的搬运中，当受到除了加减速时的惯性 力引起的振动外，还有受到来自驱动源引起的微振动时，用作抑制这些振动向搁片构件传 递并防止包括支撑于搁片构件的晶片等衬底的各物品损伤损伤的装置。为了解决上述问题，第一方面记载的物品收纳用容器的防振机构，为一种物品收 纳用容器的防振机构，其特征在于具有，物品收纳用容器，该物品收纳用容器通过行驶的搬运装置沿规定路径进行搬运， 并具有支撑被搬运物品的搁片构件，和弹性构件，该弹性构件在上述搬运装置运作时，抑制上述容器受到的振动向上述搁片构件传递，上述弹性构件配置于上述物品收纳用容器支撑上述搁片构件的适宜位置，上述容 器通过上述弹性构件支撑上述搁片构件。根据该第一方面涉及的发明，装载被搬运物品的搁片构件，即使在内部保有该搁 片构件的容器通过0HT除外的搬运装置而受到各种振动，仍然不会受到上述各种振动而处 于被抑制的状态。因而，通过对弹性体的规格适当地限定，该弹性体相对容器弹性地支撑搁片构件 从而在容器与搁片构件之间实现振动传递抑制的作用，只要设定不用担心损伤被搬运物的 程度，就能够不给被搬运物造成损伤而且安全地搬运。并且，在抑制受到搬运装置的振动传递给被搬运物品时，只是采用实施于容器内 部的极其简单的防振装置，因此，很容易实现采用以现行的F0UP规格为前提构成的转载机 器与选配。第二方面记载的物品收纳用容器的防振机构为，在第一方面记载的物品收纳用容 器的防振机构方面，其特征在于，上述被搬运物品为晶片，上述搁片构件为沿水平方向插拔自如地保持上述晶片的构件，收纳上述搁片构件的容器为F0UP。根据第二方面涉及的发明，先前引用的第一方面涉及的发明效果自不待言，如果 从搬运装置传递至F0UP的振动仍然传递至晶片的话，即使在该晶片达到受到损伤程度的 情况下，以插拔自如的状态装载于F0UP内搁片构件上的晶片，也能够切实地防止受到可能 带来其不良化影响的的振动。第三方面记载的物品收纳用容器的防振机构为，在第一方面记载的物品收纳用容 器的防振机构方面，其特征在于，搁片构件其上下各端面具有多个突起，上述物品收纳用容器其上下各面的规定处具有该突起可松嵌尺寸的孔，上述各突起通过上述弹性构件分别支撑于相对应的上述孔。根据第三方面的发明，先前引用的第一方面或第二方面涉及的发明效果自不待 言，而且，规范设置于搁片构件侧的突起与形成于容器侧的孔的相对位置关系，准确地实现 搁片构件相对F0UP等容器的定位。并且，通过位于上述孔与突起之间的弹性构件的材料、 尺寸等的选择，也可得到所需防振效果。第四方面记载的物品收纳用容器的防振机构为，在第一方面记载的物品收纳用容 器的防振机构方面，其特征在于，上述弹性构件介于上述搁片构件的上下端面部之间，对上述物品收纳用容器弹性 支撑上述搁片构件。根据第四方面的发明，先前引用的第一方面或第二方面涉及的发明效果自不待 言，通过下述这种极其简单的结构，即，在通用的搁片构件上下端部与和其相对的容器的上 下端部之间介入具有必要防振功能的弹性构件，被搬运物品的不良化能够得到切实的防止。第五方面记载的物品收纳用容器的防振机构为，在第四方面记载的物品收纳用容器的防振机构方面，其特征在于，上述弹性构件为板簧。根据第五方面的发明，先前引用的第四方面涉及的发明效果自不待言，而且，可削 减对容器固定搁片构件所需的工时。第六方面记载的物品收纳用容器的防振机构为，在第一方面记载的物品收纳用容器的防振机构方面，其特征在于，搬运装置为在工序内或者工序间的环状轨道上行驶的悬 垂式升降搬运装置。根据第六方面涉及的发明，先前引用的第一方面涉及的发明效果自不待言，尤其 还能够抑制通过OHT台车搬运的物品受到的振动。搬运速度变成高速后，始动、制动时发生 的惯性力存在增大的倾向，振动也增大。而且，在OHT台车中，驱动部与FOUP等的容器可装 卸自如，因此，难以在其间介入减振构件。但是，根据该第六方面涉及的方面，可抑制通过 OHT台车搬运的物品受到的振动。第七方面记载的一种通过行驶的搬运装置沿规定路径进行搬运的物品收纳用容 器，其特征在于具有，搁片构件，该搁片构件支撑被搬运物品，和弹性构件，该弹性构件在上述搬运装置运作时抑制上述容器受到的振动向上述搁 片构件传递，上述弹性构件配置于上述物品收纳用容器支撑上述搁片构件的适宜位置，上述容 器通过上述弹性构件支撑上述搁片构件。根据该第七方面涉及的发明，装载被搬运物品的搁片构件，即使在内部保有该搁 片构件的容器通过OHT除外的搬运装置而受到各种振动，仍然不会受到上述各种振动而处 于被抑制的状态。因而，通过对弹性体的规格适当地限定，该弹性体相对容器弹性地支撑搁片构件 从而在容器与搁片构件之间实现振动传递抑制的作用，只要设定不用担心损伤被搬运物的 程度，就能够不给被搬运物造成损伤而安全地搬运。并且，在抑制受到搬运装置的振动传递给被搬运物品时，只是采用施加于容器内 部的极其简单的防振装置，因此，很容易实现采用以现行的FOUP规格为前提构成的转载机 器与选配。专利文献1上公开的晶片托架，在晶片的搬运过程中对受到的各种振动，即使能 够防止晶片与其支撑面之间的碰撞以及摩擦，但很难应用于本申请发明。S卩，本申请发明是以沿水平方向插拔自如地收纳多枚衬底(晶片除外)的方式，把 搁片构件设置在FOUP等容器内的结构作为基础，在晶片搬运过程中，要沿纵向使多枚晶片 对各支撑面不能位移，除晶片搬运过程之外，和从容器内逐个取出晶片的专利文献1的技 术用途不同。若研究将专利文献1的技术应用本发明申请，则由于晶片的保持/敞开机构缘故， 使容器整体的尺寸增加，或者使机构更加复杂化，进而难以生成应用现行的FOUP规格为前 提构成的转载机器与选配。另一方面，专利文献2上公开的搬运装置配备有防振机构22，该防振机构22在材 料(衬底)支撑部8沿纵向收纳多枚材料(衬底)1，并在行驶台车部7与材料(衬底)支 撑部8之间，相对行驶台车部7的行驶方向在前后、左右、上下三方向吸收各自的振动。
通过该结构，相对收纳于材料(衬底)支撑部8，被搬运的材料(衬底)而言，行驶 台车部7在行驶时所发生的下列(1) (3)各项记载的各种振动，借助于防振机构22能够 得到切实的抑制，衬底受到的振动引起的衬底损伤也能够得到防止。(1)行驶台车部7的驱动部发生的微振动(2)行驶台车部7在加减速时产生的惯性力而引起的振动(3)伴随行驶台车部7的行驶产生的风压而引起的振动的确，上述专利文献2上公开的技术，在搬运装置搬运衬底的过程中，能够抑制由 搬运装置的搬运台车部7发生的各种振动传递给被搬运衬底1，并防止衬底1的振动而引起 的损伤。但是，该专利文献2的技术中，具有驱动源的搬运台车部7和保持材料(衬底)1 的材料(衬底)支撑部6通过防振机构22而处于连结状态，所以无法解除该连结状态。因此，材料(衬底)1在特定位置，集中多枚安装于材料(衬底)支撑部8，利用搬 运台车部7在其它特定位置从材料(衬底)支撑部8取出，因此，无法应用在以逐个插拔作 为基础的本申请发明里。
图1为用于说明本发明实施例1中FOUP与搬运该FOUP的OHT台车的关系的侧视图。图2为表示本发明实施例1中FOUP主体部的内部结构立体图。图3为表示本发明实施例1中FOUP的主要部分结构剖视图。图4为用于表示本发明实施例2的主要部分结构典型图。图5为用于表示本发明实施例3的主要部分结构典型图。图6为作为本发明实施基础的通用FOUP立体图。标号说明2 OHT 台车3、13、23 FOUP3e、13e、23e 搁片构件3ex、13ex、23ex 搁片3ey 突起3g、13g 弹性体23g 板簧
具体实施例方式[实施例1]以下，边参照附图边说明本发明的优选实施方式。首先，说明与本实施方式相关的附图概要，图1为用于说明应用本发明的FOUP与 搬运该FOUP的OHT台车的关系的侧视图，图2为表示实施本发明的FOUP主体部的内部结 构立体图，图3为表示FOUP本发明的主要部分结构剖视图。接着，参照图1说明应用本发明的FOUP和作为该FOUP搬运装置的OHT台车的关系。
图1中，1为行驶轨道，它表示OHT台车2的工序内或者工序间环状轨道的一部分。 该OHT台车2使用其导向、驱动部2a中未图示的行驶轮与导向轮，由行驶轨道1设定行驶。此时，所需动力由公知装置获得，该公知装置为配备于行驶轮的驱动电动机，或者 配备于轨道一侧与OHT台车两侧分别设置的次级侧、初级侧的直流线性电动机。2b为定位机构，该定位机构2b实现后述容器(FOUP)的与上述行驶轨道1上OHT 台车的行驶方向垂直的方向以及转动方向的位移调整。2c为带状皮带，其构造是，在OHT台 车2行驶方向的前后左右设有4条，通过OHT台车2内配备的升降机构2d伸缩自如地进行 控制，并可使升降体2e升降。并且，在该带状皮带2c的内部，埋设向升降体2e供给电力以 及交换控制信号的电线(未图示)。2f为夹片构件，该夹片构件2f为升降体2e的一个结构要件，沿图示的左右方向可 位移地被支撑。3为作为被搬运物的F0UP，包括主体3a、盖体3b、借助上述夹片构件2f的 运作而接受夹持或者解除夹持的法兰3c、利用手工搬运装置的法兰3d以及从主体开口部 一个个插拔自如地装载多枚晶片4的搁片构件3e。在该搁片构件3e中，沿上下方向设置有 不让晶片4相互接触而逐个装载的一连串搁片3ex。接着，参照图2以及图3，说明有关在F0UP3的内部弹性支持搁片构件3e，F0UP3通 过OHT台车2接受搬运、升降控制时，抑制受到的振动向搁片构件3e传递的结构。需要加以说明的是，图2以及图3中，与图1所示的结构要件相对应的部分标以相 同符号而避免重复说明。图2所示的结构为在拆卸了盖体3b(参照图1)的状态下，表示包含F0UP3的内部 机构，3f为一连串的孔，它形成于搁片构件3e的上下端部相对的FOUP的上下部分。同时参照图3，3ey为突起，该突起3ey从搁片构件3e的上下端面伸出，设置于与 上述一连串的孔3f相对的位置，并具有可与对应的孔松嵌的粗细。3g为环状弹性构件，以周围同等的厚度气密填充于通过上述一连串的孔3f与对 应的突起3ey的松嵌而形成的间隙内。而且，上述环状弹性构件3g在组装F0UP3的前后任何时期均可以填充于一连串孔 3f内，但突起3ey对一连串孔3f的嵌合，需要在组装F0UP3之前进行。另外，通过适当选择环状弹性构件3g的厚度，即，突起3ey、与其对应的孔3f周围 平均间隙相当的长度和环状弹性构件3g的坯料弹性系数，以决定环状弹性构件3g中的抑 制振动传递的情况。该环状弹性构件3g中的抑制振动传递情况，在考虑F0UP3的搬运装置(0ΗΤ台车 2、辊式传送带等)的条件下，以不会损伤装载于搁片构件3d的搁片3ex上的晶片4为原则 而不升高成本，以便获得需要以上的抑制振动传递，但这并不是上策。另外，也可以根据保持气密的需要，将粘结剂等填充材料涂敷于环状弹性构件3g 的内外各表面。接着，说明上述图1以及图2所示的实施方式的作用。首先，假设处于待机状态，例如，在未图示的堆垛器中，对内部设置了搁片构件3e 的一连串搁片3ex上各自依次逐个装载未处理的晶片4以后，盖体3b在主体3a的开口部 处于加锁状态的F0UP3被搬运至规定处理工作台(未图示)。
其次，通过释放带状皮带2c使OHT台车2 —直行驶到待机状态的F0UP3位置，让 升降梯2e下降至F0UP3的正上方，使夹片构件2f夹持F0UP3的法兰3c。进而，保持该夹片构件2f夹持F0UP3的法兰3c的状态并将带状皮带2c卷起， F0UP3移到OHT台车2的内部，行驶至规定的处理工作台。在该处理工作台(未图示)上，释放带状皮带2c，解除夹片构件2f与F0UP3法兰 3c的扣合，OHT台车2转向搬运其它F0UP。被搬运至处理工作台并解除与法兰3c扣合后的F0UP3，盖体3b解锁，对上下排列 的一连串搁片3ex上逐个装载的晶片4顺序施行规定的处理工作台特有处理，规定处理完 了的晶片4再返回规定的搁片3ex。这样一来，全部晶片4施行规定的处理并返回架3ex之后，再施行盖体3b的加锁， F0UP3又用台车施行与上述相同的操作，搬运至所需的其它处理工作台或者堆垛器。但是，在各种处理工作台依次接受不同处理的晶片4需要置放在搁片构件3e的一 连串搁片3ex上插拔自如，只是装载在该架3ex上。因此，假如伴随来自OHT台车2发生的各种振动，特别是在高速搬运处理中，行驶、 升降之际的加速减速时发生的惯性力传递给F0UP3的振动仍然向搁片构件3e传递的话，则 装载于该搁片构件3e的搁片3ex上的晶片4会发生因弹起引起的碰撞或者与搁片3ex相 摩擦，这些情况若超过一定限度，晶片4会损伤至造成不良化的程度。可是，如图2所示，因为搁片构件3e通过环状弹性体3g对FOUP主体3a进行支撑， 即使F0UP3在OHT台车接受行驶、升降运作，其振动也难以100 %切断，但通过根据F0UP3受 到的预计振动，选定环状弹性体3的尺寸、材料等，也能够实现抑制振动，以使晶片4不至于 损伤。[实施例2]图4为表示作为上述实施方式改变例的实施例2的主要部分典型图，在该图4中， 作为基本结构，FOUP13具有FOUP主体13a、法兰13c以及搁片构件13e。并且，实施例2有特征的结构，在于搁片构件13e对FOUP主体13a的支撑装置。具体地对该支撑装置加以说明，S卩，不具有搁片构件13e的搁片13ex的上下两端 部13ey以弹性体13g保持着。另外，该弹性件13g固定于在与搁片构件13e的上下两端部13ey相对应的位置所 形成的支撑部13ax上。通过上述图4所示的结构，在F0UP13受到OHT台车除外的搬运装置通过法兰13c 的上述各种振动时，该各种振动通过弹性体13g，按与该弹性体13g特性相应的比例衰减。
因而，传递给插拔自如地装载于搁片构件13e的搁片13ex上的晶片(参照图1的 符号4)的振动，即使原理上难以完全消除，但通过对弹性体13g的适当选择，也能够控制在 可防止上述晶片不良化的程度。[实施例3]图5为表示作为上述实施方式改变例的实施例3的主要部分典型图。在该图5中， 作为基本结构，F0UP23具有FOUP主体23a、法兰23c以及搁片构件23e。并且，实施例3有特征的结构，在于搁片构件23e对FOUP主体23a的支撑装置。具 体地对该支撑装置加以说明，即，在搁片构件23e的上下两端部附近配置板簧23g，各板簧23g的两端部各自接合搁片构件23e与F0UP主体23a的内周面。在上述结构中，搁片构件23e通过板簧23g对F0UP主体23a给予弹性支撑，因此， 在F0UP主体23a通过0HT台车除外的搬运装置接受行驶升降作用时，通过法兰23c受到的 振动受到与板簧23g的弹性特性相应的振动抑制作用而传递至搁片构件23e。因而，传递至插拔自如地装载于搁片构件23e的搁片23ex上的晶片(参照图1的 符号4)的振动，即使原理上难以完全消除，但通过对板簧23g的适当选择，也能够控制到可 防止上述晶片不良化的程度。需要加以说明的是，本申请发明除收纳上述硅衬底的半导体衬底收纳容器以外， 也可以应用于作为掩模原版搬运容器、液晶板衬底搬运容器等需要采取防振动措施的其它 搬运容器。虽然参照特定的实施方式详细地说明了本发明，但是很显然，本领域的技术人员 能够在不脱离本发明的构思和范围作出各种变化和修改。本申请基于2005年10月31日申请的日本专利申请(特愿2005-316013)，并且其 内容结合于此以供参考。工业方面可应用性根据本发明的物品收纳用容器的防振机构，装载被搬运物品的搁片构件，即使在 内部保有该搁片构件的容器通过0HT除外的搬运装置而受到各种振动，仍然不会受到上述 各种振动而处于被抑制的状态。因而，通过对弹性体的规格适当地限定，该弹性体对容器弹性地支撑搁片构件，给 容器与搁片构件之间带来抑制振动传递的作用，只要设定不用担心损伤被搬运物的程度， 就能够不损伤而安全地搬运被搬运物。并且，在抑制来自搬运装置受到的振动向被搬运物品传递时，仅采用实施于容器 内部的极其简单的防振装置，因此，很容易实现以现行的F0UP规格为前提构成的转载机器 与选配。
10
权利要求
一种物品收纳用容器的防振机构，其特征在于，具有，物品收纳用容器，该物品收纳用容器通过行驶的搬运装置沿规定路径进行搬运，并具有支撑被搬运物品的搁片构件，和弹性构件，该弹性构件在所述搬运装置运作时，抑制所述容器受到的振动向所述搁片构件传递，所述弹性构件配置于所述物品收纳用容器支撑所述搁片构件的适宜位置，所述容器通过所述弹性构件支撑所述搁片构件，所述搁片构件具有上下两端部，该上下两端部不具有搁片，所述物品收纳用容器具有形成于与所述搁片构件的所述上下两端部相对应的位置的支撑部，所述上下两端部通过所述弹性构件分别支撑于相对应的所述支撑部。
2.如权利要求1所记载的物品收纳用容器的防振机构，其特征在于 所述搁片构件的上下两端部形成为向上下突出，所述物品收纳用容器的支撑部作为凹部形成于容器的内壁， 所述弹性构件配置于所述凹部，通过所述上下两端部进入所述凹部内的所述弹性构件中，所述物品收纳用容器支撑所 述搁片构件。
3.如权利要求1所记载的物品收纳用容器的防振机构，其特征在于 所述弹性构件为板簧。
4.如权利要求1所记载的物品收纳用容器的防振机构，其特征在于 所述弹性构件为配置于所述搁片构件的上下两端部附近的板簧，所述板簧的两端部分别与所述搁片构件和所述物品收纳用容器的内周面相接合。
5.如权利要求1所记载的物品收纳用容器的防振机构，其特征在于 所述被搬运物品为晶片，所述搁片构件为沿水平方向插拔自如地保持所述晶片的构件， 收纳所述搁片构件的容器为F0UP。
6.如权利要求1所记载的物品收纳用容器的防振机构，其特征在于所述搬运装置为在工序内或者工序间的环状轨道上行驶的悬垂式升降搬运装置。
全文摘要
本发明提供一种物品收纳用容器的防振机构，其目的在于抑制振动向搁片构件传递，并防止损伤搁片构件上所支撑的衬底。该防振机构的结构为，由另外构件构成FOUP主体(3a)和配备于该FOUP主体(3a)的搁片构件(3e)，弹性体(3g)介于FOUP主体(3a)与搁片构件(3e)之间，使搁片构件(3e)对FOUP主体(3a)进行弹性支撑。
文档编号H01L21/673GK101870394SQ20101012517
公开日2010年10月27日 申请日期2006年10月31日 优先权日2005年10月31日
发明者村田正直 申请人:村田自动化机械有限公司