专利名称：断线检测系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种断线检测系统，特别是应用在半导体专用设备制造行业的多线切 割机设备中的断线检测系统。
背景技术：
随着现代加工业的迅猛发展，新材料、新技术在半导体制造行业内不断地涌现。更 多的半导体材料需要高质量、高效率的切割，从而产生了多线切割设备，多线切割机在半导 体材料的切割过程中存在着下列问题1、断线检测回路电阻阻值波动范围大，检测信号测量不准确。2、断线信号的获取较难，误差大。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种能够准确检测断线给出信号，从而避免断线 引起主辊损坏和切出大量不合格硅片的断线检测系统。为了实现发明目的，本发明采用如下技术方案断线检测系统包括设置在旋转轴 上的电刷、与电刷固定连接的压簧、与电刷套装连接的电刷架、垂直于电刷架中心轴的与电 刷架套装连接的支撑轴、插接在支撑轴一端的固定板、和固定板固定连接的固定轴，电刷架 和支撑轴之间设置有绝缘套和绝缘圈，旋转轴与被检测的钢线、电刷构成闭合回路。压簧上部设置有簧片。采用本发明的有益效果是本发明采用电刷和旋转轴直接接触获取信号，依靠电 阻阻值大小获取信号，由绝缘套和绝缘圈隔开电刷架与支撑轴，其共同起绝缘作用，使本发 明是在与多线切割机绝缘的状态下进行检测。多线切割机的钢线通过放线轮排列在主辊 上，循环切割材料后再通过另一个收线轮收线，本发明将钢线和旋转轴构成了一个闭环回 路，该闭环回路有弱电流通过，当钢线断线时，电路没有电流通过，线路检测装置检测不到 微电流，整机电控系统使整机系统停止工作，从而保护被切硅材料和主辊不被损坏。本发明 结构设计合理可靠，信号检测准确，能有效的节约成本。
图1是本发明的结构示意图。在图中1锁母、2电刷、3压簧、4电刷架、5垫圈、6紧固螺钉、7绝缘套、8绝 缘圈、9紧固螺母、10支撑轴、11固定板、12固定轴、13簧片、14旋转轴。
具体实施例方式如附图1所示，在旋转轴14上设置有电刷2，与电刷2固定连接有压簧3，与电刷 2套装连接有电刷架4，设置在电刷架4内部的压簧3上部设置有一个簧片13，用于压紧压 簧3使之与旋转轴14紧密接触，避免断线而给出错误信号。设置在电刷架4上的锁母1使电刷2位于电刷架4内的一定位置上，使之只能在电刷架4的上下位置上移动。垂直于电刷架4中心轴的与电刷架4套装连接有支撑轴10，用垫圈5和紧固螺钉6使支撑轴10和电 刷架4固定连接在一起。电刷架4和支撑轴10之间设置有绝缘套7和绝缘圈8，绝缘套7 和绝缘圈8使检测系统和与固定轴12固定连接的多线切割机绝缘，绝缘的作用是使本发明 在与多线切割机绝缘的状态下进行检测，这样的作用是多线切割机的钢线与整机系统形成 了绝缘状态，钢线接通微电流，便于检测。在支撑轴10的一端插接有固定板11，固定板11 的一端用紧固螺母9固定有固定轴12，固定轴12与多线切割机整机固定连接。
多线切割机的钢线通过放线轮排列在主辊上，循环切割材料后再通过另一个收线 轮收线，如图1所示，钢线、旋转轴14和电刷2构成了一个闭环回路，回路一端与旋转轴14 连接，一端与电刷架4连接，内部与钢线连接，当钢线闭合时，该闭环回路有弱电流通过，当 钢线断裂时，电路没有电流通过，线路检测装置检测不到电流，整机电控系统使整机停止运 转，从而实现停机，从而实现停机，保护主辊和避免切割出大量不合格材料，避免不必要损 失。本发明结构设计合理可靠，信号检测准确，能有效的节约成本。
权利要求
断线检测系统，其特征在于，其包括设置在旋转轴(14)上的电刷(2)、与电刷(2)固定连接的压簧(3)、与电刷(2)套装连接的电刷架(4)、垂直于电刷架(4)中心轴的与电刷架(4)套装连接的支撑轴(10)、插接在支撑轴(10)一端的固定板(11)、和固定板(11)固定连接的固定轴(12)，所述电刷架(4)和支撑轴(10)之间设置有绝缘套(7)和绝缘圈(8)，所述旋转轴(14)与被检测的钢线、电刷(2)构成闭合回路。
2.根据权利要求1所述的断线检测系统，其特征在于所述的压簧(3)上部设置有簧片 (13)。
全文摘要
本发明涉及一种断线检测系统，特别是应用在半导体专用设备制造行业的多线切割机设备中的断线检测系统，本发明包括设置在旋转轴上的电刷、与电刷固定连接的压簧、与电刷套装连接的电刷架垂直于电刷架中心轴的与电刷架套装连接的支撑轴、插接在支撑轴一端的固定板、和固定板固定连接的固定轴，电刷架和支撑轴之间设置有绝缘套和绝缘圈，电刷和被检测的钢线、旋转轴构成闭环回路；本发明能够准确检测钢线断线给出的信号，从而避免断线引起主辊损坏和切出大量不合格硅片。
文档编号H01L21/66GK101859721SQ201010197149
公开日2010年10月13日 申请日期2010年6月11日 优先权日2010年6月11日
发明者田惠兰, 靳永吉 申请人:中国电子科技集团公司第四十五研究所