一种晶片泡酸专用花篮的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种晶片泡酸专用花篮，其特征在于：所述花篮的横截面形状为半环状，并且在所述花篮的两端设置挡板，在所述挡板的上部上设置手柄，在所述花篮上设置一组圆孔。本发明的有益效果是：承载花篮形状与晶片形状一致，减少晶片与花篮间隙，从而减轻两者间的碰撞，减少破损，增加操作用手柄，便于作员材料泡酸、流转，提高操作的安全性。结构简单、制作容易、成本低。
【专利说明】一种晶片泡酸专用花篮
【技术领域】
[0001]本发明涉及的是半导体加工制造【技术领域】，尤其是涉及一种晶片泡酸专用花篮的改进。
【背景技术】
[0002]半导体晶片在经过高温扩散后，片与片之间会粘连在一起，需用化学试剂将其分离，晶片置于花篮中一同浸泡在化学试剂中，并且需要较长的时间，对于浸泡存放用的花篮的抗腐蚀性有较高的要求；因为没有专用的花篮，先前使用的花篮，放置的合理性和安全性存在问题。破片率高，拿取花篮需浸入化学试剂中。操作存在不安全因素。这是现有技术的不足之处。
【发明内容】
[0003]本发明的目的在于，克服现有技术的不足，提供了一种结构简单、解决了存放载体与晶片不匹配、破片率高、操作存在不安全因素的问题的一种晶片泡酸专用花篮。
[0004]为解决上述技术问题，本发明的技术方案为:一种晶片泡酸专用花篮，其特征在于:所述花篮的横截面形状为半环状，并且在所述花篮的两端设置挡板，在所述挡板的上部上设置手柄，在所述花篮上设置一组圆孔。承载花篮使用PVC材质制作，把PVC板弯制成圆弧形状，使承载花篮形状与晶片形状一致，减少晶片与花篮间隙，从而减轻两者间的碰撞，减少破损。手柄和承载花篮的连接方式为PVC热无缝焊接。
[0005]本发明的进一步改进有，所述一组圆孔均布在所述花篮上。承载花篮上均匀分布的圆孔，便于化学试剂的出入。
[0006]本发明的进一步改进还有，所述挡板的底边与所述花篮的底边对齐。支撑固定挡板，一是完成手柄与承载花篮连接，二是底部为平面，便于放置。
[0007]说明书中没有描述的结构属于现有技术。
[0008]本方案的有益效果可根据对上述方案的叙述得知，一种晶片泡酸专用花篮，其特征在于:所述花篮的横截面形状为半环状，并且在所述花篮的两端设置挡板，在所述挡板的上部上设置手柄，在所述花篮上设置一组圆孔。本发明的有益效果是:承载花篮形状与晶片形状一致，减少晶片与花篮间隙，从而减轻两者间的碰撞，减少破损，增加操作用手柄，便于作员材料泡酸、流转，提高操作的安全性。结构简单、制作容易、成本低。
【专利附图】
【附图说明】
[0009]图1为本发明的结构示意主视图，图2为本发明的结构示意俯视图，图3为本发明的结构不意左视图。图中:I是手柄，2是挡板,3是花篮,4是圆孔。
【具体实施方式】
[0010]下面结合附图和【具体实施方式】对本发明作进一步详细说明。[0011]下面结合附图和【具体实施方式】对本发明作进一步详细说明，通过附图可以看出，一种晶片泡酸专用花篮，其特征在于:花篮3的横截面形状为半环状，并且在花篮3的两端设置挡板2，在挡板2的上部上设置手柄I，在花篮3上设置一组圆孔4。一组圆孔4均布在花篮3上。一组圆孔4直径为0 0.8cm，挡板2的底边与花篮3的底边对齐。
[0012]当然，上述说明并非对本发明的限制，本发明也不仅限于上述举例，本【技术领域】的普通技术人员在本发明的实质范围内所做出的变化、改型、添加或替换，也属于本发明的保护范围。
【权利要求】
1.一种晶片泡酸专用花篮，其特征在于:所述花篮的横截面形状为半环状，并且在所述花篮的两端设置挡板，在所述挡板的上部上设置手柄，在所述花篮上设置一组圆孔。
2.根据权利要求1所述的一种晶片泡酸专用花篮，其特征在于:所述一组圆孔均布在所述花篮上。
3.根据权 利要求1所述的一种晶片泡酸专用花篮，其特征在于:所述挡板的底边与所述花篮的底边对齐。
【文档编号】H01L21/673GK103606531SQ201310645045
【公开日】2014年2月26日 申请日期:2013年12月5日 优先权日:2013年12月5日
【发明者】郭城, 吕明, 纪大鹏, 赵海玲, 徐明星, 郭英云 申请人:山东科芯电子有限公司