专利名称：一种承载台的制作方法
技术领域：
本发明涉及集成电路制造领域，特别涉及一种承载台(Cassette IndexPlatform)。
背景技术：
在集成电路制造过程中，一片晶圆 需要经过很多的工序才能够完成，通常，业内在一个具有卡匣(cassette)的晶圆盒(pod)内存放25片,在加工时则用机械手臂取出相应的晶圆。然而上述设计不可避免的存在一个潜在危险，那就是由于机械手臂不具有自主判断能力，只能机械的执行命令，则当cassette移位，如cassette本身在pod内的位置不正确，或由于设备承载cassette的承载台位置异常时，就会发生诸如撞片，叠片等异常现象，如此会造成当前片受损，并很有可能对整批25片都产生影响，形成很恶劣的缺陷(defect),导致整批报废。AMAT公司研发的用于刻蚀工艺的APPLIED Centura II设备同样具有承载台，请参考图I和图2，其具体结构为包括支撑台1，所述支撑台I上具有3个有螺孔的突起11、12、13 ;定位装置2，所述定位装置2具有多个通孔5，螺栓31、32、33与突起11、12、13——对应并通过通孔5与突起内的螺孔拧合在一起，使得支撑台I与定位装置2连接；支撑台I和定位装置2之间有弹簧4，所述弹簧嵌套在突起11、12、13和螺栓31、32、33上。该承载台能够对cassette进行定位,从而有利于机械手臂伸到cassette中取/送晶圆。事实证明，该结构不稳定性差，随着过货的累积，不断的重量冲击使得螺栓松动，从而导致定位装置2发生移动，则置于其上的cassette也会随之产生倾斜等位置问题，在此情况下，机械手臂的运动就会导致诸如撞片等事情发生，产生极大的不良影响。且在上述情况发生后，需要对3个螺栓重新定位，重新获取所需要的位置，这也需要耗费较多的时间和人力物力投入，不利于高效生产。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种承载台，以改进现有结构中定位装置稳定性差的问题。为解决上述技术问题，本发明提供一种承载台，包括支撑台，所述支撑台上具有多个有第一固定孔的突起；定位装置，用于晶圆传输时的定位，所述定位装置具有多个通孔；固定件，所述固定件通过所述通孔与所述第一固定孔，将所述定位装置与所述支撑台连接；紧固件，所述紧固件用于锁定固定件。可选的，对于所述的承载台，所述固定件为螺栓。可选的，对于所述的承载台，所述第一固定孔内侧具有螺纹。
可选的，对于所述的承载台，所述螺栓穿过所述通孔与所述第一固定孔相拧合。可选的，对于所述的承载台，所述紧固件为螺帽。可选的，对于所述的承载台，所述螺帽拧于所述螺栓上并紧靠所述突起。可选的，对于所述的承载台，所述紧固件为螺栓。可选的，对于所述的承载台，所述定位装置还具有多个侧孔和第二固定孔。可选的，对于所述的承载台，所述第二固定孔具有螺纹。可选的，对于所述的承载台，所述侧孔和第二固定孔共轴线且所述轴线通过所述通孔。可选的，对于所述的承载台，所述固定件顶部具有连接孔。·可选的，对于所述的承载台，所述紧固件穿过侧孔和连接孔与第二固定孔相固定。可选的，对于所述的承载台，所述第一固定孔与通孔一一对应。可选的，对于所述的承载台，还包括多个缓冲装置，所述缓冲装置嵌套在所述突起上。可选的，对于所述的承载台，所述缓冲装置的高度大于所述突起的高度。可选的，对于所述的承载台，所述定位装置置于所述缓冲装置上。可选的，对于所述的承载台，所述缓冲装置为弹簧。本发明提供的承载台中，通过使用紧固件，使得固定件处于比较牢固的状态，或者将固定件和定位装置固定在一起，避免了现有技术中由于过货较多而导致固定件松动，从而导致定位装置位置发生变化，进而使得晶圆受损的问题，同时固定件的采用能够防范于未然，也不会浪费人力物力，极大的提高了生产效率。
图I为现有技术的承载台的主视图；图2为现有技术的承载台的俯视图；图3为本发明实施例一的承载台的主视图；图4为本发明实施例一的承载台的俯视5为本发明实施例二的承载台的主视图；图6为本发明实施例二的承载台的俯视图；图7为图6中a部分的分解透视图。
具体实施例方式以下结合附图和具体实施例对本发明承载台作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。实施例一请参考图3和图4，一种承载台，包括支撑台10，所述支撑台10上具有多个有第一固定孔的突起，在此为3个，分别为第一突起101、第二突起102和第三突起103 ;定位装置20，用于所述晶圆传输时的定位，所述定位装置20具有多个通孔50，其可以为如图中所示的倒凸字型结构，所述第一固定孔与通孔50 —一对应，具体的，所述定位装置20的形状为一边是弧形，其余几边则在连接处相互垂直，如图3中b-b处实际为图4中所示的垂直关系，也可以考虑实际情况而进行适应性的改动，如将远离弧形的3个直角切掉(如图中虚线所示)。3个通孔50靠近定位装置20的两条长边，其连线呈直角三角形。固定件，所述固定件通过所述通孔50与突起的第一固定孔固定在一起，优选为采用物理固定，所述定位装置20通过固定件与所述支撑台10连接；故在此固定件为第一固定件301、第二固定件302和第三固定件303 ;所述固定件在此可以为螺栓，突起内的第一固定孔则具有螺纹，其也可以为其他如卡槽拧合式的固定件。缓冲装置40，所示缓冲装置40为多个，具体数量对应于突起的数量，所述缓冲装置40嵌套所述突起和固定件，优选的，所述缓冲装置40的长度大于所述突起的长度，从而在固定件与突起拧合后能够发挥作用，顶起置于缓冲装置40上的定位装置20。在本实施例中，所述缓冲装置40可以为弹簧。
紧固件60，所述紧固件60用于锁定固定件。在本实施例中，所述紧固件60为螺帽，采用如下方法来锁定固定件将所述螺帽拧于所述螺栓上并紧靠所述突起，如图I中所示，将第一固定件301的下部固定在第一突起101内，紧固件60拧合在第一固定件301中部并紧靠在第一突起101上，这样第一固定件301则不会由于定位装置20的受力运动而被带动着松动，在第二固定件302和第三固定件303处也是如此，从而定位装置20在缓冲装置40的作用下能够恢复到正确的位置，避免上述相关问题的发生。且本实施例的结构操作方便，保养简单，只需隔一定时间，如在月保养(monthly PM)时检查并视情况进一步拧紧紧固件60便可。实施例二本实施例与实施例一的区别在于紧固件的位置不同，请参考图5和图6，所述定位装置20的在通孔50处具有垂直于通孔50轴线的侧孔和第二固定孔，具体的，请参考图7，其为图6中a部分的分解透视图(仅示出定位装置、固定件及紧固件)。所述侧孔80和第二固定孔90共轴线a-a且所述轴线a-a通过所述通孔50，优选的，与通孔50的轴线b_b相交并垂直，所述固定件302顶部具有连接孔100，则采用紧固件702将所述固定件302与定位装置20锁定在一起。所述侧孔80可以为垂直面M，在每个通孔50处可以设置一个侧孔80，则紧固件702穿透第二固定件302并锁在定位装置20的第二固定孔90中，在第一固定件和第三固定件处也是如此。本实施例是从根本上杜绝了定位装置20在受力下发生位移，固定件也不会发生松动，如此能够保证定位装置位置的准确性。在其他实施例中，紧固件70可以不穿入(穿透)固定件302，只需顶住固定件302即可(即没有第二固定孔90和连接孔100)，然而这种情况下优选为每个固定件处有多个紧固件70，这即能更好的锁定，也能够减少单个紧固件70受到的冲击力，从而减少机械磨损带来的微粒(particle)。本发明提供的承载台中，通过使用紧固件，使得固定件处于比较牢固的状态，或者将固定件和定位装置固定在一起，避免了现有技术中由于过货较多而导致固定件松动，从而导致定位装置位置发生变化，进而使得晶圆受损的问题，同时固定件的采用能够防范于未然，也不会浪费人力物力，极大的提高了生产效率。显然，本领域的技术人员可以对发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包括这些改动和变型在 内。
权利要求
1.一种承载台，其特征在于，包括 支撑台，所述支撑台上具有多个有第一固定孔的突起； 定位装置，用于晶圆传输时的定位，所述定位装置具有多个通孔； 固定件，所述固定件通过所述通孔与所述第一固定孔，将所述定位装置与所述支撑台连接； 紧固件，所述紧固件用于锁定固定件。
2.如权利要求I所述的承载台，其特征在于，所述固定件为螺栓。
3.如权利要求2所述的承载台，其特征在于，所述第一固定孔内侧具有螺纹。
4.如权利要求3所述的承载台，其特征在于，所述螺栓穿过所述通孔与所述第一固定孔相抒合。
5.如权利要求I所述的承载台，其特征在于，所述紧固件为螺帽。
6.如权利要求5所述的承载台，其特征在于，所述螺帽拧于所述螺栓上并紧靠所述突起。
7.如权利要求I所述的承载台，其特征在于，所述定位装置还具有多个侧孔和第二固定孑U
8.如权利要求7所述的承载台，其特征在于，所述紧固件为螺栓。
9.如权利要求8所述的承载台，其特征在于，所述第二固定孔具有螺纹。
10.如权利要求8所述的承载台，其特征在于，所述侧孔和第二固定孔共轴线且所述轴线通过所述通孔。
11.如权利要求8所述的承载台，其特征在于，所述固定件顶部具有连接孔。
12.如权利要求11所述的承载台，其特征在于，所述紧固件穿过侧孔和连接孔与第二固定孔相固定。
13.如权利要求I所述的承载台，其特征在于，所述第一固定孔与通孔一一对应。
14.如权利要求I所述的承载台，其特征在于，还包括多个缓冲装置，所述缓冲装置嵌套在所述突起上。
15.如权利要求14所述的承载台，其特征在于，所述缓冲装置的高度大于所述突起的高度。
16.如权利要求14所述的承载台，其特征在于，所述定位装置置于所述缓冲装置上。
17.如权利要求14所述的承载台，其特征在于，所述缓冲装置为弹簧。
全文摘要
本发明公开了一种承载台，通过使用紧固件，使得固定件处于比较牢固的状态，或者将固定件和定位装置固定在一起，避免了现有技术中由于过货较多而导致固定件松动，从而导致定位装置位置发生变化，进而使得晶圆受损的问题，同时固定件的采用能够防范于未然，也不会浪费人力物力，极大的提高了生产效率。
文档编号H01L21/687GK102881623SQ20121036685
公开日2013年1月16日 申请日期2012年9月27日 优先权日2012年9月27日
发明者华良, 包中诚, 陈超, 华俊杰 申请人:上海宏力半导体制造有限公司