专利名称：最小化门挠曲的前开式晶圆容器的制作方法
技术领域：
例如计算机芯片等集成电路(IC)是由硅晶圆制成。该硅晶圆需要在其运输期间及在各制造过程步骤之间保持于极其干净且无污染的环境中。另外，用于运输和/或储存半导体晶圆的容器的所需或期望的特性包括轻量、刚性、洁净、有限的气体排放、以及划算的可制造性。当容器被封闭时，该容器提供晶圆的气密性或接近气密性的隔离。简而言之，此类容器需要保持晶圆洁净、无污染且不受损坏。塑料容器被用于在过程步骤之间运输及储存晶圆已达数十年之久。所选的聚合物材料提供充分的特性。此类容器具有严格受控的公差，以与处理设备以及用于运输该容器的设备/机器人交界。而且，较佳的是此种塑料容器中利用不使用例如螺栓等金属紧固件即可附装及移除的组件。金属紧固件当被插入和移除时会引起微粒的产生。在成本效益及改善的制造能力驱动下，制造半导体时所用的晶圆的尺寸在增大。如今，若干制造设施使用300毫米晶圆。随晶圆的尺寸增加和电路的密度增加，电路易受越来越小的微粒和其他污染物的影响。因此，随晶圆尺寸的增加，容器的尺寸也在增加；因晶圆更易受更小的微粒和其他污染物的影响，所以使晶圆保持洁净和无污染的要求已变得更加严格，进而使容器的尺寸增加。另外，载具需在剧烈的自动搬运中保持其性能，此种自动搬运包括由位于容器顶部的自动凸缘来提升载具。前开式晶圆容器已成为用于运输和储存大直径300毫米晶圆的行业标准。在此类晶圆容器中，前门可闩锁至容器部并封闭正面存取开口，晶圆通过该正面存取开口自动式地插入和移除。当容器装满晶圆时，该门被插入至该容器部的门框架中并闩锁至该门框架。当进行安放时，该门上的衬垫则提供向上、向下及向内的约束。
在制造用于容纳和/或运输较大晶圆的前开式塑料容器(例如300毫米容器)时所发现的问题是容器的顶部、底部、侧面、正面及背面上所用的塑料的广阔区域在容器被提起时可能会由于晶圆负载重量增加而弯曲，且前门和后侧可能会由于容器的前门和后侧上的晶圆衬垫之间的晶圆的保持而朝外弯曲。半导体行业如今正趋于使用更大的，450毫米直径的晶圆。直径更大的晶圆尽管提供成本效益，然而也会提供增大的易碎性、更大的重量、以及与搬运和储存该更大晶圆于塑料制成的容器中相关联的尚未发现的难题。与顶部、底部、侧面、正面及背面上的塑料的广阔区域相关联的弯曲和相应问题加剧。随着被处理晶圆在尺寸上的显著增大，较小尺寸的晶圆所不具有的新难题和问题随之出现。由于现有设备兼容性和成本压力，用于450毫米晶圆的许多标准，例如容器中晶圆的数目以及晶圆之间的间距等可能非常好地保持300毫米晶圆容器标准。并且当然，随着晶圆的直径增大，该晶圆会相应地变重。容纳与标准化300毫米容器中提供的晶圆相同数目的450毫米晶圆的晶圆容器预期具有大约40磅的重量。在此重量下，人工搬运开始变得更加困难。对较大容器使用类似厚度的聚合物壁可能无法使容器具有足够的结构刚度。SP，预期该容器会由于聚合物的较大尺寸和较大的广阔区域而在装载、转移及装运时在尺寸上较不稳定。加厚该壁并且添加显著的强化结构则会进一步增大450毫米晶圆容器的重量。此外，传统的300毫米晶圆容器通常是注塑成型的。预期将难以充分控制利用类似注塑成型方式及类似或更大壁厚度的较大容器的尺寸。目前，300毫米晶圆容器一般使用壳体作为主要结构构件来定位用于与晶圆和外部设备交界的组件，即晶圆支撑件及运动耦合机器界面。另外，随着密封地容纳门的开放正面的面积，开放的内部体积将显著增大。这表明该门与该容器部之间的密封问题更加难以解决。较大尺寸的晶圆还将具有明显更大的下垂程度并需要使用较小晶圆所不需要的独特支撑件，该更大的下垂程度会使晶圆在搬运及运输期间更易损坏。该更大的下垂程度使得在仍允许由机械手臂自动地放置和移除晶圆的同时难以维持晶圆间之间所期望的间距。因此，期望开发出用于450毫米晶圆容器的前开式配置，该前开式配置具有用于最小化晶圆下垂程度并最小化容器重量的设计属性。另外，提供改善的门密封特性的配置是所期望的。此外，在自动地搬运晶圆期间为了在晶圆容器中储存450毫米晶圆而提供增强的晶圆支撑件的配置是所期望的。
发明内容
一种适用于45 0毫米的前开式晶圆容器具有容器部和前门，该容器部具有一正面开口，所述前门封闭该正面开口。所述前门具有一对闩锁机构，可在所述门的左侧和右侧上从外部操作，各闩锁机构具有一对闩锁尖端，该对闩锁尖端可从所述门的顶部周边和底部周边延伸至位于门框架中的接收器中，所述门框架限定容器部的正面开口。晶圆衬垫支撑以相间堆积排列方式设置的水平晶圆的前缘。在本发明的一个实施方式中，所述晶圆衬垫具有一对垂直延伸的支撑条区域，具有弓形晶圆啮合部水平地延伸至这对垂直延伸的支撑条区域之间。所述弓形晶圆啮合部位于门的内表面上的垂直延伸的中心凹槽中。所述弓形晶圆哨合部与前门的内表面隔开。晶圆衬垫是在一对垂直延伸的加载接合部处的这对垂直延伸的支撑条部处紧固至门的内侧，在这对垂直延伸的加载接合部处，由于所述晶圆被压缩保持于晶圆衬垫与后部晶圆支撑件之间而形成的载荷从晶圆衬垫传递至前门。用于所述R锁机构的机械存取键开口(robotic access key opening)水平且向外地与垂直延伸的加载接合部隔开。各闩锁机构的所述闩锁尖端相对于所述机械存取键开口水平地偏置且所述闩锁尖端与所述垂直延伸的加载接合部沿一垂直线对齐。在此之前未认识到的问题是，与前门上的衬垫啮合的晶圆的重量可在Z方向上引起相当大的分力，进而导致容器在Z方向上畸变，此主要表现为门和后壁的朝外弯曲。因为载荷是从顶部晶圆处接近所述门的顶部边缘提供至底部晶圆处所述门的底部边缘和所述门的中心部分，因此当门在门框架上的接合点水平地位于中心受力区域外部时，所述力会使门弯曲。已发现，此力可引起门挠曲问题，这可影响门与门框架之间的密封完善性，在450毫米晶圆容器的情况下尤其如此。
本发明的实施方式的特征及优点在于，晶圆保持力直接传递至门而不会横侧地穿过门。本发明的实施方式的特征及优点在于，门闩锁与晶圆保持附件成一直线。这可使门的挠曲最小化。本发明另一优点及特征在于，因由晶圆引起的门的载荷从中心垂直区域向下延伸且所述载荷从水平基准面至下一水平基准面是基本均匀的，且因门至门框架的闩锁通常在门框架的顶部及底部部分处，所以在门中会使门围绕一水平(X方向)轴的任何弯曲最小化。因此，由移除与围绕一垂直(y方向)轴的任何弯曲相关的弯曲分力，可改善在更大直径的晶圆容器(尤其是450毫米容器)中的门至门框架的密封完善性和一致性。在本发明的一个实施方式中，在晶圆衬垫与前门结构之间的垂直延伸的晶圆承载接合部实质上垂直对齐于所述闩锁机构与门框架的啮合。在本发明的一个实施方式中，前门内表面上的中心凹槽具有至少两个深度位阶，该至少两个深度位阶中的最深者居中地位于该凹槽中。较浅者位于所述凹槽的边缘处并在门上具有晶圆衬垫的晶圆衬垫附件或晶圆承载位置。第二较浅深度位阶允许门机构位于门壳体中且位于门上的晶圆衬垫的所述晶圆附件位置或承载位置的正前方。此凹槽的压力，其普遍存在于300毫米晶圆容器中，且可能存在于许多450毫米容器的门中，这使门的特征与无中心凹槽的恒定厚度的门比较时更易受弯曲影响。本发明的另一实施方式关于一种前开式晶圆容器。该晶圆容器包含一容器部，该容器部具有一内部及一门框架，所述内部具有相对的多列搁架，该搁架的尺寸适于容纳450毫米晶圆，该450毫米晶圆位于容器的相对侧的内部中，所述门框架限定一正面开口。所述晶圆容器还包含一门，该门可操作地封闭所述容器部的正面开口。所述门包含一对闩锁机构，各闩锁机构可从外部操作且位于所述门的侧面，各闩锁机构具有一对闩锁尖端，这对闩锁尖端可从所述门的顶部周边和底部周边延伸至位于所述门框架中的接收器中。所述门还包含一晶圆衬垫，用于支撑以相间`堆积排列方式设置的水平晶圆的前缘，所述晶圆衬垫具有一对垂直延伸的支撑条部，一弓形晶圆啮合部水平地延伸至这对垂直延伸的支撑条部之间，所述弓形晶圆哨合部位于门内表面上的一垂直延伸的中心凹槽中，并与前门的内表面隔开，晶圆衬垫在一对垂直延伸的加载接合部处的这对垂直延伸的支撑条部处紧固至门的内侧，在这对垂直延伸的加载接合部处，因晶圆被压缩保持于晶圆衬垫与容器部后部的晶圆支撑件之间而形成的载荷从晶圆衬垫传递至前门。所述门还包含多个机械存取键开口，该机械存取键开口用于闩锁机构，并水平且向外地与垂直延伸的加载接合部隔开，各闩锁机构的闩锁尖端相对于机械存取键开口水平地偏置，且所述闩锁尖端与垂直延伸的加载接合部沿一垂直线对齐。所述晶圆可以为450毫米直径的晶圆。本发明的其他实施方式涉及一种尺寸适用于450毫米晶圆的晶圆容器，该晶圆容器包含一容器部、一前门和一晶圆衬垫，所述容器部具有一正面开口。所述前门的尺寸适于安装在所述正面开口中且配备有两个闩锁机构，该闩锁机构具有闩锁构件，所述闩锁构件适于可操作地从所述门的顶部周边和底部周边延伸。所述晶圆衬垫由前门支撑在与所述两个闩锁机构的闩锁构件垂直对齐的位置上。本发明的一个实施方式包含一种用于前开式晶圆容器的前门。该前门包含一具有闩锁机构的前门结构，所述闩锁机构适于从所述前门结构的顶部和底部周边可操作地延伸，以提供与前开式晶圆容器的门框架的闩锁机构啮合。所述前门还包含一晶圆衬垫，该晶圆衬垫具有位于所述晶圆衬垫与前门结构间的垂直延伸的晶圆承载接合部，所述垂直延伸的晶圆承载接合部实质上与所述闩锁机构啮合垂直对齐。本发明的进一步实施方式涉及一种用于前开式晶圆容器的前门。该前门包含一门壳体，该门壳体在前门的内表面上具有一中心凹槽，该凹槽具有至少两个深度位阶。所述至少两个深度位阶当中的第一较深深度位阶居中地位于所述凹槽中。所述至少两个深度位阶当中的第二较浅深度位阶位于所述凹槽的边缘处并在所述门上具有所述晶圆衬垫的一晶圆衬垫附件或晶圆承载位置。在本实施方式中，所述第二较浅深度位阶允许门机构位于所述门壳体中且位于所述前门上的所述晶圆衬垫的所述晶圆衬垫附件位置或承载位置的正前方。另一实施方式包含一种用于前开式晶圆容器的前门。该前门包含一门壳体、一晶圆衬垫、和多个晶圆闩锁凸片。在门壳体的内表面上的晶圆衬垫适于承载水平堆积的晶圆。所述多个晶圆闩锁凸片与门壳体的内表面上的晶圆衬垫的部分垂直对齐，用于承载啮合晶圆而形成的载荷。其他实施 方式包含一种在前开式晶圆容器中最小化门挠曲的方法。这种方法包括:提供一晶圆容器；提供一用于所述晶圆容器的前门，该前门具有一组向内设置的晶圆支撑衬垫，所述晶圆支撑衬垫由所述门通过垂直支撑构件支撑；以及从与所述支撑构件垂直对齐的位置配置一组闩锁机构，以将所述前门固定于所述晶圆容器内。
图1为根据本发明的前开式晶圆容器的透视图。图2为根据本发明的前门的内表面的透视图。图3为根据本发明的前门的另一内表面的透视图。图4为根据本发明的前门的另一内表面的透视图。图5为一容器部上的前门的剖视图，其阐明了晶圆衬垫与闩锁尖端的定位。
具体实施例方式参照附图，图中阐明了一前开式晶圆容器20，前开式晶圆容器20大体包含一容器部22，容器部22具有一顶壁23、一对侧壁24、25、一后壁26、一门框架28、以及一前门30，所述门框架28限定一正面开口 29，所述前门30用以封闭该正面开口。所述门具有一对钥匙孔36、38，供用于进入位于门壳体44内部的闩锁机构42。这种闩锁机构通常可通常如在美国专利号4，995,430,7, 182，203、或7，168，587中所述进行配置，所述美国专利都为本申请案的所有人拥有并以引用的方式并入本文中。所述门具有一外表面50、一周边54及一内表面56。狭槽60位于周边上且允许闩锁凸片64或尖端从所述门延伸或缩回以啮合或脱离在门框架内表面上的凹槽70。一密封件或垫圈72沿所述门的周边并与门框架啮合，以在闩锁被致动时密封地封闭所述门。包含多个晶圆啮合部76的晶圆衬垫74位于一凹槽80中的前门的内表面上，凹槽80从门的顶部延伸至门的底部且相对于门的左侧及右侧而居中地设置。容器部22在容器部的内侧处具有搁架84形式的晶圆支撑件，且在后部还具有支撑件86，支撑件86可被配置成具有V形(旋转90度)槽的衬垫或刚性支撑件，所述V形槽用于啮合晶圆的后缘。当将门安装并闩锁于适当的位置时，晶圆可被提升。这可被采用于450毫米领域中。所述晶圆提升动作阐明于美国专利号6，267，245中，该美国专利为本发明的所有人拥有并以引用的方式并入本文中。晶圆被压缩于门的内表面上的晶圆衬垫与容器部后部处的晶圆支撑件之间。如图2、图3、图4及图5所最佳地显示，晶圆闩锁尖端或凸片64与前门的内表面上的晶圆衬垫的部分垂直对齐，所述晶圆衬垫承载因啮合所述晶圆所产生的载荷，即将晶圆压缩于所述前部衬垫与所述后部晶圆支撑件之间。所述对齐可阻止将一弯曲力矩传递至所述门，所述弯曲力矩，尤其在与450毫米晶圆相关联的广阔的区域，可造成门的密封问题以及当容器封闭时维持对晶圆的牢固约束的问题。在前面以引用的方式并入本文中的美国专利号7，182，203中，阐明了一闩锁机构，该闩锁机构提供闩锁尖端相对于钥匙孔或传统上用于驱动此种闩锁机构的旋转轮的中心的偏置。在图2至图5中的每一图中，都可在位置88处看到门闩锁与晶圆保持附件在围绕前门30的顶部及底部周边的位置处直线对齐。图5显示包含一 450毫米晶圆99的设置的剖视图。如图5所示，由晶圆衬垫74施加的晶圆保持力(F)直接传递至闩锁64。在此种设置中，几乎没有或根本没有会使门朝外弯曲的弯曲力矩可被施加至门30上。因此，当晶圆保持力不相对于闩锁64偏置时，挠曲被最小化。参照图2至图5将可更佳地理解晶圆衬垫74的垂直延伸的支撑条部90和弓形晶圆啮合部92的设置。此外，图5的横截面中还显示垂直延伸的支撑条部90固定于这对垂直延伸的加载接合部94处。图3进一步显示额外的次级闩锁结构98。次级闩锁98可进一步包含在前门30的周边的顶部及底部的拐角附近。这些次级闩锁结构98可类似于闩锁凸片64的操作而朝外延伸，且可相应地使门30的拐角进一步紧固至容器22。对于贯穿本申请所讨论的各种实施方式，各种晶圆容器组件一般可由通常用于半导体晶圆的聚合物注塑成型。例如，聚碳酸酯、含氟聚合物、聚醚醚酮。应当理解的是，·所述示例性实施方式仅为实例，而非旨在以任何方式限定本发明的范围、适用性或配置。而是，以上详细说明将提供本领域技术人员使其能够实施所述示例性实施方式的公开。应当理解的是，可在不背离本发明的附加权利要求及其合法等价范围的条件下对功能及组件配置方面作出各种改动。上述实施方式旨在作为例示性而非限定性实施方式。附加的实施方式处于权利要求内。尽管参照具体实施方式
来阐述本发明，然而本领域技术人员应了解，可在不背离本发明之精神和范围的条件下作出形式及细节上的改动。本领域技术人员在阅读本公开内容后，本发明的各种修改方式将显而易见。例如，相关技术领域的一般技术人员将认识到，针对本发明的不同实施例所述的各种特征可在本发明的精神范围内适当组合、不组合、以及与其他特征重新组合、单独、或以不同组合形式进行组合。同样地，上述各种特征应被视为实例性实施方式，而非对本发明的范围和精神的限定。因此，上述内容并非旨在限制本发明的范围。
权利要求
1.一种前开式晶圆容器,包含: 一容器部，其具有一内部和一门框架，所述内部具有相对的多列搁架，该搁架的尺寸适于容纳450毫米的晶圆，该450毫米的晶圆位于所述容器的相对侧的内部中，所述门框架限定一正面开口 ；以及 一门，可操作地封闭所述容器部的正面开口，所述门包含:一对闩锁机构，可从外部操作且位于所述门的侧面，各闩锁机构具有一对闩锁尖端，这对闩锁尖端可从所述门的顶部周边和底部周边延伸至位于所述门中的接收器中； 一晶圆衬垫，用于支撑以相间堆积排列方式设置的水平晶圆的前缘，具有一对垂直延伸的支撑条部，一弓形晶圆啮合部水平地延伸至该对垂直延伸的支撑条部之间，所述弓形晶圆啮合部位于所述门的内表面上的一垂直延伸的中心凹槽中，并与所述前门的内表面隔开，所述晶圆衬垫在一对垂直延伸的加载接合部处的这对垂直延伸的支撑条部处紧固至所述门的内侧，在这对垂直延伸的加载接合部处，因晶圆被压缩保持于所述晶圆衬垫与所述容器部后部的晶圆支撑件之间而形成的载荷从所述晶圆衬垫传递至所述前门， 多个机械存取键开口，用 于所述闩锁结构，水平且向外地与所述垂直延伸的加载接合部隔开，各闩锁机构的所述闩锁尖端相对于所述机械存取键开口水平地偏置，且所述闩锁尖端与所述垂直延伸的加载接合部沿一垂直线对齐。
2.如权利要求1所述的前开式晶圆容器，其中，所述容器包含聚碳酸酯。
3.如权利要求1所述的前开式晶圆容器，其中，所述容器包含含氟聚合物。
4.如权利要求1所述的前开式晶圆容器，其中，所述容器包含聚醚醚酮。
5.如权利要求1所述的前开式晶圆容器，其中，使用一次级闩锁以进一步紧固所述门的拐角至所述晶圆容器。
6.一种晶圆容器，包含: 一容器部，其尺寸适用于具有正面开口的450毫米的晶圆； 一前门，其尺寸适于在所述正面开口中安装且配备有两个闩锁机构，所述闩锁机构具有闩锁构件，适于可操作地从所述门的顶部周边及底部周边延伸；以及 一晶圆衬垫，由所述前门支撑于与所述两个闩锁机构的闩锁构件垂直对齐的位置上。
7.如权利要求6所述的晶圆容器，其中，所述晶圆衬垫包含一对垂直延伸的支撑条部，一弓形晶圆啮合部延伸于这对垂直延伸的支撑条部之间。
8.如权利要求7所述的晶圆容器，其中，所述弓形晶圆啮合部位于所述前门的内表面上的一垂直延伸的中心凹槽中。
9.如权利要求7所述的晶圆容器，其中，所述晶圆衬垫在一对垂直延伸的加载接合部处的这对垂直延伸的支撑条部处紧固至所述门的内侧。
10.如权利要求6所述的晶圆容器，其中，所述前门包含多个用于操作所述两个闩锁机构的机械键开口。
11.如权利要求6所述的晶圆容器，其中，所述晶圆容器由以下其中之一或多者制成:聚碳酸酯、含氟聚合物、及聚醚醚酮。
12.如权利要求6所述的晶圆容器，其中，使用一次级闩锁以进一步紧固所述门的拐角至所述晶圆容器。
13.一种用于前开式晶圆容器的前门，包含:一前门结构，具有闩锁机构，所述闩锁机构适于从所述前门结构的顶部及底部周边可操作地延伸以提供与前开式晶圆容器的所述门框架的闩锁机构啮合；以及 一晶圆衬垫，具有位于所述晶圆衬垫与前门结构之间的垂直延伸的晶圆承载接合部，所述垂直延伸的晶圆承载接合部实质上与所述闩锁机构啮合垂直对齐。
14.如权利要求13所述的前门，其中，所述晶圆衬垫包含一对垂直延伸的支撑条部，一弓形晶圆啮合部延伸于这对垂直延伸的支撑条部之间。
15.如权利要求14所述的前门，其中，所述晶圆衬垫在所述垂直延伸的晶圆承载接合部处的这对垂直延伸的支撑条部处紧固至所述门的内侧。
16.如权利要求15所述的前门，其中，所述弓形晶圆啮合部位于所述前门的内表面上的一垂直延伸的中心凹槽中。
17.如权利要求13所述的前门，其中，所述前门包含多个用于操作所述闩锁机构的机械键开口。
18.如权利要求13所述的前门，其中，使用一次级闩锁以进一步紧固所述门的拐角至所述晶圆容器。
19.一种用于前开式晶圆容器的前门，包含: 一门壳体，具有在所述前门的内表面上的一中心凹槽，所述凹槽具有至少两个深度位阶，所述至少两个深度位阶包含: 所述至少两个深度位阶当中的第一较深深度位阶，居中地位于所述凹槽中；以及 所述至少两个深度位阶当 中的第二较浅深度位阶，位于所述凹槽的一边缘处并在所述门上具有一晶圆衬垫的一晶圆衬垫附件或一晶圆承载位置，其中所述第二较浅深度位阶允许门机构位于所述门壳体中且位于所述前门上的所述晶圆衬垫的所述晶圆衬垫附件位置或所述承载位置的正前方。
20.一种用于前开式晶圆容器的前门，包含: 一门壳体； 一晶圆衬垫，位于所述门壳体的内表面上，用于承载水平堆积的晶圆；以及 多个晶圆闩锁凸片，与所述门壳体的所述内表面上的所述晶圆衬垫的部分垂直对齐，用于承载啮合所述晶圆而形成的载荷。
21.如权利要求20所述的前门，其中，所述晶圆衬垫包含一对垂直延伸的支撑条部，一弓形晶圆啮合部延伸于这对垂直延伸的支撑条部之间。
22.如权利要求21所述的前门，其中，所述晶圆衬垫于所述垂直延伸的晶圆承载接合部处的这对垂直延伸的支撑条部处紧固至所述前门的内侧。
23.如权利要求22所述的前门，其中，所述弓形晶圆啮合部位于所述门壳体的内表面上的一垂直延伸的中心凹槽中。
24.如权利要求20所述的前门，其中，所述前门由以下其中之一或多者制成:聚碳酸酯、含氟聚合物、及聚醚醚酮。
25.一种在前开式晶圆容器中最小化门挠曲的方法，包含: 提供一晶圆容器； 提供一用于所述晶圆容器的前门，所述前门具有一组向内设置的晶圆支撑衬垫，所述晶圆支撑衬垫由所述门通过垂直支撑构件支撑；以及从与所 述支撑构件垂直对齐的位置配置一组闩锁机构，以将所述前门固定于所述晶圆容器内。
全文摘要
一种使用适用于450毫米直径的晶圆的前开式晶圆容器。前门具有一对闩锁机构，从外部可操作且位于门的侧面，各闩锁机构具有一对闩锁尖端，闩锁尖端从门的顶部及底部周边延伸至位于容器部的正面开口的门框架中的接收器中。门包含用于支撑水平堆积的晶圆的晶圆衬垫。衬垫具有垂直延伸的支撑条部，在垂直延伸的支撑条部之间具有弓形晶圆啮合部。弓形晶圆啮合部位于门的内表面上的垂直延伸的中心凹槽中。晶圆衬垫在一对垂直延伸的加载接合部处垂直延伸的支撑条部处紧固至门的内侧。各闩锁机构的闩锁尖端与垂直延伸的加载接合部垂直对齐。
文档编号H01L21/673GK103250237SQ201180051027
公开日2013年8月14日 申请日期2011年10月19日 优先权日2010年10月20日
发明者马修·A·富勒 申请人:恩特格里公司