专利名称：电子部件、导电性浆料以及电子部件的制造方法
技术领域：
本发明涉及具备电极配线的电子部件和用于该电极配线的形成的导电性浆料及其电子部件的制造方法。
背景技术：
在太阳能电池単元、等离子体显示器(rop)、液晶显示器(IXD)或陶瓷多层配线基板等电子部件上形成有电极配线。该电极配线使用导电性浆料而形成。导电性浆料可使用银(Ag)或铝(Al)作为金属粒子。电极配线是通过在大气中在高温对导电性浆料进行烧成而形成的，但导电性浆料除金属粒子之外还具有玻璃粒子，在导电性浆料的烧成时，通过加热至该玻璃粒子的软化点以上的温度，玻璃粒子软化流动，电极配线变得致密，并且牢固地粘接在基板上。
对以铝作为金属粒子的导电性浆料而言，提出有如下方法对所述方法而言，有时由于在铝的表面上所形成的氧化被膜而高电阻化，通过添加钒(V)或氧化钒(V2O5),改善金属粒子的烧结性，使电极配线低电阻化(參照专利文献I等)。另外，提出有ー种方法，所述方法通过添加碳(C)、锗(Ge)、锡(Sn)、氢化金属化合物及磷化金属化合物等来提高抗氧化性，而使低电阻化(參照专利文献2等)。
现有技术文献
专利文献
专利文献I:日本特开平7-73731号公报
专利文献2:日本特开平5-298917号公报发明内容
发明要解决的课题
对以铝作为金属粒子的导电性浆料而言，通过进行低电阻化并用于电子部件的电极配线，例如通过用于太阳能电池単元的电极配线，有助于太阳能电池单元(电子部件)的高性能化。
另ー方面，对太阳能电池单元等电子部件而言，寻求抑制经时性能劣化，长寿命化且获得高可靠性。作为其性能劣化，可以举出电极配线的性能劣化(高电阻化)。作为该原因，可知是由于大气中所含的水分与铝的氧化被膜反应，生成氢氧化铝。一般认为若以大气中所含的水分不会到达铝的氧化被膜的方式用致密的部件覆盖铝的金属粒子，则使耐水性(耐湿性)提高，可抑制电极配线的性能劣化。
因此，本发明的目的在于，提供具备耐水性高且高可靠性的电极配线的电子部件、导电性浆料及其电子部件的制造方法。
为了解决课题的手段
为了实现上述目的，本发明提供电子部件，其具备电极配线的电子部件，所述电极配线具有包含铝(Al)及/或含铝合金的多个粒子和将所述粒子固定在基板上的氧化物，其
全文摘要
本发明提供导电性浆料，其为包含铝及/或含铝合金的多个粒子(4)和包含氧化物而成的粉末分散在溶解于溶剂的粘合剂树脂中而成的导电性浆料，其中，所述氧化物具有玻璃相，且含有价数为4价以下的钒。在电子部件(1)的制造方法中，在基板(3)上涂布该导电性浆料并进行烧成而形成电极配线(2)。在所述电子部件(1)中，具备电极配线(2)，所述电极配线(2)具有包含铝(Al)及/或含铝合金的多个粒子(4)和将粒子(4)固定在基板(3)上的氧化物(5)，氧化物(5)含有价数为4价以下的钒(V)。在粒子(4)的表面上形成有包含钒和铝的化合物层(7)，化合物层(7)中所含的钒包含价数为4价以下的钒。由此，提供具备耐水性及耐湿性高且高可靠性的电极配线的电子部件(1)。
文档编号H01L31/0224GK102835192SQ201180010450
公开日2012年12月19日 申请日期2011年2月17日 优先权日2010年3月23日
发明者青柳拓也, 内藤孝, 桥场裕司, 吉村圭, 立薗信一 申请人:株式会社日立制作所, 日立化成工业株式会社