专利名称：用于气相沉积的含钛前体的制作方法
技术领域：
公开了含钛前体、其合成方法及使用气相沉积方法使用所述含钛前体沉积含钛层的方法。
背景技术：
半导体行业所面对的严重挑战之一为开发用于DRAM和电容器的新栅极介电材料。数十年来，二氧化硅(SiO2)为可靠的电介质，但随着晶体管已持续缩小且技术已从“全 Si”晶体管发展至“金属栅极/高k”晶体管，基于SiA的栅极电介质的可靠性正达到其物理极限。随着用于当前技术的大小缩小，对新的高介电常数材料和方法的需求正日益增加且变得愈来愈关键。与传统介电材料相比，标准介电材料如TiO2或含有称作钛酸锶如SrTiO3或 Sr2TiO4或钛酸锶钡的碱土金属的新介电材料提供电容方面的显著优势。新的介电材料也为用于若干薄膜应用的有吸引力的候选者，如用于电子器件、抗反射光学涂层、生物相容涂层、光催化及太阳能电池的高介电常数材料。(H. A. Durand等人，Appl. Surf. Sci. 86,122(1995) ；C. -ff. Wang 等人，J. Appl. Phys. 91,9198 (2002) ；M. Keshmiri 等人， J. Non-Cryst. Solids 324,289(2003) ；Τ. houe 等人，Nature (伦敦)277，637 (1979) ；H. Kim 等人，Appl. Phys. Lett. 85，64 (2004))。此外，TiO2也为用于介电和铁电应用的若干重要多金属氧化物体系如钛酸锶 (STO)、钛酸锶钡(BST)和锆钛酸铅(PZT)的组分。(P. Alluri 等人，Integr. Ferroelectr.， 21,305(1998) ;J. F. kott 等人，Science 246,1400(1989))。然而，含钛层的沉积困难，且需要新的材料和方法。举例而言，原子层沉积ALD已被识别为用于微电子器件制造的重要薄膜生长技术，其依赖于由惰性气体净化分开的交替施加的前体的依序和饱和表面反应。常在该沉积方法中使用氧源如臭氧或水。ALD的表面控制性质藉由精确的厚度控制来实现具有高保形性和均勻性的薄膜的生长。在STO ALD沉积中，可用Sr前体显示出与O3的优良反应性和与水的可接受的反应性。然而，当在高温下沉积STO膜时，将臭氧用作氧化剂可具有对底层如TiN或氧化锶钌 (SRO)的不当结果。其可氧化TiN层或部分蚀刻来自SRO层的Ru。虽然已公开了 Ti化合物的原子层沉积(ALD)，但这些金属前体具有尤其与水分的差的反应性和低稳定性，从而常需要低的基底温度和强氧化剂以使常受碳或氮污染的膜生长。Air Liquide显示大多数标准均配Ti分子具有有限的ALD工艺温度窗或无沉积(R. Katamreddy, V. 0marjee、B· Feist、C· Dussarrat，ECSconference 2008)。举例而言，在水 ALD方法中，Ti分子四(异丙醇)钛(TTIP)、四(二甲氨基)钛(TDMAT)、四(二乙氨基) 钛(TDEAT)和四(乙基甲基氨基)钛(TEMAT)具有低于0. 6埃/循环的沉积速率和不超过 250°C的工艺窗。需要在较高工艺温度下具有较高热稳定性的新Ti前体。需要高温方法产生高质量TiO2 (经掺杂或未经掺杂)和具有非常高的介电常数(优选k>50)的STO膜。已报告， 需要具有致密和柱状多晶微结构和小的平均晶粒大小(30nm)的STO膜以获得具有高k值的低漏泄电流(C. S. Hwang, S. 0. Park, C. S. Kang, H. Cho，H. Kang, S. Τ. Ahn 和 Μ. Y. Lee，Jpn. J. App 1. Phys.，第 1 部分，34，5178 1995)。Zhang等人公开了 Ti (Cy-NC (NiPr2) N-Cy) 2 (OnBu) 2的意想不到的合成。《中国科学通报》(Chinese Science Bulletin) (2005), 50 (24), 2817-2820o Chen 等人公开了 Ti (OnBu)2(02CMe)2的合成。《化学学报》(2003)，61 (10)，1592-1596。未公开这些化合物的用途。美国专利申请公布第2005/277223号公开了使用具有式M(Ll)x(L2)y的含金属前体形成金属氧化物的ALD方法，其中M为金属，Ll和L2可为卤化物、二酮 (diketonate)、醇盐、氨基、烷氧基胺、脒盐(amidinate)或多齿配位基。然而，示例性前体仅为 Hf (OtBu)2 (NEtMe) 2、Hf (OtBu) 2 (NEt2) 2、Hf (NEt2) 2 (DMAMP) 2、Hf (NEtMe) 2 (DMAMP) 2、 Ti(OtBu)3Cl, Ti(OtBu) 3Me, Ti (OtBu) 2 (NEt2) 2、Ti (NEt2) 2 (DMAMP) 2、Ti(OtBu)2(DMAMP)2 禾口 TiCl2 (DMAMP) 2。正在搜寻结合Ti材料的其他来源和方法用于新生代的集成电路器件。需要新前体。
发明摘要公开了具有下式的分子Ti (R1-N-C (R3) -N-R2) u(OR4) x (NR5R6) y (O2CR7) z 式 I 或Ti (R1-N-(C(R3)2)m-N-R2) v(OR4)x (NR5R6)y (O2CR7) z 式 II其中■ R1^R2, R5、R6和R7独立地选自H和C1-C6烷基；■ R3 = H, C1-C6 烷基或；_R4*C1-C6 烷基；■ m = 2-4 ；■ u = 0-2 ；■ ν = 0-1 ；■ χ = 1-3 ；■ y = 0-2 ；■ ζ = 0-1 ；■在式 I 中，u+x+y+z = 4 ；■在式 II 中，2v+x+y+z = 4 ；且■^ I0
所公开的分子可进一步包括以下方面中一个或多个·该分子具有式I，其中u = 1，χ = 3，y = 0且ζ 二 0 ；·该分子选自Ti(IPr-N-C(Me)-N-IPr)1(OiPr)P Ti (IPr-N-C(Me)-N-IPr)1(OMe) 3> Ti (iPr-N-C(Me)-N-IPr)!(OEt) 3> Ti(iPr-N-C(Me)-N-iPr)1(OnPr)3>Ti(iPr-N-C(Me)-N-iPr)1(OsBu)3> Ti (iPr-N-C(Me)-N-iPr)!(OiBu) 3> Ti (iPr-N-C(Me)_N_iPr)!(OtBu) Ti (Et-N-C (Me) -N-Et) !(OEt)3^ Ti (Et-N-C (Me) -N-Et) ! (OMe) Ti (Et-N-C(Me) -N-Et) !(OnPr)3^ Ti (Et-N-C (Me) -N-Et) !(OsBu) Ti(Et-N-C(Me)-N-Et)1(OiBu)3^ Ti(Et-N-C(Me)-N-Et)1(OtBu)3 禾口 Ti (iPr-N-C (NMe2) -N-iPr) (OiPr) 3 ；·该分子具有式II，其中v = l，x = 2，y = 0且z = 0;·该分子选自Ti(IPr-N-(CH2)2-N-IPr)1(OiPr)U Ti (iPr-N- (CH2) 2-N-iPr)丄(OMe) 2、 Ti (iPr-N- (CH2) 2-N-iPr)丄(OEt) 2、 Ti (iPr-N- (CH2) 2-N-iPr) ！ (OnPr) 2、Ti (i Pr-N- (CH2) 2_N_iPr) ！ (OsBu) 2、 Ti (iPr-N- (CH2) 2-N-iPr) ！ (OiBu) 2、Ti (i Pr-N- (CH2) 2_N_iPr) ！ (OtBu) 2、 Ti(Et-N-(CH2)2-N-Et)1(OiPr)2^Ti(Et-N-(CH2)2-N-Et)1(OMe)2, Ti(Et-N-(CH2)2-N-Et)1(OEt)2^Ti(Et-N-(CH2)2-N-Et)1(OnPr)2, Ti(Et-N-(CH2)2-N-Et)1(OsBu)2^Ti(Et-N-(CH2)2-N-Et)1(OiBu)2, Ti (Et-N- (CH2) 2-N-Et) ！ (OtBu) Ti (iPr-N- (CH2) 3_N— iPr) 1 (OiPr) 2、 Ti (iPr-N- (CH2) 3-N-iPr)丄(OMe) 2、 Ti (iPr-N- (CH2) 3-N_iPr)丄(OEt) 2、 Ti (iPr-N- (CH2) 3-N-iPr) ！ (OnPr) 2、 Ti (iPr-N- (CH2) 3_N_iPr)丄(OsBu) 2、 Ti(iPr-N-(CH2) 3-N-iPr)!(OiBu) 2、 Ti(iPr-N-(CH2) 3"N-iPr)！(OtBu) 2、 Ti(Et-N-(CH2)3-N-Et)1(OiPr)2^Ti(Et-N-(CH2)3-N-Et)1(OMe)2, Ti(Et-N-(CH2)3-N-Et)1(OEt)2^Ti(Et-N-(CH2)3-N-Et)1(OnPr)2, Ti (Et-N-(CH2) 3-N-Et) ！ (OsBu)2^ Ti (Et-N-(CH2) 3_N t)丄(0 i B u) 2 禾 Π Ti (Et-N- (CH2) 3-N-Et) ！ (OtBu) 2 ；·该分子具有式I，其中U = 2，χ = 2，y = 0且z = 0;·该分子选自=Ti (iPr-N-C(H) -N-iPr)2 (OiPr)Ti (iPr-N-C(H) _N_iPr)2 (OMe)2、 Ti (iPr-N-C(H)-N-iPr)2(OEt) 2、Ti (iPr-N-C(H)-N-iPr)2(OnPr) 2、 Ti(iPr-N-C(H)_N-iPr)2(OsBu)2、Ti(iPr-N-C(H)-N-iPr)2(OiBu)2、 Ti (iPr-N-C (H) -N-iPr)2(OtBu)2、Ti (Et-N-C (H) -N-Et)2(OiPr)2、 Ti (Et-N-C (H) -N-Et) 2 (OMe)2, Ti (Et-N-C (H) -N-Et) 2 (OEt)2, Ti (Et-N-C (H) _N_Et) 2 (OnPr)2, Ti (Et-N-C (H) -N-Et) 2 (OsBu) 2、Ti (Et-N-C (H) -N-Et) 2 (OiBu) Ti (Et-N-C (H)-N-Et)2(OtBu)2^ Ti (iPr-N-C (Me)-N-iPr)2(OiPr)2, Ti (iPr-N-C (Me)-N-iPr)2(OMe) 2> Ti (iPr-N-C (Me)-N-iPr)2(OEt) Ti (iPr-N-C(Me)-N-iPr)2(OnPr) 2、 Ti (iPr-N-C(Me)-N-iPr)2(0sBu) 2、 Ti (iPr-N-C(Me)-N-iPr)2(OiBu) 2> Ti (iPr-N-C(Me)_N_iPr)2(OtBu) Ti (Et-N-C (Me) -N-Et) 2(OiPr) 2> Ti (Et-N-C(Me) -N-Et)2(OMe) Ti(Et-N-C(Me)-N-Et)2(OEt)2^Ti(Et-N-C(Me)-N-Et)2(OnPr)2.Ti (Et-N-C(Me)-N-Et)2(OsBu) 2、 Ti (Et-N-C(Me)-N-Et)2(OiBu)2 禾口 Ti (Et-N-C (Me) -N-Et) 2 (OtBu) 2 ；·该分子具有式I，其中u = l，x = 2，y = l且z = 0;·该分子选自Ti (iPr-N-C (Me) -N-iPr) (OiPr) 2 (We2)、Ti (iPr-N-C (Me) -N-iPr) (OiPr) 2 (NEt2) 、 Ti (iPr-N-C (Me) -N-iPr) (OiPr) 2 (NEtMe) 、 Ti (Et-N-C (Me) -N-Et) (OiPr) 2(NMe2) 、 Ti (Et-N-C (Me) -N-Et) (OiPr) 2 (NEt2) 、 Ti (Et-N-C (Me) -N-Et) (OiPr) 2 (NEtMe) 、 Ti (iPr-N-C (NMe2) -N-iPr) (OiPr) 2 (NMe2) 、 Ti (iPr-N-C (NMe2) -N-iPr) (OiPr) 2 (NEt2) 、 Ti (iPr-N-C (NMe2) -N-iPr) (OiPr) 2 (NEtMe) 、 Ti (iPr-N-C (Me) -N-iPr) (OiPr)2(NMeiPr) 、 Ti (iPr-N-C (Me)-N-iPr) (OiPr) 2 (NiPr2) 、 Ti (iPr-N-C (Me)-N-iPr) (OiPr)2(NMetBu) 、 Ti (iPr-N-C(Me)-N-iPr) (OiPr)2(NneοPeηty12), Ti(Et-N-C(Me)-N-Et) (OiPr)2(NMeiPr) 、 Ti(Et-N-C(Me)-N-Et) (OiPr)2(NiPr2)、 Ti (Et-N-C (Me) -N-Et) (OiPr) 2 (NneoPentyl2) , Ti (iPr-N-C (NMe2) -N-iPr) (OiPr) 2 (NMeiPr)、Ti (iPr-N-C (NMe2) -N-iPr) (OiPr) 2 (NiPr2)、Ti (iPr-N-C (NMe2) -N-iPr) (OiPr)2(NneoPentyl2)和 Ti (iPr-N-C (匪_N_iPr) (OiPr)2(NMeiPr)；·该分子具有式I，其中11 = 1，1 = 2，7 = 0且2 = 1; 该分子选自 Ti (iPr-N-C (Me) -N-iPr) (OiPr) 2 (O2CMe)和 Ti (Et-N-C (Me) -N-Et) (OiPr) 2 (O2CMe)； 该分子具有式II，其中ν = l，x=l，y = 0且z = l;·该分子选自Ti (iPr-N- (CH2) 2_N_iPr) (OiPr) (O2CMe)、Ti (iPr-N- (CH2) 2_N_iPr) (OMe) (O2CMe) 、 Ti (iPr-N-(CH2) 2-N-iPr) (OEt) (O2CMe) 、 Ti (iPr-N-(CH2) 2-N-iPr) (OnPr) (O2CMe) 、 Ti (iPr-N-(CH2) 2-N-iPr) (OsBu) (O2CMe) 、 Ti (iPr-N-(CH2) 2-N-iPr) (OiBu) (O2CMe) 、 Ti (iPr-N-(CH2) 2-N-iPr) (OtBu) (O2CMe) 、 Ti (Et-N-(CH2)2-N-Et) (OiPr) (O2CMe) 、 Ti (Et-N-(CH2)2-N-Et) (OMe) (O2CMe) 、 Ti (Et-N-(CH2)2-N-Et) (OEt) (O2CMe)、Ti (Et-N-(CH2)2-N-Et) (OnPr) (O2CMe)、Ti (Et-N-(CH2)2-N-Et) (OsBu) (O2CMe)、 Ti(Et-N-(CH2)2-N-Et) (OiBu) (O2CMe)和 Ti(Et-N-(CH2)2-N-Et) (OtBu) (O2CMe)； 该分子具有式I或式II，其中u、ν、y = 0，x = 2且ζ = 2 ；·该分子为 Ti (OiPr) 2 (O2CMe) 2 ； 该分子具有式I或式II，其中u、ν、y = 0，x = 3且ζ = 1 ；且·该分子为 Ti (OiPr) 3 (O2CMe)。也公开了在基底上形成含Ti层的方法。提供反应室，该反应室具有放置于其内的至少一个基底。将以上公开的分子中的至少一个的蒸气引入至该反应室内。使该蒸气与该基底接触以使用气相沉积方法在该基底的至少一个表面上形成含Ti层。所公开的方法可进一步包括以下方面中的一个或多个 将包括至少一种含金属前体的第二蒸气引入至该反应室内且使该第二蒸气与该基底接触以使用气相沉积方法在该基底的至少一个表面上形成含金属层，其中该含金属前体选自M(L)2和M(L)2. A，其中-M 为 Sr 或 Ba ；-L选自经取代的环戊二烯基配体体系R1R2R3R4R5Cp或β - 二酮配体体系-O-CIi6-CH-CR7-O-；
-R1至&中的每一个独立地选自H或C1-C6直链或支化烷基链；-R6和R7中的每一个独立地选自C1-C6直链或支化烷基链；且-A为选自四氢呋喃、二甲氧基乙烷、二甘醇二甲醚、三甘醇二甲醚和四甘醇二甲醚的含中性氧的分子；且·该含金属前体选自=Sr (iPr3Cp)2, Sr(iPr3Cp)2. thf, Sr(iPr3Cp)2. dme, Sr(tBu3Cp)2、Sr(tBu3Cp)2. thf、Sr(tBu3Cp)2. dme、Sr(thmd)2、Sr(thmd)2.三甘醇二甲醚、Sr (thmd) 2.四甘醇二甲醚、Sr (Me5Cp)2, Sr (Me4Cp)2, Sr (Me4EtCp)2, Sr (Me4nBuCp) 2、 Ba (iPr3Cp) 2> Ba (iPr3Cp) 2. thf > Ba (iPr3Cp) 2. dme、Ba(tBu3Cp)2、Ba (tBu3Cp) 2. thf > Ba (tBu3Cp) 2. dme、Ba (thmd) 2、Ba (thmd) 2.三甘醇二甲醚、Ba (thmd) 2.四甘醇二甲醚、 Ba (Me5Cp) 2、Ba (Me4Cp) 2、Ba (Me4EtCp) 2 禾口 Ba (Me4nBuCp) 2。也公开了沉积STO或BST膜的方法。提供ALD反应室，该ALD反应室具有放置于其内的至少一个基底。将以上公开的化合物中的至少一种用脉冲输送至该反应室中。将氧源用脉冲输送至该反应室中。将含金属前体用脉冲输送至该反应室中。该含金属前体选自 M(L)2 和 M(L)2. A，其中-M 为 Sr 或 Ba ；-L选自经取代的环戊二烯基配体体系R1R2R3R4R5Cp或β - 二酮配体体系-O-CIi6-CH-CR7-O-；-R1至&中的每一个独立地选自H或C1-C6直链或支化烷基链；-R6和R7中的每一个独立地选自C1-C6直链或支化烷基链；且-A为选自四氢呋喃、二甲氧基乙烷、二甘醇二甲醚、三甘醇二甲醚和四甘醇二甲醚的含中性氧的分子。将第二氧源用脉冲输送至该反应室中。通过改变用于该前体和该含金属前体的脉冲输送步骤的数目来控制在该STO或BST膜中的M Ti化学计量比。所公开的方法可进一步包括以下方面中的一个或多个·该含金属前体选自=Sr(iPr3Cp)2, Sr(iPr3Cp)2. thf, Sr(iPr3Cp)2. dme, Sr(tBu3Cp)2> Sr(tBu3Cp)2. thf> Sr(tBu3Cp)2. dme> Sr (thmd) 2> Sr (thmd) 2.三甘醇二甲醚、Sr (thmd) 2.四甘醇二甲醚、Sr (Me5Cp)2, Sr (Me4Cp)2, Sr (Me4EtCp)2, Sr (Me4nBuCp) 2、 Ba (iPr3Cp) 2> Ba (iPr3Cp) 2. thf > Ba (iPr3Cp) 2. dme、Ba(tBu3Cp)2、Ba (tBu3Cp) 2. thf > Ba (tBu3Cp) 2. dme、Ba (thmd) 2、Ba (thmd) 2.三甘醇二甲醚、Ba (thmd) 2.四甘醇二甲醚、 Ba (Me5Cp) 2、Ba (Me4Cp) 2、Ba (Me4EtCp) 2 禾口 Ba (Me4nBuCp) 2 ；且·该氧源和该第二氧源为水。记号和命名法贯穿以下说明书和权利要求书中使用某些缩写、符号和术语，包括缩写“ST0”指代钛酸锶；缩写“BST”指代钛酸锶钡；缩写“PZT”指代锆钛酸铅；缩写"Ii1-NC(R3)N-IV'指代以下化学结构
权利要求
1.具有下式的分子Ti (R1-N-C (R3) -N-R2) u (OR4) x (NR5R6) y (O2CR7) z 式 I 或 Ti (R1-N-(C(R3)2)m-N-R2) v(OR4)x (NR5R6)y (O2CR7) z 式 II 其中R1^ R2> R5> R6和R7独立地选自H和C1-C6烷基； R3 = H、C1-C6 烷基或 NMe2 ； R4为C1-C6烷基； m = 2-4 ； u = 0-2 ； v = 0-l； χ = 1-3 ； y = 0-2 ； z = 0-l；在式 I 中，u+x+y+z = 4 ； 在式 II 中，2v+x+y+z = 4 ；且 U、ν或ζ彡10
2.根据权利要求1的分子，所述分子具有式I，其中u= l，x = 3，y = 0且ζ = 0。
3.根据权利要求2的分子，其中所述分子选自=Ti(iPr-N-C (Me) -N-iPr) ！ (OiPr) 3> Ti (IPr-N-C(Me)-N-IPr)1(OMe) 3> Ti (iPr-N-C(Me)-N-IPr)!(OEt) 3> Ti (iPr-N-C(Me)-N-iPr)！(OnPr) 3> Ti (iPr-N-C(Me)-N-iPr)丄(OsBu) 3、 Ti (iPr-N-C(Me)-N-iPr)丄(OiBu) 3、 Ti (iPr-N-C(Me)-N-iPr)!(OtBu) Ti (Et-N-C(Me)-N-Et)1(OEt)3, Ti (Et-N-C(Me)-N-Et)1(OMe)3, Ti (Et-N-C(Me) -N-Et) !(OnPr) Ti (Et-N-C(Me) -N-Et) !(OsBu) Ti(Et-N-C(Me)-N-Et)1(OiBu)3, Ti(Et-N-C(Me)-N-Et)1(OtBu)3 禾口 Ti (iPr-N-C (NMe2) -N-iPr) (OiPr) 3。
4.根据权利要求1的分子，所述分子具有式II，其中ν= l，x = 2，y = 0且ζ = 0。
5.根据权利要求4的分子，其中所述分子选自=Ti(iPr-N- (CH2) 2-N-iPr) ！ (OiPr) Ti (iPr-N-(CH2) ^N-iPr)^OMe)2, Ti (iPr-N-(CH2) 2-N-iPr)! (OEt) Ti (iPr-N- (CH2) 2_N_iPr) ! (OnPr) 2、Ti (i Pr-N- (CH2) 2_N_iPr) ! (OsBu) 2、 Ti (iPr-N- (CH2) 2-N-iPr) ! (OiBu) 2、Ti (i Pr-N- (CH2) 2_N_iPr) ! (OtBu) 2、 Ti (Et-N -(CH2) 2-N-Et)! (OiPr)2, Ti (Et_N_ (CH2) 2_N_Et)i (OMe) 2、 Ti (Et-N-(CH2)2-N-Eth(OEt)2、Ti (Et-N-(CH2)2-N-Eth(OnPr)2、 Ti (Et-N -(CH2) 2-N-Et)! (OsBu)2, Ti (Et_N_ (CH2) ^N-Et)! (OiBu) 2、 Ti (Et-N -(CH2) 2-N-Et)! (OtBu)2, Ti (iPr-N-(CH2) 3-N-iPr)! (OiPr)2, Ti (iPr-N-(CH2) 3-N-iPr) OMe)2, Ti (iPr-N-(CH2) 3-N-iPr) ! (OEt)Ti (iPr-N- (CH2) 3_N_iPr) ! (OnPr) 2、Ti (i Pr-N- (CH2) 3_N_iPr) ! (OsBu) 2、 Ti (iPr-N- (CH2) 3-N-iPr)丄(OiBu) 2、 Ti (iPr-N- (CH2) 3-N-iPr) ! (OtBu) Ti (Et-N -(CH2) 3-N-Et)! (OiPr)2, Ti (Et_N_ (CH2) 3_N_Et)1 (OMe) 2、 Ti (Et-N -(CHN-Et)1 (OEt) 2、Ti (Et_N_ (CH2)「N-Et)! (OnPr) 2、Ti(Et-N-(CH2)3-N-Et)1(OsBu)2, Ti(Et-N-(CH2)3-N-Et)1(OiBu)2 禾口 Ti (Et-N- (CH2) 3-N-Et)丄(OtBu) 2。
6.根据权利要求1的分子，所述分子具有式I，其中u= 2，χ = 2，y = 0且ζ = 0。
7.根据权利要求6的分子，其中所述分子选自Ti(iPr-N-C (H) -N-iPr) 2 (OiPr) 2、 Ti (iPr-N-C (H) -N-iPr)2(OMe) Ti (iPr-N-C (H) -N-iPr)2(0Et)2, Ti (iPr-N-C(H)-N-iPr)2(OnPr) 2、Ti (iPr-N-C(H)-N-iPr)2(OsBu) 2、 Ti (iPr-N-C(H)-N-iPr)2(OiBu) 2、Ti (iPr-N-C(H)-N-iPr)2(OtBu) 2、 Ti (Et-N-C (H) -N-Et) 2 (OiPr) 2、Ti (Et_N_C (H) -N-Et) 2 (OMe)2, Ti (Et_N_C (H) -N-Et) 2 (OEt)2, Ti (Et-N-C(H)-N-Et)2(OnPr)2、Ti (Et-N-C(H)-N-Et)2(OsBu)2、 Ti (Et-N-C (H) -N-Et) 2 (OiBu) 2、Ti (Et-N-C(H)-N-Et)2(OtBu) 2、 Ti (iPr-N-C (Me)-N-iPr)2(OiPr)2, Ti (iPr-N-C(Me)-N-iPr)2(OMe)2, Ti (iPr-N-C (Me)-N-iPr)2(OEt) Ti (iPr-N-C(Me)-N-iPr)2(OnPr) Ti (iPr-N-C(Me)-N-iPr)2(OsBu) Ti (iPr-N-C(Me)-N-iPr)2(OiBu) Ti(iPr-N-C(Me)-N-iPr)2(OtBu)2, Ti(Et-N-C(Me)-N-Et)2(OiPr)2, Ti (Et-N-C(Me)-N-Et)2(OMe)2, Ti (Et-N-C(Me)-N-Et)2(OEt)2, Ti (Et-N-C(Me)-N-Et)2(OnPr)2, Ti (Et-N-C(Me)-N-Et)2(OsBu)2, Ti (Et-N-C (Me) -N-Et) 2 (OiBu) 2 和 Ti (Et-N-C (Me) -N-Et) 2 (OtBu) 2。
8.根据权利要求1的分子，所述分子具有式I，其中u= 1，χ = 2，y = 1且ζ = 0。
9.根据权利要求8的分子，其中所述分子选自Ti(ift-N_C(Me)-N-iPr) (OiPr) 2 (NMe2) 、 Ti (iPr-N-C (Me) -N-iPr) (OiPr) 2 (NEt2) 、 Ti (iPr-N-C (Me) -N-iPr) (OiPr) 2 (NEtMe) 、 Ti (Et-N-C (Me) -N-Et) (OiPr) 2 (NMe2) 、 Ti (Et-N-C (Me) -N-Et) (OiPr) 2 (NEt2) 、 Ti (Et-N-C (Me) -N-Et) (OiPr) 2 (NEtMe) 、 Ti (iPr-N-C (NMe2) -N-iPr) (OiPr) 2 (NMe2) 、 Ti (iPr-N-C (NMe2) -N-iPr) (OiPr) 2 (NEt2) 、 Ti (iPr-N-C (NMe2) -N-iPr) (OiPr) 2 (NEtMe) 、 Ti (iPr-N-C (Me) -N-iPr) (OiPr) 2 (NMeiPr) 、 Ti (iPr-N-C (Me) -N-iPr) (OiPr) 2 (NiPr2) 、 Ti (iPr-N-C (Me) -N-iPr) (OiPr) 2 (NMetBu) 、 Ti (iPr-N-C (Me) -N-iPr) (OiPr) 2 (NneoPentyl2) 、 Ti (Et-N-C (Me) -N-Et) (OiPr) 2 (NMeiPr) 、 Ti (Et-N-C (Me) -N-Et) (OiPr) 2 (NiPr2)、Ti (Et-N-C (Me) -N-Et) (OiPr) 2 (NneoPentyl2)、Ti (iPr-N-C (NMe2) -N-iPr) (OiPr) 2 (NMeiPr)、Ti (iPr-N-C (NMe2) -N-iPr) (OiPr) 2 (NiPr2)、Ti (iPr-N-C (NMe2) -N-iPr) (OiPr)2(NneoPentyl2)和 Ti (iPr-N-C (匪_N_iPr) (OiPr)2(WeiPr)。
10.根据权利要求1的分子，所述分子具有式I，其中u= 1，X = 2，y = O且Z = 1。
11.根据权利要求10的分子，其中所述分子选自Ti(iPr-N-C (Me)-N-iPr) (OiPr) 2 (O2CMe)和 Ti (Et-N-C (Me) -N-Et) (OiPr) 2 (O2CMe)。
12.根据权利要求1的分子，所述分子具有式II，其中ν= 1，χ = 1，y = O且ζ = 1。
13.根据权利要求12的分子，其中所述分子选自Ti(iPr-N-(CH2)2-N-IPr) (OiPr) (O2CMe) 、 Ti (iPr-N-(CH2) 2-N-iPr) (OMe) (O2CMe) 、 Ti (iPr-N-(CH2) 2-N-iPr) (OEt) (O2CMe) 、 Ti (iPr-N-(CH2) 2-N-iPr) (OnPr) (O2CMe) 、 Ti (iPr-N-(CH2) 2-N-iPr) (OsBu) (O2CMe) 、 Ti (iPr-N-(CH2) 2-N-iPr) (OiBu) (O2CMe) 、 Ti (iPr-N-(CH2) 2-N-iPr) (OtBu) (O2CMe) 、 Ti (Et-N-(CH2)2-N-Et) (OiPr) (O2CMe) 、 Ti (Et-N-(CH2)2-N-Et) (OMe) (O2CMe)、Ti (Et-N-(CH2)2-N-Et) (OEt) (O2CMe)、Ti (Et-N-(CH2)2-N-Et) (OnPr) (O2CMe)、Ti (Et-N-(CH2)2-N-Et) (OsBu) (O2CMe)、Ti (Et-N-(CH2)2-N-Et) (OiBu) (O2CMe)禾口 Ti (Et-N-(CH2)2-N-Et) (OtBu) (O2CMe)。
14.根据权利要求1的分子，所述分子具有式I或式II，其中u、v、y= 0，x = 2且ζ =20
15.根据权利要求14的分子，所述分子为TU0iPr)2(02CMe)2。
16.根据权利要求1的分子，所述分子具有式I或式II，其中u、v、y= 0，x = 3且ζ =Io
17.根据权利要求16的分子，所述分子为Ti(OiPr)3(O2CMe)。
18.—种在基底上形成含Ti层的方法，所述方法包括提供反应室，所述反应室具有放置于其中的至少一个基底；将包含至少一种前体的蒸气引入所述反应室中，所述至少一种前体具有下式Ti (R1-N-C (R3) -N-R2) u (OR4) x (NR5R6) y (O2CR7) z 式 I 或Ti (R1-N-(C(R3)2)m-N-R2) v(OR4)x (NR5R6)y (O2CR7) z 式 II其中R1^ R2> R5> R6和R7独立地选自H和C1-C6烷基； R3 = H、C1-C6 烷基或 NMe2 ； R4为C1-C6烷基； m = 2-4 ； u = 0-2 ； v = 0-l； χ = 1-3 ； y = 0-2 ； z = 0-l；在式 I 中，u+x+y+z = 4 ； 在式 II 中，2v+x+y+z = 4 ；且 U、ν或ζ彡1 ；使所述蒸气与所述基底接触以使用气相沉积方法在所述基底的至少一个表面上形成含Ti层。
19.根据权利要求18的方法，其中所述至少一种前体选自 Ti (iPr-N-C (Me)-N-IPr)! (OiPr) 3> Ti (iPr-N-C (Me)-N-iPr)^OMe)3> Ti (iPr-N-C (Me)-N-IPr)!(OEt) 3> Ti (iPr-N-C(Me)-N-IPr)!(OnPr) 3> Ti (iPr-N-C (Me)-N-iPr)!(OsBu) Ti (iPr-N-C(Me)-N-iPr)!(OiBu) Ti(IPr-N-C(Me)-N-IPr)1(OtBu)3^Ti(Et-N-C(Me)-N-Et)1(OEt)3, Ti (Et-N-C (Me) - N-Et) !(OMe) Ti (Et-N-C (Me) -N-Et) !(OnPr) Ti (Et-N-C(Me) -N-Et) !(OsBu) Ti (Et-N-C (Me) -N-Et) !(OiBu) Ti(Et-N-C(Me)-N-Et)1(OtBu)3, Ti (iPr-N-C (NMe2)-N-iPr) (OiPr)3、 Ti (iPr-N-(CH2) 2-N-iPr)!(OiPr) Ti (iPr-N-(CH2) 2-N-iPr)!(OMe) Ti (iPr-N- (CH2) 2_N_ i Pr) ! (OE t) 2、T i ( i P r-N- (CH2) 2_N_ i P r) ! (OnP r) 2、 Ti (iPr-N- (CH2) 2_N_iPr) ! (OsBu) 2、Ti (i Pr-N- (CH2) 2_N_iPr) ! (OiBu) 2、Ti (iPr-N -(CH2) 2-N-iPr)! (OtBu)2^ Ti (Et-N-(CH2) 2-N-Et)! (OiPr)2, Ti (Et-N-(CH2)2-N-Et)1(OMe)2, Ti (Et-N-(CH2)2-N-Et)1(OEt)2, Ti (Et-N-(CH2) 2-N-Et)! (OnPr) 2、Ti (Et_N_ (CH2) ^N-Et)! (OsBu) 2、 Ti (Et-N -(CH2) 2-N-Et)! (OiBu)2, Ti (Et_N_ (CH2) 2_N_Et)1 (OtBu) 2、 Ti (iPr-N-(CH2) 3-N-iPr)!(OiPr) Ti (iPr-N-(CH2) 3-N-iPr)!(OMe) Ti (iPr-N- (CH2) 3-N-iPr) ! (OEt) Ti (iPr-N- (CH2) 3-N-iPr) ! (OnPr) Ti (iPr-N- (CH2) 3_N_iPr) ! (OsBu) 2、Ti (i Pr-N- (CH2) 3_N_iPr) ！ (OiBu) Ti (iPr-N-(CH2) 3-N-iPr) !(OtBu)2^ Ti (Et-N-(CH2) 3-N-Et)! (OiPr)2, Ti (Et-N-(CH2)3-N-Et)1(OMe)2, Ti (Et-N-(CH2)3-N-Et)1(OEt)2, Ti (Et-N-(CHN-Et)1 (OnPr) 2、Ti (Et_N_ (CH2)「N-Et)! (OsBu) 2、 Ti (Et-N-(CHN-Et)1 (OiBu) 2、Ti (Et_N_ (CH2)「N-Et)! (OtBu) 2、 Ti(iPr-N-C(H)-N-iPr)2(OiPr)2,Ti(iPr-N-C(H)-N-iPr)2(OMe)2, Ti(iPr-N-C(H)-N-iPr)2(OEt)2, Ti(iPr-N-C(H)-N-iPr)2(OnPr)2, Ti (iPr-N-C (H)-N-iPr)2(OsBu)2, Ti (iPr-N-C (H)-N-iPr)2(OiBu)2, Ti (iPr-N-C (H) -N-iPr)2(OtBu)2、Ti (Et-N-C (H) -N-Et) 2(OiPr)2、 Ti (Et-N-C (H) -N-Et) 2 (OMe) 2、Ti (Et-N-C (H) -N-Et) 2 (OEt)2, Ti (Et-N-C (H) -N-Et) 2 (OnPr) 2、 Ti (Et-N-C(H)-N-Et)2(OsBu)2, Ti (Et-N-C(H)-N-Et)2(OiBu)2、 Ti (Et-N-C (H)-N-Et)2(0tBu)2. Ti (iPr-N-C (Me)-N-iPr)2(0iPr)2. Ti (iPr-N-C(Me)-N-iPr)2(OMe) Ti (iPr-N-C(Me)-N-iPr)2(OEt) Ti (iPr-N-C(Me)-N-iPr)2(OnPr) Ti (iPr-N-C(Me)-N-iPr)2(OsBu) Ti (iPr-N-C(Me)-N-iPr)2(OiBu) Ti (iPr-N-C(Me)-N-iPr)2(OtBu) Ti (Et-N-C(Me)-N-Et)2(OiPr)2, Ti (Et-N-C(Me)-N-Et)2(OMe)2, Ti (Et-N-C(Me)-N-Et)2(OEt)2, Ti (Et-N-C(Me)-N-Et)2(OnPr)2, Ti (Et-N-C (Me) -N-Et)2(0sBu)2, Ti (Et-N-C (Me) -N-Et)2(0iBu)2, Ti (Et-N-C (Me) -N-Et) 2 (OtBu) Ti (iPr-N-C (Me) -N-iPr) (OiPr)2(NMe2)、 Ti (iPr-N-C (Me) -N-iPr) (OiPr) 2 (NEt2) 、 Ti (iPr-N-C (Me) -N-iPr) (OiPr) 2 (NEtMe)、 Ti (Et-N-C(Me)-N-Et) (OiPr)2(NMe2) 、 Ti (Et-N-C(Me)-N-Et) (OiPr)2(NEt2)、 Ti (Et-N-C (Me) -N-Et) (OiPr) 2 (NEtMe) 、 Ti (iPr-N-C (NMe2) -N-iPr) (OiPr) 2 (NMe2)、 Ti (iPr-N-C (NMe2) -N-iPr) (OiPr) 2 (NEt2) 、 Ti (iPr-N-C (NMe2) -N-iPr) (OiPr) 2 (NEtMe)、 Ti (iPr-N-C (Me)-N-iPr) (OiPr) 2 (O2CMe)、 Ti (Et-N-C (Me)-N-Et) (OiPr)2 (O2CMe)、 Ti (iPr-N-(CH2) 2-N-iPr) (OiPr) (O2CMe) 、 Ti (iPr-N-(CH2) 2-N-iPr) (OMe) (O2CMe)、 Ti (iPr-N- (CH2) 2-N-iPr) (OEt) (O2CMe) 、 Ti (iPr-N- (CH2) 2-N-iPr) (OnPr) (O2CMe)、 Ti (iPr-N-(CH2) 2-N-iPr) (OsBu) (O2CMe) 、 Ti (iPr-N-(CH2) 2-N-iPr) (OiBu) (O2CMe)、 Ti (iPr-N- (CH2) 2-N-iPr) (OtBu) (O2CMe) 、 Ti (Et-N- (CH2) 2-N-Et) (OiPr) (O2CMe)、 Ti (Et-N-(CH2)2-N-Et) (OMe) (O2CMe) 、 Ti (Et-N-(CH2)2-N-Et) (OEt) (O2CMe)、 Ti (Et-N-(CH2)2-N-Et) (OnPr) (O2CMe) 、 Ti (Et-N- (CH2) 2-N-Et) (OsBu) (O2CMe)、 Ti (Et-N- (CH2) 2-N-Et) (OiBu) (O2CMe) 、 Ti (Et-N- (CH2) 2-N-Et) (OtBu) (O2CMe)、 Ti (OiPr) 2 (O2CMe) 2 和 Ti (OiPr) 3 (O2CMe)。
20.根据权利要求19的方法，其进一步包括将包含至少一种选自M(L) 2和M(L) 2. A的含金属前体的第二蒸气引入反应室中，其中 M为Sr或Ba ；L选自经取代的环戊二烯基配体体系R1R2R3R4R5Cp或β - 二酮配体体系-O-CIi6-CH-CR7-O-；R1至&中的每一个独立地选自H或C1-C6直链或支化烷基链； R6和R7中的每一个独立地选自C1-C6直链或支化烷基链；且A为选自四氢呋喃、二甲氧基乙烷、二甘醇二甲醚、三甘醇二甲醚和四甘醇二甲醚的含中性氧的分子；和使第二蒸气与基底接触以使用气相沉积方法在所述基底的至少一个表面上形成含金属层。
21.根据权利要求20的方法，其中所述含金属前体选自=Sr(iPr3Cp)2,Sr(iPr3Cp)2. thf > Sr (iPr3Cp) 2. dme、Sr(tBu3Cp)2、Sr (tBu3Cp) 2. thf > Sr (tBu3Cp) 2. dme、Sr (thmd) 2> Sr(thmd)2.三甘醇二甲醚、Sr (thmd) 2.四甘醇二甲醚、Sr (Me5Cp) 2、Sr (Me4Cp) 2、 Sr (Me4EtCp) 2、Sr (Me4nBuCp) 2、Ba (iPr3Cp) 2> Ba (iPr3Cp) 2. thf > Ba (iPr3Cp) 2. dme、 Ba(tBu3Cp)2、Ba(tBu3Cp)2. thf、Ba (tBu3Cp) 2. dme、Ba (thmd) 2、Ba (thmd) 2.三甘醇二甲醚、 Ba (thmd) 2·四甘醇二甲醚、Ba (Me5Cp) 2、Ba (Me4Cp) 2、Ba (Me4EtCp) 2 和 Ba (Me4nBuCp) 2
22.一种沉积STO或BST膜的方法，所述方法包括提供ALD反应室，所述ALD反应室具有放置于其中的至少一个基底； 将具有下式的前体用脉冲输送至所述反应室中 Ti (R1-N-C (R3) -N-R2) u (OR4) x (NR5R6) y (O2CR7) z 式 I 或 Ti (R1-N-(C(R3)2)m-N-R2) v(OR4)x (NR5R6)y (O2CR7) z 式 II 其中 R1^ R2> R5> R6和R7独立地选自H和C1-C6烷基； R3 = H、C1-C6 烷基或 NMe2 ； R4为C1-C6烷基； m = 2-4 ； u = 0-2 ； v = 0-l； χ = 1-3 ； y = 0-2 ； z = 0-l；在式 I 中，u+x+y+z = 4 ； 在式 II 中，2v+x+y+z = 4 ；且 U、ν或ζ彡1 ；禾口将氧源用脉冲输送至所述反应室中；将选自M(L)2和M(L)2. A的含金属前体用脉冲输送至所述反应室中，其中 M为Sr或Ba ；L选自经取代的环戊二烯基配体体系R1R2R3R4R5Cp或β - 二酮配体体系-O-CIi6-CH-CR7-O-；R1至&中的每一个独立地选自H或C1-C6直链或支化烷基链；R6和R7中的每一个独立地选自Cl-C6直链或支化烷基链；且A为选自四氢呋喃、二甲氧基乙烷、二甘醇二甲醚、三甘醇二甲醚和四甘醇二甲醚的含中性氧的分子；将第二氧源用脉冲输送至所述反应室中；和通过变化用于所述前体和所述含金属前体的所述脉冲输送步骤的数目来控制在所述 STO或BST膜中的M Ti化学计量比。
23.根据权利要求22的方法，其中所述前体选自=Ti (iPr-N-C (Me) -N-iPr) ！ (OiPr) 3> Ti (IPr-N-C(Me)-N-IPr)1(OMe) 3> Ti (iPr-N-C(Me)-N-IPr)!(OEt) 3> Ti (iPr-N-C(Me)-N-iPr)！(OnPr) 3> Ti (iPr-N-C(Me)-N-iPr)!(OsBu) 3> Ti (iPr-N-C(Me)-N-iPr)丄(OiBu) 3、 Ti (iPr-N-C(Me)-N-iPr)!(OtBu) 3> Ti (Et-N-C (Me) -N-Et) !(OEt)3, Ti (Et-N-C (Me) -N-Et) ! (OMe) 3> Ti(Et-N-C(Me)-N-Et)1(OnPr)3, Ti(Et-N-C(Me)-N-Et)1(OsBu)3^ Ti (Et-N-C (Me) 一N-Et)! (OiBu) 3、Ti (Et-N-C (Me) -N-Et)! (OtBu) 3、Ti (iPr-N-C (NMe2) -N-iPr) (OiPr) 3、 Ti (iPr-N-(CH2)2-N-iPr) !(OiPr)2, Ti (iPr-N- (CH2) 2-N-iPr)! (OMe) 2> Ti (iPr-N- (CH2) 2-N-i Pr) ! (OEt) Ti (iPr-N- (CH2) 2-N-iPr) ! (OnPr) 2> Ti (iPr-N- (CH2) 2-N-iPr) ! (OsBu) 2、Ti (i Pr-N- (CH2) 2_N_iPr) ! (OiBu) 2、 Ti (iPr-N-(CH2) ^N-iPr)! (OtBu)2, Ti (Et-N-(CH2) 2-N-Et) !(OiPr)2^ Ti (Et-N-(CH2)2-N-Et)1(OMe)2, Ti (Et-N- (CH2) 2-N-Et) ! (OEt) 2> Ti (Et-N -(CH2) ^N-Et)! (OnPr)2, Ti (Et-N -(CH2) ^N-Et)! (OsBu) 2> Ti (Et-N -(CH2) ^N-Et)! (OiBu)2, Ti (Et_N_ (CH2) [N-EiO1 (OtBu) 2、 Ti (iPr-N-(CH2) 3-N-iPr)!(OiPr) Ti (iPr-N-(CH2) 3-N-iPr)!(OMe) 2> Ti (iPr-N- (CH2) 3-N-iPr) ! (OEt) Ti (iPr-N- (CH2) 3-N-iPr) ! (OnPr) 2> Ti (iPr-N- (CH2) 3-N-iPr) ! (OsBu) 2、Ti (i Pr-N- (CH2) 3_N_iPr) ! (OiBu) 2、 Ti (iPr-N-(CH2) 3-N-iPr) !(OtBu)2, Ti (Et-N-(CH2) 3-N-Et) !(OiPr)2^ Ti (Et-N-(CH2)3-N-Et)1(OMe)2, Ti (Et_N_ (CH2) 3_N_Et)1 (OEt) 2、 Ti (Et-N -(CH2) 3-N-Et)! (OnPr)2, Ti (Et_N_ (CH2)「N-Eth (OsBu) 2、 Ti (Et-N -(CH2) 3-N-Et)! (OiBu)2, Ti (Et_N_ (CH2)「N-Eth (OtBu) 2、 Ti (iPr-N-C(H)-N-iPr)2(OiPr)2, Ti (iPr-N-C (H)-N-iPr)2(OMe) 2> Ti(iPr-N-C(H)-N-iPr)2(OEt)2> Ti(iPr-N-C(H)-N-iPr)2(OnPr)2> Ti(iPr-N-C(H)-N-iPr)2(OsBu)2、Ti(iPr-N-C(H)-N-iPr)2(OiBu)2、 Ti (iPr-N-C (H) -N-iPr)2(OtBu)2、Ti (Et-N-C (H) -N-Et) 2(OiPr)2、 Ti (Et-N-C (H) -N-Et) 2 (OMe) 2、Ti (Et-N-C (H) -N-Et) 2 (OEt)2, Ti (Et-N-C (H) -N-Et) 2 (OnPr) 2> Ti (Et-N-C (H) -N-Et) 2 (OsBu) 2、Ti (Et-N-C(H)-N-Et)2(OiBu) 2、 Ti (Et-N-C (H)-N-Et)2(OtBu)2^ Ti (iPr-N-C(Me)-N-iPr)2(OiPr) 2> Ti (iPr-N-C (Me)-N-iPr)2(OMe) Ti (iPr-N-C (Me)-N-iPr)2(OEt) 2> Ti (iPr-N-C(Me)-N-iPr)2(OnPr) 2,Ti(iPr-N-C(Me)-N-iPr)2(OsBu)2> Ti (iPr-N-C(Me)-N-iPr)2(OiBu) Ti (iPr-N-C(Me)-N-iPr)2(OtBu) 2> Ti (Et-N-C (Me) -N-Et) 2 (OiPr)2, Ti (Et-N-C(Me) -N-Et)2(OMe) 2> Ti(Et-N-C(Me)-N-Et)2(0Et)2. Ti(Et-N-C(Me)-N-Et)2(0nPr)2.Ti (Et-N-C (Me) -N-Et),(OsBu)2, Ti (Et-N-C (Me) -N-Et)2(0iBu)2> Ti (Et-N-C (Me) -N-Et) 2 (OtBu) Ti (iPr-N-C (Me) -N-iPr) (OiPr)2(NMe2)、 Ti (iPr-N-C (Me) -N-iPr) (OiPr) 2 (NEt2) 、 Ti (iPr-N-C (Me) -N-iPr) (OiPr) 2 (NEtMe)、 Ti (Et-N-C(Me)-N-Et) (OiPr)2(NMe2) 、 Ti (Et-N-C(Me)-N-Et) (OiPr)2(NEt2)、 Ti (Et-N-C (Me) -N-Et) (OiPr) 2 (NEtMe) 、 Ti (iPr-N-C (NMe2) -N-iPr) (OiPr) 2 (NMe2)、 Ti (iPr-N-C (NMe2) -N-iPr) (OiPr) 2 (NEt2)、Ti (iPr-N-C (NMe2) -N-iPr) (OiPr) 2 (NEtMe)、 Ti (iPr-N-C (Me)-N-iPr) (OiPr) 2 (O2CMe)、 Ti (Et-N-C (Me)-N-Et) (OiPr)2 (O2CMe)、 Ti (iPr-N-(CH2) 2-N-iPr) (OiPr) (O2CMe) 、 Ti (iPr-N-(CH2) 2-N-iPr) (OMe) (O2CMe)、 Ti (iPr-N- (CH2) 2-N-iPr) (OEt) (O2CMe) 、Ti (iPr-N- (CH2) 2-N-iPr) (OnPr) (O2CMe)、 Ti (iPr-N-(CH2) 2-N-iPr) (OsBu) (O2CMe) 、 Ti (iPr-N-(CH2) 2-N-iPr) (OiBu) (O2CMe)、 Ti (iPr-N- (CH2) 2_N_iPr) (OtBu) (O2CMe) 、 Ti (Et-N- (CH2) 2-N-Et) (OiPr) (O2CMe)、 Ti (Et-N-(CH2)2-N-Et) (OMe) (O2CMe) 、 Ti (Et-N-(CH2)2-N-Et) (OEt) (O2CMe)、 Ti (Et-N-(CH2)2-N-Et) (OnPr) (O2CMe) 、 Ti (Et-N-(CH2)2-N-Et) (OsBu) (O2CMe)、 Ti (Et-N-(CH2)2-N-Et) (OiBu) (O2CMe) 、 Ti (Et-N-(CH2)2-N-Et) (OtBu) (O2CMe)、 Ti (OiPr) 2 (O2CMe) 2 和 Ti (OiPr) 3 (O2CMe)。
24.根据权利要求22的方法，其中所述含金属前体选自Sr(Wr3Cp)2、Sr(Wr3Cp)2. thf > Sr (iPr3Cp) 2. dme、Sr(tBu3Cp)2、Sr (tBu3Cp) 2. thf > Sr (tBu3Cp) 2. dme、Sr (thmd) 2> Sr(thmd)2.三甘醇二甲醚、Sr (thmd) 2.四甘醇二甲醚、Sr (Me5Cp) 2、Sr (Me4Cp) 2、 Sr (Me4EtCp) 2、 Sr (Me4nBuCp) 2> Ba(iPr3Cp)2> Ba(iPr3Cp)2. thf、 Ba(iPr3Cp)2. dme、 Ba(tBu3Cp)2、Ba(tBu3Cp)2. thf、Ba (tBu3Cp) 2. dme、Ba (thmd) 2、Ba (thmd) 2.三甘醇二甲醚、 Ba (thmd) 2.四甘醇二甲醚、Ba (Me5Cp) 2、Ba (Me4Cp)2, Ba (Me4EtCp) 2 和 Ba (Me4nBuCp)20
25.根据权利要求22的方法，其中所述氧源和所述第二氧源为水。
全文摘要
公开了含钛前体及其合成方法。该化合物可用于使用气相沉积方法如化学气相沉积或原子层沉积来沉积含钛、氧化钛、氧化锶钛和钛酸锶钡的层。
文档编号H01L21/205GK102482771SQ201180003704
公开日2012年5月30日 申请日期2011年4月6日 优先权日2010年4月7日
发明者C·迪萨拉, V·R·帕里姆 申请人:乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司