专利名称：派工控制方法及派工控制设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及制造领域，更具体地说，本发明涉及一种派工控制方法及派工控制设备。
背景技术：
在制造领域领域中，例如在半导体芯片制造加工领域中，在对产品进行制造或者加工的过程中，往往会采用多台同种设备来对大量产品进行制造或者加工。因此，在所述多台同种设备之间对大量产品进行分配的策略(即派工策略)往往极大地影响了产品处理的效率。在现有的产品的派工控制方法中，为降低机器发生异常情况的风险，可以通过平均分配产品数量至多个机台的方法进行风险分担。但是刻板地控制在每个机台的产品数量为某一数量后必须转机台，会极大地影响生产的灵活性，甚至导致产率下降。
发明内容
本发明的一个目的是提供一种灵活的降低风险的派工控制方法及派工控制设备。根据本发明的第一方面，提供了一种派工控制方法，其包括初始设定分配设备选择步骤，用于从工厂的用于处理当前批次的产品的多个设备中为当前批次的产品选择初始设定分配设备；判定步骤，用于判定最近生产的η批产品中在初始设定分配设备上的批数是否超过m,其中η > m ；第一执行步骤，用于在判定步骤的判定结果是否定的情况下将当前批次的产品分配给初始设定分配设备；以及第二执行步骤，在判定步骤的判定结果是肯定的情况下不将当前批次的产品分配给初始设定分配设备。优选地，所述派工控制方法还包括在判定步骤的判定结果是肯定的情况下执行初始设定分配设备重新选择步骤，用于从工厂的用于处理当前批次的产品的多个设备中为当前批次的产品重新选择选择初始设定分配设备。优选地，所述派工控制方法还包括在初始设定分配设备重新选择步骤之后，针对新的初始设定分配设备重新执行判定步骤。优选地，所述派工控制方法还包括根据所述多个设备的数量和/或处理速度选择η和m的具体数值。根据本发明的第一方面，利用n-m的方式灵活地控制机台生产产品数量，即最近生产的η批产品中在某一个设备上的批数不能超过m(n > m)，就可以保证至少在两个机台上分散生产，又完全不会影响生产派工和产率。根据本发明的第二方面，提供了一种派工控制设备，其包括初始设定分配设备选择模块，用于从工厂的用于处理当前批次的产品的多个设备中为当前批次的产品选择初始设定分配设备；判定模块，用于最近生产的η批产品中在初始设定分配设备上的批数是否超过m， 其中η > m ；第一执行模块，用于在判定步骤的判定结果是否定的情况下将当前批次的产品分配给初始设定分配设备；以及第二执行模块，在判定步骤的判定结果是肯定的情况下不将当前批次的产品分配给初始设定分配设备。优选地，上述派工控制设备还包括初始设定分配设备重新选择模块，用于在判定步骤的判定结果是肯定的情况下，用于从工厂的用于处理当前批次的产品的多个设备中为当前批次的产品重新选择选择初始设定分配设备。优选地，在上述派工控制设备中，判定模块还用于在初始设定分配设备重新选择步骤之后，针对新的初始设定分配设备，重新判定最近生产的η批产品中在初始设定分配设备上的批数是否超过m，其中η > m。优选地，在上述派工控制设备中，根据所述多个设备的数量和/或处理速度选择η 和m的具体数值。类似地，根据本发明的第二方面，利用n-m的方式灵活地控制机台生产产品数量， 即最近生产的η批产品中在某一个设备上的批数不能超过m(n > m)，就可以保证至少在两个机台上分散生产，又完全不会影响生产派工和产率。
结合附图，并通过参考下面的详细描述，将会更容易地对本发明有更完整的理解并且更容易地理解其伴随的优点和特征，其中图1示意性地示出了根据本发明实施例的派工控制方法的流程图。图2示意性地示出了根据本发明实施例的批号ID与设备之间的分配关系的示例。需要说明的是，附图用于说明本发明，而非限制本发明。注意，表示结构的附图可能并非按比例绘制。并且，附图中，相同或者类似的元件标有相同或者类似的标号。
具体实施例方式为了使本发明的内容更加清楚和易懂，下面结合具体实施例和附图对本发明的内容进行详细描述。图1示意性地示出了根据本发明实施例的派工控制方法的流程图。如图1所示，在根据本发明实施例的派工控制方法中，首先执行初始设定分配设备选择步骤Si，用于从工厂的用于处理当前批次的产品的多个设备中为当前批次的产品选择初始设定分配设备。具体地说，其中对于半导体制造工厂，例如可以设定多片(例如25 片)晶圆为一批产品，或者甚至也可以设定1片晶圆为一批产品。并且，具体地说，这一步骤可以由机器实现，并且也可以由人工选择实现。随后执行判定步骤S2，用于判定最近生产的η批产品中在初始设定分配设备上的批数是否超过m，其中η >m。在判定步骤的判定结果是否定的情况下执行第一执行步骤S3，用于将当前批次的产品分配给初始设定分配设备。另一方面，在判定步骤的判定结果是肯定的情况下，不执行第一执行步骤S3，即不将当前批次的产品分配给初始设定分配设备(第二执行步骤S4，可以看作一个非执行步骤)ο并且，在判定步骤的判定结果是肯定的情况下，还执行初始设定分配设备重新选择步骤S4，用于从工厂的用于处理当前批次的产品的多个设备中为当前批次的产品重新选择选择初始设定分配设备。此后，在初始设定分配设备重新选择步骤之后，针对新的初始设定分配设备重新执行判定步骤。此后的处理依此类推。更具体地说，在一个具体实施例中，当某一批产品需要进行派工时，可用的设备为Machine-Α及Machine-B。若初始设定分配设备为Machine-A，计算使用相同程式的前η 批产品中在Machine-Α上运行的总数Q。如果Q < m，此批产品将能够成功地分配给设备 Machine-A。相反，如果Q彡m，此批产品将不能够成功地分配给设备Machine-A。这时更改初始设定分配设备为Machine-B，进行同样的判断。由此，在本发明的实施例中，利用n-m的方式灵活地控制机台生产产品数量，即最近生产的η批产品中在某一个设备上的批数不能超过m(n > m)，就可以保证至少在两个机台上分散生产，又完全不会影响生产派工和产率。可根据工厂条件(例如上述同种设备的数量和/或处理速度)来选择并优化数据 η和m的具体数值，从而使得对生产的影响最小。例如，对于固定的η值，当上述同种设备的数量越大，可相应地减小m的值。对于固定的η值，当上述同种设备的处理速度越快，则可相应地增大m的值。若同种设备的数量为R，一般来说必须满足m > (n/R)，否则可能出现任何一个机台都无法分配当前批次产品的情况。例如在一个示例中，对于设备数量为10台的情况，η = 100、m= 30，或者η = 100、 m = 20。又例如，在另一个示例中，对于设备数量为20台的情况，η = 100、m = 20，或者η =100、m= 15。当然，上述示例用于说明本发明，而非限制本发明。图2示意性地示出了根据本发明实施例的批号ID与设备之间的分配关系的示例。如图所示，第一批产品Lotl被分配给设备Machine-A，第二批产品Lot2被分配给设备 Machine-B,...，第η批产品Lotn被分配给设备Machine-A。可以理解的是，虽然本发明已以较佳实施例披露如上，然而上述实施例并非用以限定本发明。对于任何熟悉本领域的技术人员而言，在不脱离本发明技术方案范围情况下， 都可利用上述揭示的技术内容对本发明技术方案作出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本发明技术方案保护的范围内。
权利要求
1.一种派工控制方法，其特征在于包括初始设定分配设备选择步骤，用于从工厂的用于处理当前批次的产品的多个设备中为当前批次的产品选择初始设定分配设备；判定步骤，用于判定最近生产的η批产品中在初始设定分配设备上的批数是否超过m， 其中η > m ；第一执行步骤，用于在判定步骤的判定结果是否定的情况下将当前批次的产品分配给初始设定分配设备；以及第二执行步骤，在判定步骤的判定结果是肯定的情况下不将当前批次的产品分配给初始设定分配设备。
2.根据权利要求1所述的派工控制方法，其特征在于还包括在判定步骤的判定结果是肯定的情况下执行初始设定分配设备重新选择步骤，用于从工厂的用于处理当前批次的产品的多个设备中为当前批次的产品重新选择初始设定分配设备。
3.根据权利要求2所述的派工控制方法，其特征在于还包括在初始设定分配设备重新选择步骤之后，针对新的初始设定分配设备重新执行判定步骤。
4.根据权利要求1或2所述的派工控制方法，其特征在于还包括根据所述多个设备的数量和/或处理速度选择η和m的具体数值。
5.一种派工控制设备，其特征在于包括初始设定分配设备选择模块，用于从工厂的用于处理当前批次的产品的多个设备中为当前批次的产品选择初始设定分配设备；判定模块，用于最近生产的η批产品中在初始设定分配设备上的批数是否超过m，其中 η > m ；第一执行模块，用于在判定步骤的判定结果是否定的情况下将当前批次的产品分配给初始设定分配设备；以及第二执行模块，在判定步骤的判定结果是肯定的情况下不将当前批次的产品分配给初始设定分配设备。
6.根据权利要求5所述的派工控制设备，其特征在于还包括初始设定分配设备重新选择模块，用于在判定步骤的判定结果是肯定的情况下，用于从工厂的用于处理当前批次的产品的多个设备中为当前批次的产品重新选择选择初始设定分配设备。
7.根据权利要求6所述的派工控制设备，其特征在于，其中判定模块还用于在初始设定分配设备重新选择步骤之后，针对新的初始设定分配设备，重新判定最近生产的η批产品中在初始设定分配设备上的批数是否超过m，其中η > m。
8.根据权利要求5或6所述的派工控制方法，其特征在于，根据所述多个设备的数量和 /或处理速度选择η和m的具体数值。
全文摘要
本发明提供了一种派工控制方法及派工控制设备。根据本发明的派工控制方法包括初始设定分配设备选择步骤，用于从工厂的用于处理当前批次的产品的多个设备中为当前批次的产品选择初始设定分配设备；判定步骤，用于判定最近生产的n批产品中在初始设定分配设备上的批数是否超过m，其中n＞m；第一执行步骤，用于在判定步骤的判定结果是肯定的情况下将当前批次的产品分配给初始设定分配设备；以及第二执行步骤，在判定步骤的判定结果是否的情况下不将当前批次的产品分配给初始设定分配设备。
文档编号H01L21/67GK102361003SQ20111025737
公开日2012年2月22日 申请日期2011年9月1日 优先权日2011年9月1日
发明者周孟兴, 胡林, 陈蕾, 鲍晔 申请人:上海宏力半导体制造有限公司