专利名称：调整工艺配方步骤顺序的方法、装置及系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及半导体控制技术，特别是涉及一种调整工艺配方步骤顺序的方法、装置及系统。
背景技术：
在半导体加工工业中，设备控制系统用于控制各种半导体加工设备进行半导体的生产制造。所述设备控制系统包括上层控制系统和下层控制系统，其中下层控制系统直接同设备交互，上层控制系统同下层控制系统交互，负责设备的自动生成、数据采集、报警处理、设备维护操作、工艺配方编辑等功能，而其中的工艺配方编辑是上层控制系统非常重要的功能之一。所述工艺配方编辑是指针对不同的加工工艺进行工艺步骤、所需参数、参数值范围等设置。参照图1所示，是某一工艺配方(recipe)的编辑示意图。图中所示为一编辑表格，编辑表格的第一行表示表头，表头包含“参数”及各工艺步骤“st印l”、“st印2”等字段， 其中字段“参数”对应的一列表示该工艺过程中需要的参数设置，如腔室压力、腔室温度、入射功率、反射功率、工艺气体流量等等；“stepl”、“Step2”表示工艺步骤序号，每个工艺步骤下对应所设参数都有相应的参数值。在工艺配方编辑中，常常需要根据不同的工艺配方来调整各工艺步骤间的顺序， 例如图1所示的工艺步骤顺序在另一工艺配方中就需要将Stepl和St印2互换次序，或者将stepl移动到st印3之后，等等。目前，上层控制系统中调整工艺配方步骤顺序的方法是首先在工艺编辑页面选择要移动的工艺步骤的表头，然后点击工艺编辑页面上的“移动”按钮，页面弹出对话框， 在对话框中点击下拉列表，选择要移动到的目标位置，然后点击对话框中的“确认”按钮完成工艺步骤的移动，或者点击“取消”按钮取消当前操作。例如，将图1中的Stepl移动到 st印2后面，先选中字段“stepl”对应的一列，然后点击“移动”按钮弹出对话框，在对话框的下拉列表中选中“st印2”并点击“确认”，“st印1”对应的一列会自动移到“st印2”对应的一列之后。上述这种通过手工方式调整工艺步骤顺序的方法，每移动一个步骤都要完成点击移动按钮、点击下拉列表、选择目标步骤、点击确认或取消关闭弹出对话框的繁琐过程，而在编辑工艺配方的过程中，移动配方步骤是非常频繁的工作，所以上述方法的工作量非常大。而且，如果工艺配方的步骤很多，则弹出的对话框中下拉列表的内容会比较长，选择目标步骤时非常容易产生误操作。
发明内容
本发明提供一种调整工艺配方步骤顺序的方法、装置及系统，以解决手工调整工艺步骤顺序造成工作量大、容易误操作的问题。为了解决上述问题，本发明公开了一种调整工艺配方步骤顺序的方法，包括
检测鼠标按键状态；如果检测到鼠标按键按下，则判断鼠标按下位置是否对应某一工艺配方步骤，如果是，则记录鼠标按下位置为初始位置，并继续检测鼠标按键状态；如果检测到鼠标按键抬起，则判断鼠标抬起位置是否对应某一工艺配方步骤，如果是，则记录鼠标抬起位置为终止位置；比较所述初始位置和终止位置是否相同，如果不同，则将初始位置对应的工艺配方步骤移动到终止位置对应的工艺配方步骤之前或之后。优选的，判断鼠标按下或抬起位置是否对应某一工艺配方步骤，包括判断鼠标按下或抬起位置是否处于某一工艺配方步骤的表头，如果是，则表示鼠标按下或抬起位置对应该工艺配方步骤；如果否，则表示鼠标按下或抬起位置不对应该工艺配方步骤。优选的，所述记录鼠标按下位置为初始位置，包括记录鼠标按下位置对应的列位置为初始位置，所述列位置为某一工艺配方步骤的表头所在列的列位置。优选的，所述记录鼠标抬起位置为终止位置，包括记录鼠标抬起位置对应的列位置为终止位置，所述列位置为某一工艺配方步骤的表头所在列的列位置。优选的，所述比较所述初始位置和终止位置是否相同，包括比较初始位置对应的列位置与终止位置对应的列位置是否为同一列位置，如果是，则所述初始位置和终止位置相同；如果否，则所述初始位置和终止位置不相同。优选的，所述方法还包括如果检测到鼠标按键按下后移动，则将初始位置对应的某一工艺配方步骤的表头截图，并将该截图作为鼠标图标；如果检测到鼠标抬起，则将所述鼠标图标还原。其中，所述鼠标按键为鼠标的左键或右键。本发明还提供了一种调整工艺配方步骤顺序的装置，包括鼠标状态检测单元，用于检测鼠标按键状态；鼠标按下处理单元，连接于所述鼠标状态检测单元，用于当鼠标状态检测单元检测到鼠标按键按下时，判断鼠标按下位置是否对应某一工艺配方步骤，如果是，则记录鼠标按下位置为初始位置，并触发鼠标状态检测单元继续检测鼠标按键状态；鼠标抬起处理单元，连接于所述鼠标状态检测单元，用于当鼠标状态检测单元检测到鼠标按键抬起时，判断鼠标抬起位置是否对应某一工艺配方步骤，如果是，则记录鼠标抬起位置为终止位置；步骤调整单元，分别连接于所述鼠标按下处理单元和所述鼠标抬起处理单元，用于比较所述初始位置和终止位置是否相同，如果不同，则将初始位置对应的工艺配方步骤移动到终止位置对应的工艺配方步骤之前或之后。优选的，所述鼠标按下处理单元包括按下判断子单元，用于当鼠标状态检测单元检测到鼠标按键按下时，判断鼠标按下位置是否处于某一工艺配方步骤的表头，如果是，则表示鼠标按下位置对应该工艺配方步骤；如果否，则表示鼠标按下位置不对应该工艺配方步骤；初始位置记录子单元，连接于所述按下判断子单元，用于当所述按下判断子单元判断出鼠标按下位置处于某一工艺配方步骤的表头时，记录鼠标按下位置对应的列位置为初始位置，所述列位置为该工艺配方步骤的表头所在列的列位置。优选的，所述鼠标抬起处理单元包括抬起判断子单元，用于当鼠标状态检测单元检测到鼠标按键抬起时，判断鼠标抬起位置是否处于某一工艺配方步骤的表头，如果是，则表示鼠标抬起位置对应该工艺配方步骤；如果否，则表示鼠标抬起位置不对应该工艺配方步骤；终止位置记录子单元，连接于所述抬起判断子单元，用于当所述抬起判断子单元判断出鼠标抬起位置处于某一工艺配方步骤的表头时，记录鼠标抬起位置对应的列位置为终止位置，所述列位置为该工艺配方步骤的表头所在列的列位置。优选的，所述步骤调整单元包括位置比较子单元，分别连接于所述初始位置记录子单元和终止位置记录子单元，用于比较初始位置对应的列位置与终止位置对应的列位置是否为同一列位置，如果是，则所述初始位置和终止位置相同；如果否，则所述初始位置和终止位置不相同；步骤移动子单元，连接于所述位置比较子单元，用于当所述位置比较子单元比较出所述初始位置和终止位置不同时，将初始位置对应的工艺配方步骤移动到终止位置对应的工艺配方步骤之前或之后。优选的，所述装置还包括鼠标图标变换单元，用于当鼠标状态检测单元检测到鼠标按键按下后移动时，将初始位置对应的某一工艺配方步骤的表头截图，并将该截图作为鼠标图标；当鼠标状态检测单元检测到鼠标抬起时，将所述鼠标图标还原。本发明还提供了一种半导体设备控制系统，包括上层控制系统和下层控制系统， 所述上层控制系统包括上述调整工艺配方步骤顺序的装置。与已有方法相比，本发明具有以下优点本发明在工艺配方编辑中，通过检测鼠标的按下、移动和抬起状态，提供一种拖拽式的操作方法，这种操作通过拖拽工艺配方步骤对应的表头到目标位置，非常方便、准确地完成步骤顺序的调整，大大简化了编辑工作，减少了工作量，并降低了误操作的可能性。
图1是已有方法中某一工艺配方的编辑示意图；图2是本发明实施例所述一种调整工艺配方步骤顺序的操作流程图；图3是本发明实施例中某一工艺配方的编辑示意图；图4是本发明实施例所述一种调整工艺配方步骤顺序的方法流程图；图5是本发明实施例所述一种调整工艺配方步骤顺序的装置结构图。
具体实施例方式为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式
对本发明作进一步详细的说明。在调整工艺配方步骤的编辑中，本发明提供了一种方便、准确的拖拽式操作方法， 可以简化编辑工作，并降低误操作的可能性。下面通过实施例进行详细说明。参照图2，是本发明实施例所述一种调整工艺配方步骤顺序的操作流程图。仍以图1所示的工艺配方步骤为例，现要将stepl移动到st印2之后，即将stepl 对应的一列数据移动到step2对应的一列数据之后，具体操作流程如下步骤201，按下鼠标左键，选中stepl对应的一列数据；步骤202，保持左键按下状态并移动鼠标到st印2对应的表头；
所述表头即指编辑表格的第一行，St印2对应的表头即为第一行中字段为St印2 的表头。步骤203，抬起鼠标左键，stepl对应的一列数据自动移动到st印2对应的一列数据之前或之后。最终，工艺配方步骤的顺序调整为st印2、stepl, st印3、.......优选的，在鼠标移动的过程中，还可以将St印1对应的表头进行截图并作为鼠标图标，跟随鼠标一起移动，直到鼠标抬起后还原鼠标原图标。图2所示操作过程的示意图可参照图3所示，鼠标原图标以常见的箭头表示，当鼠标箭头落入stepl对应的表头范围后(如字段stepl占据的方框)，按下鼠标左键即表示选中stepl对应的一列数据；然后鼠标移动，移动过程中鼠标图标变换为stepl对应的表头截图，当鼠标图标的左上角落入st印2对应的表头范围后，即表示鼠标移动到st印2对应的表头；抬起鼠标左键，stepl对应的一列数据自动移动到st印2对应的一列数据之前或之后， 同时鼠标图标还原为箭头形式。上述操作过程中，关于按下鼠标左键是否选中stepl对应的一列数据，以及鼠标是否移动到step2对应的表头，还可以有其他的判断方法，本实施例在此不做限定。需要说明的是，本实施例也可以按下鼠标右键来完成整个操作；而且，本实施例中 stepl对应的是列数据，如果stepl对应行数据，本实施例也可以通过这种拖拽式的操作实现行数据的位置改变。上述内容介绍的是用户的操作流程，下面详细说明在工艺配方编辑页面中如何实现该操作。工艺配方编辑页面通常使用DataGrid控件来完成，本发明实施例中的拖拽式编辑通过重载DataGrid控件来实现，即重载DataGrid的OnMouseMove (鼠标移动)、 OnMouseDown (鼠标按下),OnMouseUp (鼠标松开)三个方法，重载DataGrid控件后的处理如图4所示。参照图4，是本发明实施例所述一种调整工艺配方步骤顺序的方法流程图。步骤401，检测鼠标按键状态；步骤402，如果检测到鼠标按键按下，则判断鼠标按下位置是否对应某一工艺配方步骤，如果是，则记录鼠标按下位置为初始位置，并继续检测鼠标按键状态；如果否，即鼠标按下位置不对应某一工艺配方步骤，则结束调整步骤顺序的处理。其中，所述鼠标按键可以是左键也可以是右键，可以在重载DataGrid控件时设定。本实施例中，判断鼠标按下位置是否对应某一工艺配方步骤的具体方法是判断鼠标按下位置是否处于某一工艺配方步骤的表头，如果是，则表示鼠标按下位置对应该工艺配方步骤；如果否，则表示鼠标按下位置不对应该工艺配方步骤。其中，可以通过判断鼠标按下位置是否落入表头所示的方框范围，来判断鼠标按下位置是否处于某一工艺配方步骤的表头。如果鼠标按下位置对应某一工艺配方步骤，则本实施例将鼠标按下位置对应的列位置记录为初始位置，所述列位置为该工艺配方步骤的表头所在列的列位置。例如图3中， 初始位置为stepl对应的表头位置。当然，如果对应工艺配方步骤的数据以行而不是列表示，也可以将鼠标按下位置对应的列位置记录为初始位置。此外，如果鼠标按下位置对应某一工艺配方步骤，还需要继续检测鼠标按键状态是移动还是抬起。步骤403，如果检测到鼠标按键抬起，则判断鼠标抬起位置是否对应某一工艺配方步骤，如果是，则记录鼠标抬起位置为终止位置；如果否，即鼠标抬起位置不对应某一工艺配方步骤，则结束调整步骤顺序的处理。与步骤402类似，判断鼠标抬起位置是否对应某一工艺配方步骤的具体方法也可以是判断鼠标抬起位置是否处于某一工艺配方步骤的表头，如果是，则表示鼠标抬起位置对应该工艺配方步骤；如果否，则表示鼠标抬起位置不对应该工艺配方步骤。其中，也可以通过判断鼠标抬起位置是否落入表头所示的方框范围，来判断鼠标抬起位置是否处于某一工艺配方步骤的表头。如果鼠标抬起位置对应某一工艺配方步骤，则本实施例将鼠标抬起位置对应的列位置记录为终止位置，所述列位置为某一工艺配方步骤的表头所在列的列位置。例如图3 中，终止位置为step2对应的表头位置。当然，如果对应工艺配方步骤的数据以行而不是列表示，也可以将鼠标抬起位置对应的列位置记录为终止位置。步骤404，比较所述初始位置和终止位置是否相同，如果不同，则将初始位置对应的工艺配方步骤移动到终止位置对应的工艺配方步骤之前或之后。所述比较初始位置和终止位置是否相同是指比较初始位置对应的列位置与终止位置对应的列位置是否为同一列位置，即判断鼠标按下所选中的列与鼠标抬起所选中的列是否为同一列，如果是，则所述初始位置和终止位置相同；如果否，则所述初始位置和终止位置不相同。如果初始位置和终止位置不相同，表示该次拖拽操作有效，触发步骤移动事件，该事件执行将初始位置对应的一列数据自动移动到终止位置对应的一列数据之前或之后。其中，所述“之前”表示将一个步骤移动到另一个步骤之前，所述“之后”表示将一个步骤移动到另一个步骤之后。“之前”还是“之后”可以预先设定。如果初始位置和终止位置相同，表示该次拖拽操作无效，则不会触发所述步骤移动事件。优选的，在步骤402之后，如果检测到鼠标按键按下后移动，还可以改变鼠标图标，将初始位置对应的某一工艺配方步骤的表头截图并作为鼠标图标跟随鼠标一起拖动； 而在步骤403，如果检测到鼠标抬起，则将所述鼠标图标还原。综上所述，本发明实施例提供的拖拽式操作方法具有以下效果1、只需要鼠标拖拽表头，便可完成一次步骤调整操作，工作量少，在操作频繁的情况下，优势更加明显；2、操作直观，需要移动的步骤表头会作为鼠标图标跟随鼠标移动，极大减少了误操作的可能性；3、减少了已有方法中弹出对话框的数量，进而减少了编程人员的工作量；4、减少了已有方法中移动按钮等界面元素，从而使编辑页面更加美观；5、以控件形式实现所述拖拽操作，只需要以重载的DataGrid控件替换原 DataGrid控件即可，最大程度地实现了代码复用。CN 102541398 A基于以上内容，本发明还提供了相应的装置和系统实施例。参照图5，是本发明实施例所述一种调整工艺配方步骤顺序的装置结构图。所述调整工艺配方步骤顺序的装置包括鼠标状态检测单元1、鼠标按下处理单元 2、鼠标抬起处理单元3、步骤调整单元4，其中，鼠标状态检测单元1用于检测鼠标按键状态；鼠标按下处理单元2连接于所述鼠标状态检测单元1，用于当鼠标状态检测单元1检测到鼠标按键按下时，判断鼠标按下位置是否对应某一工艺配方步骤，如果是，则记录鼠标按下位置为初始位置，并触发鼠标状态检测单元继续检测鼠标按键状态；鼠标抬起处理单元 3连接于所述鼠标状态检测单元1，用于当鼠标状态检测单元1检测到鼠标按键抬起时，判断鼠标抬起位置是否对应某一工艺配方步骤，如果是，则记录鼠标抬起位置为终止位置；步骤调整单元4分别连接于所述鼠标按下处理单元2和所述鼠标抬起处理单元3，用于比较所述初始位置和终止位置是否相同，如果不同，则将初始位置对应的工艺配方步骤移动到终止位置对应的工艺配方步骤之前或之后。其中，所述鼠标按下处理单元2进一步可以包括按下判断子单元21和初始位置记录子单元22，其中按下判断子单元21用于当鼠标状态检测单元1检测到鼠标按键按下时， 判断鼠标按下位置是否处于某一工艺配方步骤的表头，如果是，则表示鼠标按下位置对应该工艺配方步骤；如果否，则表示鼠标按下位置不对应该工艺配方步骤；初始位置记录子单元22连接于所述按下判断子单元，用于当所述按下判断子单元21判断出鼠标按下位置处于某一工艺配方步骤的表头时，记录鼠标按下位置对应的列位置为初始位置，所述列位置为该工艺配方步骤的表头所在列的列位置。相应的，所述鼠标抬起处理单元3进一步也可以包括抬起判断子单元31和终止位置记录子单元32，其中抬起判断子单元31用于当鼠标状态检测单元1检测到鼠标按键抬起时，判断鼠标抬起位置是否处于某一工艺配方步骤的表头，如果是，则表示鼠标抬起位置对应该工艺配方步骤；如果否，则表示鼠标抬起位置不对应该工艺配方步骤；终止位置记录子单元32连接于所述抬起判断子单元31，用于当所述抬起判断子单元31判断出鼠标抬起位置处于某一工艺配方步骤的表头时，记录鼠标抬起位置对应的列位置为终止位置，所述列位置为该工艺配方步骤的表头所在列的列位置。所述步骤调整单元4也可以包括位置比较子单元41和步骤移动子单元42，其中位置比较子单元41分别连接于所述初始位置记录子单元22和终止位置记录子单元32，用于比较初始位置对应的列位置与终止位置对应的列位置是否为同一列位置，如果是，则所述初始位置和终止位置相同；如果否，则所述初始位置和终止位置不相同；步骤移动子单元 42连接于所述位置比较子单元41，用于当所述位置比较子单元41比较出所述初始位置和终止位置不同时，将初始位置对应的工艺配方步骤移动到终止位置对应的工艺配方步骤之前或之后。优选的，为了减少误操作的可能性，所述调整工艺配方步骤顺序的装置还可以包括鼠标图标变换单元5，用于当鼠标状态检测单元1检测到鼠标按键按下后移动时，将初始位置对应的某一工艺配方步骤的表头截图，并作为鼠标图标；当鼠标状态检测单元1检测到鼠标抬起时，将所述鼠标图标还原。需要说明的是，所述鼠标按键可以为鼠标左键也可以为鼠标右键，而且，本实施例也可以通过上述装置实现行数据的位置改变。
综上所述，所述调整工艺配方步骤顺序的装置可以方便、准确地完成步骤顺序的调整，大大简化了编辑工作，减少了工作量，并降低了误操作的可能性。基于上述调整工艺配方步骤顺序的装置实施例，本发明还提供了一种半导体设备控制系统的实施例。所述设备控制系统包括上层控制系统和下层控制系统，其中下层控制系统直接同设备交互，上层控制系统同下层控制系统交互，负责设备的自动生成、数据采集、报警处理、设备维护操作、工艺配方编辑等功能。所述上层控制系统包括上述调整工艺配方步骤顺序的装置，可以简化工艺人员的工艺配方编辑工作，并降低工艺人员误操作的可能性。本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可。对于系统实施例而言，由于其与方法实施例基本相似，所以描述的比较简单，相关之处参见方法实施例的部分说明即可。以上对本发明所提供的一种调整工艺配方步骤顺序的方法、装置及系统，进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式
及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。
权利要求
1.一种调整工艺配方步骤顺序的方法，其特征在于，包括 检测鼠标按键状态；如果检测到鼠标按键按下，则判断鼠标按下位置是否对应某一工艺配方步骤，如果是， 则记录鼠标按下位置为初始位置，并继续检测鼠标按键状态；如果检测到鼠标按键抬起，则判断鼠标抬起位置是否对应某一工艺配方步骤，如果是， 则记录鼠标抬起位置为终止位置；比较所述初始位置和终止位置是否相同，如果不同，则将初始位置对应的工艺配方步骤移动到终止位置对应的工艺配方步骤之前或之后。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，判断鼠标按下或抬起位置是否对应某一工艺配方步骤，包括判断鼠标按下或抬起位置是否处于某一工艺配方步骤的表头，如果是，则表示鼠标按下或抬起位置对应该工艺配方步骤；如果否，则表示鼠标按下或抬起位置不对应该工艺配方步骤。
3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述记录鼠标按下位置为初始位置， 包括记录鼠标按下位置对应的列位置为初始位置，所述列位置为某一工艺配方步骤的表头所在列的列位置。
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述记录鼠标抬起位置为终止位置，包括记录鼠标抬起位置对应的列位置为终止位置。
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述比较所述初始位置和终止位置是否相同，包括比较初始位置对应的列位置与终止位置对应的列位置是否为同一列位置，如果是，则所述初始位置和终止位置相同；如果否，则所述初始位置和终止位置不相同。
6.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，还包括如果检测到鼠标按键按下后移动，则将初始位置对应的某一工艺配方步骤的表头截图，并将该截图作为鼠标图标；如果检测到鼠标抬起，则将所述鼠标图标还原。
7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于 所述鼠标按键为鼠标的左键或右键。
8.—种调整工艺配方步骤顺序的装置，其特征在于，包括 鼠标状态检测单元，用于检测鼠标按键状态；鼠标按下处理单元，连接于所述鼠标状态检测单元，用于当鼠标状态检测单元检测到鼠标按键按下时，判断鼠标按下位置是否对应某一工艺配方步骤，如果是，则记录鼠标按下位置为初始位置，并触发鼠标状态检测单元继续检测鼠标按键状态；鼠标抬起处理单元，连接于所述鼠标状态检测单元，用于当鼠标状态检测单元检测到鼠标按键抬起时，判断鼠标抬起位置是否对应某一工艺配方步骤，如果是，则记录鼠标抬起位置为终止位置；步骤调整单元，分别连接于所述鼠标按下处理单元和所述鼠标抬起处理单元，用于比较所述初始位置和终止位置是否相同，如果不同，则将初始位置对应的工艺配方步骤移动到终止位置对应的工艺配方步骤之前或之后。
9.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，所述鼠标按下处理单元包括按下判断子单元，用于当鼠标状态检测单元检测到鼠标按键按下时，判断鼠标按下位置是否处于某一工艺配方步骤的表头，如果是，则表示鼠标按下位置对应该工艺配方步骤； 如果否，则表示鼠标按下位置不对应该工艺配方步骤；初始位置记录子单元，连接于所述按下判断子单元，用于当所述按下判断子单元判断出鼠标按下位置处于某一工艺配方步骤的表头时，记录鼠标按下位置对应的列位置为初始位置，所述列位置为该工艺配方步骤的表头所在列的列位置。
10.根据权利要求9所述的装置，其特征在于，所述鼠标抬起处理单元包括抬起判断子单元，用于当鼠标状态检测单元检测到鼠标按键抬起时，判断鼠标抬起位置是否处于某一工艺配方步骤的表头，如果是，则表示鼠标抬起位置对应该工艺配方步骤； 如果否，则表示鼠标抬起位置不对应该工艺配方步骤；终止位置记录子单元，连接于所述抬起判断子单元，用于当所述抬起判断子单元判断出鼠标抬起位置处于某一工艺配方步骤的表头时，记录鼠标抬起位置对应的列位置为终止位置。
11.根据权利要求10所述的装置，其特征在于，所述步骤调整单元包括位置比较子单元，分别连接于所述初始位置记录子单元和终止位置记录子单元，用于比较初始位置对应的列位置与终止位置对应的列位置是否为同一列位置，如果是，则所述初始位置和终止位置相同；如果否，则所述初始位置和终止位置不相同；步骤移动子单元，连接于所述位置比较子单元，用于当所述位置比较子单元比较出所述初始位置和终止位置不同时，将初始位置对应的工艺配方步骤移动到终止位置对应的工艺配方步骤之前或之后。
12.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，还包括鼠标图标变换单元，用于当鼠标状态检测单元检测到鼠标按键按下后移动时，将初始位置对应的某一工艺配方步骤的表头截图，并将该截图作为鼠标图标；当鼠标状态检测单元检测到鼠标抬起时，将所述鼠标图标还原。
13.一种半导体设备控制系统，包括上层控制系统和下层控制系统，其特征在于所述上层控制系统包括权利要求8至12任一权利要求所述的调整工艺配方步骤顺序的装置。
全文摘要
本发明提供了一种调整工艺配方步骤顺序的方法、装置及系统，以解决手工调整工艺步骤顺序造成工作量大、容易误操作的问题。所述方法包括检测鼠标按键状态；如果检测到鼠标按键按下，则判断鼠标按下位置是否对应某一工艺配方步骤，如果是，则记录鼠标按下位置为初始位置，并继续检测鼠标按键状态；如果检测到鼠标按键抬起，则判断鼠标抬起位置是否对应某一工艺配方步骤，如果是，则记录鼠标抬起位置为终止位置；比较所述初始位置和终止位置是否相同，如果不同，则将初始位置对应的工艺配方步骤移动到终止位置对应的工艺配方步骤之前或之后。本发明可以方便、准确地完成步骤顺序的调整，大大简化了编辑工作，减少了工作量，降低了误操作的可能性。
文档编号H01L21/00GK102541398SQ20101059276
公开日2012年7月4日 申请日期2010年12月16日 优先权日2010年12月16日
发明者史朝进 申请人:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司