专利名称：直立式基板湿制程浸泡装置的制作方法
技术领域：
本实用新型关于一种可对基板表面均勻地进行加工的直立式基板湿制程浸泡装置。
背景技术：
应用在电路板、玻璃基板或晶元等基板上，利用化学药液对该等基板进行加工的基板湿制程加工作业，包含利用显影剂在一基板上显示出预设电路的保护层、利用蚀刻液对该基板上未设有保护层的铜箔部位进行蚀刻，使该基板上的铜箔呈现出电路的图样、以及利用清洗液洗净该基板上的蚀刻液.· ·等，可使预设的电路形成在基板表面，以利后续元件的装配及电性连接。其中，以利用蚀刻液对基板进行蚀刻的步骤为例，为了避免因为蚀刻液聚积在基板上而造成过蚀现象，其中一种现有技术所采用的方式是将该基板以直立的方式输送进入一蚀刻槽中，利用该蚀刻槽内设置于基板两侧的喷管来对该基板喷洒蚀刻液，由于该基板采直立方式移动，因此蚀刻液会自然地向下流动而蓄积于该蚀刻槽中，藉此解决蚀刻液会聚积于基板上的问题。然而，也由于该蚀刻液会向下流动的特性，使得当喷管同时对基板上的各部位同时喷洒蚀刻液，而喷洒于基板上侧的蚀刻液进一步向下流动时，往往会造成靠近基板下侧的线路产生过蚀的现象，故现有技术的以直立方式来对基板进行湿制程的装置仍有待进一步改良的处。
实用新型内容有鉴于前述现有技术所存在的问题，本实用新型提供一种直立式基板湿制程浸泡装置，希藉此设计解决在现有技术的直立式基板湿制程加工装置中对基板直接喷洒化学药液，会使该基板下侧的线路产生过蚀现象的缺点。为了达到上述的实用新型目的，本实用新型所利用的技术手段使一直立式基板湿制程浸泡装置包括—主箱体，其两相对侧分别形成一入口及一出口，该主箱体的中段处设有一加工槽，该加工槽底侧设有一与该加工槽相连通的集液槽，另于该主箱体上设有二承架，该承架横向架设于该主箱体的入口与出口之间，且分别位于靠近该主箱体的顶部及底部处；一输送轮组，其架设于该主箱体的二承架上，该输送轮组包括复数个传动轮轴以及复数个调整轮轴，该传动轮轴与调整轮轴可转动地垂直架设于该二承架之间，且间隔排列设置于该主箱体的入口与出口间，传动轮轴与调整轮轴的两端分别穿设于该二承架，且每一调整轮轴对应一传动轮轴；以及二喷流组件，其设于该主箱体的加工槽中，且分别位于该传动轮轴与调整轮轴的两侧，每一喷流组件包含一外侧板、一内侧板与二挡水板，该外侧板与内侧板间隔设置，该外侧板与内侧板之间在周缘处形成封闭并相互结合，二者之间形成一分流空间，又，该外侧板上设有至少一输液管，该输液管的一端与该分流空间相连通，另一端经由一汲液装置与该集液槽相连通，该内侧板面对该传动轮轴与调整轮轴，该内侧板上密布有复数个喷流孔， 该挡水板具弹性，其分别沿纵向固设于该相结合之外、内侧板的两侧，且分别贴靠于相对应的传动轮轴与调整轮轴上。上述输送轮组可进一步包括一驱动轴，该驱动轴可转动地横向架设于该主箱体的入口与出口之间，且位于其中一承架的旁侧，该驱动轴上间隔设有复数个蜗杆部，该驱动轴的一端连接一马达，该马达可带动该驱动轴转动，上述每一传动轮轴上靠近端部处可套设有一输入齿轮与一输出齿轮，各传动轮轴的输入齿轮分别对应并与该驱动轴的蜗杆部啮合相接，上述每一调整轮轴上靠近端部处可设有一传动齿轮，各调整轮轴的传动齿轮分别对应并与该传动轮轴的输出齿轮啮合相接。上述每一承架上可间隔穿设有复数个滑移槽，该滑移槽贯穿该承架的一侧边而形成有一开口，每一滑移槽的长轴延伸方向与该主箱体的入口与出口的连线方向垂直；上述输送轮组可进一步包括复数个滑移块，该滑移块可移动但不可转动地分别设置于该二承架的滑移槽间，且位于靠该滑移槽的开口端的一侧，上述传动轮轴的两端分别枢设于该承架上且位于相对应的滑移槽中，上述调整轮轴的两端分别枢设于该滑移块；上述直立式基板湿制程浸泡装置可进一步包括二弹性推顶组件，该弹性推顶组件分别设于该承架的旁侧，每一弹性推顶组件包含至少一挡块、复数固定杆与复数推移杆，该挡块设于该承架的一侧，且对应该滑移槽的开口，该固定杆的两端分别与该挡块及承架相互固接，该推移杆的两端分别与该挡块及滑移块相互固接，每一推移杆上套设有一弹簧，弹簧的两端分别抵顶于该挡块以及该滑移块。上述输送轮组可进一步包括复数个输送轮，该输送轮可转动地间隔设置于靠近主箱体底部的承架上，并突伸至该传动轮轴与调整轮轴之间，该输送轮的轴向与该主箱体的入口与出口的连线方向以及该传动轮轴的轴向均呈相互垂直。上述输送轮组的每一输送轮上可环绕成型有一限位槽。本实用新型的直立式基板湿制程浸泡装置在使用时，于该二喷流组件之间注满化学药液，当一待加工的基板夹持于该传动轮轴与调整轮轴之间移动，从而进入该二喷流组件之间后，呈浸泡于化学药液中的状态，故可使该化学药液对该基板表面的各部位均勻地进行化学作用，其中，当该化学药液由该输液管注入该外、内侧板之间，再由该内侧板的喷流孔流入该二喷流组件之间时，会在各喷流孔处同时产生喷射状的水流，以进一步加强该化学药液对基板各部位加工的效果，而且不致使基板某些部位产生过蚀现象。
图1为本实用新型的侧视图。图2为本实用新型省略喷流组件的侧视示意图。图3为本实用新型的喷流组件的立体外观图。图4为本实用新型的喷流组件的另一立体外观图。图5为本实用新型放大的部分元件立体外观图。图6为本实用新型放大的上视部分元件剖面图。图7为本实用新型的端视部份元件剖面图。图8为本实用新型另一放大的上视部分元件剖面图, 主要元件符号说明
10主箱体 12出口 14承架 15集液槽 21驱动轴 22A、22B传动轮轴 222B输出齿轮 24A、24B调整轮轴 25输送轮 26马达 31挡块 33推移杆 40喷流组件 41外侧板 421喷流孔 44挡水板 50基板
11入口 13加工槽
141滑移槽 20输送轮组 211蜗杆部 221A、221B输入齿轮 23滑移块 241B传动齿轮 251限位槽 30弹性推顶组件 32固定杆 34弹簧 401分流空间 42内侧板 43输液管 45汲液装置
具体实施方式
以下配合图式及本实用新型的较佳实施例，进一步阐述本实用新型为达成预定实用新型目的所采取的技术手段。参见图1、2及5所示，本实用新型的直立式基板湿制程浸泡装置包括一主箱体10、 一输送轮组20、二弹性推顶组件30以及二喷流组件40，其中主箱体10的两相对侧分别形成一入口 11及一出口 12，该主箱体10的中段处设有一加工槽13，该加工槽13底侧设有一与该加工槽13相连通的集液槽15，该集液槽15用以盛装化学药液，另于该主箱体10上设有二承架14，该承架14横向架设于该主箱体10的入口 11与出12之间，且分别位于靠近该主箱体10的顶部及底部处，每一承架14上间隔穿设有复数个滑移槽141，该滑移槽141呈长槽状，并贯穿该承架14的一侧边而形成有一开口， 每一滑移槽141的长轴延伸方向与该主箱体10的入口 11与出口 12的连线方向垂直；输送轮组20架设于该主箱体10的二承架14上，该输送轮组20包括一驱动轴21、 复数个传动轮轴22A、22B、复数个滑移块23、复数个调整轮轴24A、24B以及复数个输送轮 25 ；该驱动轴21可转动地横向架设于该主箱体10的入口 11与出口 12之间，且位于其中一承架14的旁侧，该驱动轴21上间隔设有复数个蜗杆部211，该驱动轴21的一端连接一马达26，该马达26可带动该驱动轴21转动；配合参见图6及7所示，该传动轮轴22A、22B可转动地垂直架设于该二承架14 之间，且间隔排列设置于该主箱体10的入口 11与出口 12间，传动轮轴22A、22B的两端分别枢设于该二承架14上且位于相对应的滑移槽141中，又，每一传动轮轴22A、22B上靠近端部处套设有一输入齿轮221A、221B与一输出齿轮222B，各传动轮轴22A、22B的输入齿轮 221A、221B分别对应并与该驱动轴21的蜗杆部211啮合相接，使该驱动轴21可进一步带动该传动轮轴22A、22B转动；该滑移块23可移动但不可转动地分别设置于该二承架14的滑移槽141间，且位于靠该滑移槽141的开口端的一例；该调整轮轴24A、24B垂直架设于该二承架14之间，且间隔排列设置于该主箱体10 的入口 11与出口 12间，调整轮轴24A、24B的两端分别可转动地枢设于该滑移块23中，而可随该滑移块23 —同沿该滑移槽141移动，每一调整轮轴24A、24B对应一传动轮轴22A、 22B，又，每一调整轮轴24A、24B上靠近端部处设有一传动齿轮241B，各调整轮轴24A、24B的传动齿轮241B分别对应并与该传动轮轴22A、22B的输出齿轮222B啮合相接，使该传动轮轴22A、22B还可进一步带动该调整轮轴24A、24B转动；该输送轮25可转动地间隔设置于靠近主箱体10底部的承架14上，并突伸至该传动轮轴22A、22B与调整轮轴24A、24B之间，该输送轮25的轴向与该主箱体10的入口 11与出口 12的连线方向以及该传动轮轴22A、22B的轴向均呈相互垂直，每一输送轮25上环绕成型有一限位槽251 ；配合参见图6所示，弹性推顶组件30分别设于该承架14的旁侧，每一弹性推顶组件30包含至少一挡块31、复数固定杆32与复数推移杆33，该挡块31设于该承架14的一侧，且对应该滑移槽141的开口，该固定杆32的两端分别与该挡块31及承架14相互固接， 以固定该挡块31的位置，该推移杆33的一端穿设该挡块31，另一端分别与该滑移块23相互固接，又，每一推移杆33上套设有一弹簧34，弹簧34的两端分别抵顶于该挡块31以及该滑移块23，并经由该滑移块23推移该调整轮轴24A、24B，使该调整轮轴24A、24B可常态性地与相对应的传动轮轴22A、22B相互贴靠；配合参见图3、4及8所示，喷流组件40设于该主箱体10的加工槽13中，且分别位于该传动轮轴22B与调整轮轴24B的两侧，每一喷流组件40包含一外侧板41、一内侧板 42与二挡水板44，该外侧板41与内侧板42间隔设置，且该外侧板41与内侧板42之间在周缘处形成封闭，使该外、内侧板41、42相互结合，并于二者之间形成一分流空间401，又， 该外侧板41上设有至少一输液管43，该输液管43的一端与该分流空间401相连通，另一端经由一汲液装置45与该集液槽15相连通，该汲液装置45可抽取该集液槽15中的化学药液，再经由该输液管43注入该分流空间401的中，该内侧板42面对该传动轮轴22B与调整轮轴24B，该内侧板42上密布有复数个喷流孔421，该挡水板44具弹性，其分别沿纵向固设于该相结合之外、内侧板41、42的两侧，且分别贴靠于相对应的传动轮轴22B与调整轮轴 24B 上。藉由如上所述的设计，本实用新型的直立式基板湿制程浸泡装置在使用时，于该二喷流组件40之间注满化学药液，并藉该挡水板44以减少该化学药液泄漏，使该化学药液充满于该喷流组件40与挡水板44间以及该喷流组件40的分流空间401中，至于泄漏的化学药液则会向下流入并蓄积于该集液槽15的中；当一待加工的基板50由主箱体10的入口 11移动进入本实用新型的直立式基板湿制程浸泡装置中时，该基板50的底边设置于该输送轮25的限位槽251之间，随着马达26依序带动该驱动轴21、传动轮轴22A、22B与调整轮轴24A、24B转动，可带动该基板50稳定地朝主箱体10的出口 12方向移动，在移动的过程中，该基板50会依序推移各调整轮轴 24A、24B，同时藉该弹簧34的弹力而夹持于该传动轮轴22A、22B与调整轮轴24A、24B之间；当该基板50移动进入该二喷流组件40之间后，呈浸泡于化学药液中的状态，故可使该化学药液对该基板50表面的各部位均勻地进行化学作用，其中，当该化学药液由该输液管43注入该外、内侧板41、42之间的分流空间401，再由该内侧板42的喷流孔421流入该二喷流组件40之间时，会在各喷流孔421处同时产生喷射状的水流，以进一步加强该化学药液对基板50各部位加工的效果，而且还有不致使基板50某些部位产生过蚀现象的优点ο以上所述仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本实用新型，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案的范围内，当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。
权利要求1.一种直立式基板湿制程浸泡装置，其特征在于，包括一主箱体、一输送轮组以及二喷流组件，其中主箱体的两相对侧分别形成一入口及一出口，该主箱体的中段处设有一加工槽，该加工槽底侧设有一与该加工槽相连通的集液槽，另于该主箱体上设有二承架，该承架横向架设于该主箱体的入口与出口之间，且分别位于靠近该主箱体的顶部及底部处；输送轮组架设于该主箱体的二承架上，该输送轮组包括复数个传动轮轴以及复数个调整轮轴，该传动轮轴与调整轮轴可转动地垂直架设于该二承架之间，且间隔排列设置于该主箱体的入口与出口间，传动轮轴与调整轮轴的两端分别穿设于该二承架，且每一调整轮轴对应一传动轮轴；以及喷流组件设于该主箱体的加工槽中，且分别位于该传动轮轴与调整轮轴的两侧，每一喷流组件包含一外侧板、一内侧板与二挡水板，该外侧板与内侧板间隔设置，该外侧板与内侧板之间在周缘处形成封闭并相互结合，二者之间形成一分流空间，又，该外侧板上设有至少一输液管，该输液管的一端与该分流空间相连通，另一端经由一汲液装置与该集液槽相连通，该内侧板面对该传动轮轴与调整轮轴，该内侧板上密布有复数个喷流孔，该挡水板具弹性，其分别沿纵向固设于该相结合之外、内侧板的两侧，且分别贴靠于相对应的传动轮轴与调整轮轴上。
2.如权利要求1所述的直立式基板湿制程浸泡装置，其特征在于，前述输送轮组进一步包括一驱动轴，该驱动轴可转动地横向架设于该主箱体的入口与出口之间，且位于其中一承架的旁侧，该驱动轴上间隔设有复数个蜗杆部，该驱动轴的一端连接一马达，该马达可带动该驱动轴转动，前述每一传动轮轴上靠近端部处套设有一输入齿轮与一输出齿轮，各传动轮轴的输入齿轮分别对应并与该驱动轴的蜗杆部啮合相接，前述每一调整轮轴上靠近端部处设有一传动齿轮，各调整轮轴的传动齿轮分别对应并与该传动轮轴的输出齿轮啮合相接。
3.如权利要求1所述的直立式基板湿制程浸泡装置，其特征在于前述每一承架上间隔穿设有复数个滑移槽，该滑移槽贯穿该承架的一侧边而形成有一开口，每一滑移槽的长轴延伸方向与该主箱体的入口与出口的连线方向垂直；前述输送轮组进一步包括复数个滑移块，该滑移块可移动但不可转动地分别设置于该二承架的滑移槽间，且位于靠该滑移槽的开口端的一侧，前述传动轮轴的两端分别枢设于该承架上且位于相对应的滑移槽中，前述调整轮轴的两端分别枢设于该滑移块；该直立式基板湿制程浸泡装置进一步包括二弹性推顶组件，该弹性推顶组件分别设于该承架的旁侧，每一弹性推顶组件包含至少一挡块、复数固定杆与复数推移杆，该挡块设于该承架的一侧，且对应该滑移槽的开口，该固定杆的两端分别与该挡块及承架相互固接，该推移杆的两端分别与该挡块及滑移块相互固接，每一推移杆上套设有一弹簧，弹簧的两端分别抵顶于该挡块以及该滑移块。
4.如权利要求2所述的直立式基板湿制程浸泡装置，其特征在于前述每一承架上间隔穿设有复数个滑移槽，该滑移槽贯穿该承架的一侧边而形成有一开口，每一滑移槽的长轴延伸方向与该主箱体的入口与出口的连线方向垂直；前述输送轮组进一步包括复数个滑移块，该滑移块可移动但不可转动地分别设置于该二承架的滑移槽间，且位于靠该滑移槽的开口端的一侧，前述传动轮轴的两端分别枢设于该承架上且位于相对应的滑移槽中，前述调整轮轴的两端分别枢设于该滑移块；该直立式基板湿制程浸泡装置进一步包括二弹性推顶组件，该弹性推顶组件分别设于该承架的旁侧，每一弹性推顶组件包含至少一挡块、复数固定杆与复数推移杆，该挡块设于该承架的一侧，且对应该滑移槽的开口，该固定杆的两端分别与该挡块及承架相互固接，该推移杆的两端分别与该挡块及滑移块相互固接，每一推移杆上套设有一弹簧，弹簧的两端分别抵顶于该挡块以及该滑移块。
5.如权利要求1至4任一所述的直立式基板湿制程浸泡装置，其特征在于，前述输送轮组进一步包括复数个输送轮，该输送轮可转动地间隔设置于靠近主箱体底部的承架上，并突伸至该传动轮轴与调整轮轴之间，该输送轮的轴向与该主箱体的入口与出口的连线方向以及该传动轮轴的轴向均呈相互垂直。
6.如权利要求5所述的直立式基板湿制程浸泡装置，其特征在于，前述输送轮组的每一输送轮上环绕成型有一限位槽。
专利摘要本实用新型是一种直立式基板湿制程浸泡装置，其包括一主箱体，以及设于该主箱体中的一输送轮组以及二喷流组件，该二喷流组件之间注满化学药液，每一喷流组件具有相间隔设置且于周缘处形成封闭的一外侧板与一内侧板，该内侧板上密布有复数个喷流孔；该输送轮组夹持一待加工的基板移动进入该二喷流组件之间，使该基板浸泡于化学药液中均匀地进行化学作用，又，注入该外、内侧板之间的化学药液会在各喷流孔处产生喷射状的水流，以进一步加强该化学药液对基板各部位加工的效果，而且不致使基板某些部位产生过蚀现象。
文档编号H01L21/00GK202067777SQ20112005706
公开日2011年12月7日 申请日期2011年3月7日 优先权日2011年3月7日
发明者钟添达, 黄世达 申请人:扬博科技股份有限公司