晶片花篮及晶片花篮组件的制作方法

专利名称：晶片花篮及晶片花篮组件的制作方法
技术领域：
本实用新型属于晶片存放用花篮结构领域，尤其涉及一种晶片花篮及晶片花篮组件。
背景技术：
花篮是一种广泛应用于太阳能电池、IC芯片、LED芯片等半导体制造领域的生产制具。主要用于晶片(wafer)的存放、搬运，蚀刻等工艺。对于LED芯片制造来说，所用的花篮主要分为圆形和方形两种。早期多以使用圆形花篮为主，用于化学蚀刻、去光刻胶、光亥IJ、以及批次性的晶片存放。随着自动化设备的广泛推广，方形花篮被越来越多的人选用。在图I和图2中给出了一种方形花篮的结构示意图，如图I和图2所示，该方形花篮包括花篮本体P，花篮本体I'包括对应设置的第一侧壁11'和第二侧壁13'，以及设置在第一侧壁1Γ和第二侧壁13'之间的内部插槽15'，以及放置在内部插槽15'内部的晶片2'。这种方形花篮体积小，外形规则容易堆放，晶片与晶片之间等间距平行，便于自动化机械手臂的传送，结构也稳定。在实际生产过程中，往往需要将不同类型的晶片区分放置，尤其是在大批量晶片集中存放时，单个卡塞的方式容易导致晶片混乱，堆叠在一起也容易发生意外。另一方面，对于化学湿蚀刻以及去胶清洗工序来说，无论是半自动设备还是全自动设备，都需要通过药液浸泡的步骤，且在浸泡步骤中还需要涉及到溶液配比、温度、震荡等手段的实施。早期的圆形花篮由于体积较大，一次性只能投入一个花篮，所以湿法作业的效率较低。方形花篮体积小，在条件允许的情况下可以一次性投放两个甚至两个以上花篮，这样可以保证在相同的时间内处理更多的晶片。但是鉴于操作的先后顺序，往往多个花篮不能同时放入化学药液中，特别是对于工艺条件比较苛刻的蚀刻清洗，后投放的花篮会对先投放的花篮的稳定性造成比较大的影响，并且工艺时间无法准确控制。但是考虑到工艺稳定性和一致性的要求，就需要保证两个或两个以上的花篮的工艺时间和操作方式(即放进和取出的间隔时间以及抓取花篮的方式)完全一致，甚至在进行周期性震动、搅拌等辅助手段时，两个独立的分置花篮能得到一致的效果。很明显两个或者更多的花篮逐次放进和取出是无法达到这个效果的(后者会对前者产生影响，尤其是自动化程度比较高的设备，无法做到统一控制时间)。因此，提供一种能够提高工艺的稳定性和一致性的花篮势在必行。

实用新型内容为了解决现有技术中的不足，本实用新型提供了一种晶片花篮，以提高工艺的稳定性和一致性。在本实用新型的一个方面，提供了一种晶片花篮，包括花篮本体，包括对应设置的第一侧壁和第二侧壁，以及设置在第一侧壁和第二侧壁之间的内部插槽；第一连接件，连接在第一侧壁远离第二侧壁的一侧上；第二连接件，连接在第二侧壁远离第一侧壁的一侧上；第一连接件和第二连接件结构适配。进一步地，上述第一连接件为沿第一侧壁轴向延伸的滑轨槽件，第二连接件为沿第二连接件轴向延伸的卡槽件，滑槽件与滑槽件结构适配。进一步地，上述第一连接件为T字型滑轨件；第二连接件为C字型滑槽件。进一步地，上述花篮本体的第一侧壁上还设有第三连接件，第二侧壁上还设有第四连接件，第三连接件和第四连接件结构适配。进一步地，上述第三连接件平行于第一连接件设置，第四连接件平行于第二连接件设置。 进一步地，上述第三连接件与第二连接件的结构相同，第四连接件与第一连接件的结构相同。在本实用新型的另一个方面还提供了一种晶片花篮组件，包括至少两个上述的晶片花篮，晶片花篮组件的相邻花篮中，一个花篮上的第一连接件和另一个花篮上的第二连接件适配相连。进一步地，上述各花篮的结构和或尺寸相同；进一步地，上述各花篮的结构和或尺寸不同。进一步地,上述花篮包括方形花篮和或圆形花篮。本实用新型所提供的晶片花篮通过在花篮中对应设置的第一侧壁和第二侧壁的外侧设置结构适配的第一连接件和第二连接件，使得这种晶片花篮能够相互相连，进而方便晶片的储存和管理，也方便了工艺操作的稳定性和一致性。除了上面所描述的目的、特征和优点之外，本实用新型还有其它的目的、特征和优点。下面将参照图，对本实用新型作进一步详细的说明。

附图构成本说明书的一部分、用于进一步理解本实用新型，附图示出了本实用新型的优选实施例，并与说明书一起用来说明本实用新型的原理。图中图I示出了根据现有技术的内部放置有晶片的晶片花篮的结构示意图；图2示出了根据现有技术的晶片花篮的右视图；图3示出了根据本实用新型实施例的晶片花篮的右视图；以及图4示出了根据本实用新型实施例的第一连接件和第二连接件的结构示意图。
具体实施方式
应该指出，以下详细说明都是例示性的，旨在对本实用新型提供进一步的说明。除非另有指明，本文使用的所有技术和科学术语具有与本实用新型所属技术领域的普通技术人员通常理解的相同含义。在图3中给出了一种根据本实用新型实施例的晶片花篮的右视图，如图3所示，在本实用新型的一种实施例中，晶片花篮包括花篮本体I、第一连接件3和第二连接件5。花篮本体I包括对应设置的第一侧壁11和第二侧壁13，以及设置在第一侧壁11和第二侧壁13之间的内部插槽15 ;第一连接件3连接在第一侧壁11远离第二侧壁13的一侧上；第二连接件5连接在第二侧壁13远离第一侧壁11的一侧上；第一连接件3和第二连接件5结构适配。上述晶片花篮通过在花篮中对应设置的第一侧壁11和第二侧壁13的外侧设置结构适配的第一连接件3和第二连接件5，使得这种晶片花篮便于组装和分离。几个晶片花篮组装在一起，能够增加晶片花篮内部的插槽，便于对晶片进行分类，将类型和规格相似的晶片放置在组装在一起的晶片花篮中，避免出现混片、工序混淆不清等情况。且这种几个晶片花篮组装在一起的结构方便晶片的储存与管理，也便于晶片的传送运输，提高了工作效率，避免因堆放问题造成摔落、挤压等危险。另外这种结构还便于光刻工艺中的应用，可以将上述晶片花篮独立的放入设备进行光刻处理，光刻完成后将晶片花篮组装在一起形成整体再传送至湿法蚀刻工艺，避免了运输过程中的混片问题。同时，在湿法蚀刻时可以按照化学液容器的大小及功能将多个花篮同时放入，提高了工艺操作的稳定性和一致性，大大提高了工作效率。
在一种具体的实施例中，上述晶片花篮中第一连接件3为沿第一侧壁11轴向延伸的滑轨件，第二连接件5为沿第二侧壁13轴向延伸的滑槽件。这种滑轨件与滑槽件的配合结构通过滑动实现彼此之间的连接和分离，操作方便，牢固可靠。如图4所示，图4中给出了一种第一连接件3和第二连接件5的具体结构和连接方式，其中第一连接件3为T字型滑轨件；第二连接件5为C字型滑槽件；这种结构能够实现两个花篮之间的稳定连接，且容易组装与分离。在一种具体的实施例中，上述花篮本体I的第一侧壁11上还设有第三连接件7，第二侧壁13上还设有第四连接件9，第三连接件7和第四连接件9结构适配。第三连接件7和第四连接件9的设置，增加了两个花篮的连接部份，使得两个花篮的连接更为稳定，更有利于提高类似于湿法蚀刻工艺中操作的稳定性和一致性。在一种具体的实施例中，上述第三连接件7平行于第一连接件3设置，第四连接件9平行于第二连接件5设置。这种结构有利于增加两个花篮之间的连接面积，且容易操作，便于花篮的组装和分离。在一种具体的实施例中，上述第三连接件7与第二连接件5的结构相同，第四连接件9与第一连接件3的结构相同。这种结构能够使得两个花篮之间的连接力分布均勻，使其在工作操作工程中连接的更稳定。通过将至少两个具有上述结构的晶片花篮连接在一起形成的晶片花篮组件，其中，相邻花篮中，一个花篮上的第一连接件3和另一个花篮上的第二连接件5适配相连。这种晶片花篮组件方便晶片的储存与管理，也便于晶片的传送运输，提高了工作效率，避免因堆放问题造成摔落、挤压等危险。同时，在湿法蚀刻时可以按照化学液容器的大小及功能将多个花篮同时放入，提高了工艺操作的稳定性和一致性，大大提高了工作效率。在一种具体的实施例中，上述晶片花篮组件中各花篮上还分别设有第三连接件7和第四连接件9。此时，晶片花篮组件的相邻花篮中，一个花篮上的第一连接件3和另一个花篮上的第二连接件5相连，同时一个花篮上的第三连接件7和另一个花篮上的第四连接件9适配相连。这种晶片花篮组件结构稳定，便于应用。在一种具体的实施例中，上述晶片花篮组件中各花篮的结构和尺寸相同。对于具有相同结构和相同尺寸的花篮直接通过相应侧壁上的连接件连接即可。由其所组装形成的花篮组件能够用以运输和储存相同结构和相同尺寸的晶片，便于对晶片的分类。[0038]在一种实施例中，管理员一次性投放1000片晶片进行生产，每个花篮能够放置25片晶片，此时，将40个花篮通过连接件依次连接在一起，便可以将1000片晶片放置在一起，便于存储的安全性和稳定性。在一种具体的实施例中，上述晶片花篮组件中各花篮的结构和尺寸不同。对于结构不同、尺寸不同的花篮，例如方形花篮和圆形花篮，又例如2寸、4寸、6寸和8寸的花篮。通过合理的设置连接件的位置也能实现简单的连接。在另一种实施例中，管理员一次性投放1000片LED外延片进行生产，这1000片外延片中计划制作成四种芯片类型，包括小功率的芯片100片、中功率的芯片200片、大功率的芯片300片、和实验芯片400片。由于待加工的外延片的尺寸不一，且数量不一，很容易混淆在一起，一旦混淆就会增加区分难度。使用本实用新型晶片花篮组件时，只要将4个放置有小功率芯片的花篮、8个放置有中功率芯片的花篮、12放置有大功率芯片的花篮、和16个放置有实验芯片的花篮依序连接在一起，再在整个连接件上做标注，即可将上述1000片晶片有序的放置在一起，不但便于分类储存，且晶片花篮组件中各花篮组装在一起，不易丢 失，增加了储存的安全性和稳定性。本实用新型中晶片花篮的材料包括但不限于特氟龙材质，金属材质或者PP材质等。本实用新型所提供的晶片花篮适用于太阳能电池、IC芯片、LED芯片等半导体制造领域。适用于晶片的存放、搬运，蚀刻等工艺。以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1.一种晶片花篮，其特征在于，包括花篮本体(I)，包括对应设置的第一侧壁(11)和第二侧壁(13)，以及设置在所述第一侦_ (11)和所述第二侧壁(13)之间的内部插槽(15)；第一连接件(3)，连接在所述第一侧壁(11)远离所述第二侧壁(13)的一侧上；第二连接件(5)，连接在所述第二侧壁(13)远离所述第一侧壁(11)的一侧上；所述第一连接件(3)和所述第二连接件(5)结构适配。
2.根据权利要求I所述的晶片花篮，其特征在于，所述第一连接件(3)为沿所述第一侧壁(11)轴向延伸的滑轨件，所述第二连接件(5)为沿所述第二侧壁(13)轴向延伸的滑槽件。
3.根据权利要求2所述的晶片花篮，其特征在于， 所述第一连接件(3)为T字型滑轨件；所述第二连接件(5)为C字型滑槽件。
4.根据权利要求1-3中任一项所述的晶片花篮，其特征在于，所述花篮本体(I)的所述第一侧壁(11)上还设有第三连接件(7)，所述第二侧壁(13)上还设有第四连接件(9)，所述第三连接件(7)和所述第四连接件(9)结构适配。
5.根据权利要求4所述的晶片花篮，其特征在于，所述第三连接件(7)平行于所述第一连接件(3)设置，所述第四连接件(9)平行于所述第二连接件(5)设置。
6.根据权利要求5所述的晶片花篮，其特征在于，所述第三连接件(7)与所述第二连接件(5)的结构相同，所述第四连接件(9)与所述第一连接件(3)的结构相同。
7.一种晶片花篮组件，其特征在于，包括至少两个权利要求1-6中任一项所述的晶片花篮，所述晶片花篮组件的相邻花篮中，一个花篮上的第一连接件(3)和另一个花篮上的第二连接件(5)适配相连。
8.根据权利要求7所述的晶片花篮组件，其特征在于，各所述花篮的结构和/或尺寸相同。
9.根据权利要求7所述的晶片花篮组件，其特征在于，各所述花篮的结构和/或尺寸不同。
10.根据权利要求9所述的晶片花篮组件，其特征在于，各所述花篮为方形花篮和/或圆形花篮。
专利摘要本实用新型提供了一种晶片花篮及晶片花篮组件。晶片花篮包括花篮本体，包括对应设置的第一侧壁和第二侧壁，以及设置在第一侧壁和第二侧壁之间的内部插槽；第一连接件，连接在第一侧壁远离第二侧壁的一侧上；第二连接件，连接在第二侧壁远离第一侧壁的一侧上；第一连接件和第二连接件结构适配。晶片花篮通过在花篮中对应设置的第一侧壁和第二侧壁的外侧设置结构适配的第一连接件和第二连接件，使得这种晶片花篮能够相互相连，进而方便晶片的储存与管理，也方便了工艺操作的稳定性和一致性。
文档编号H01L21/673GK202495434SQ20122004867
公开日2012年10月17日 申请日期2012年2月15日 优先权日2012年2月15日
发明者姚禹 申请人:湘能华磊光电股份有限公司