一种单晶片型压电驱动振子的制作方法
【专利摘要】一种单晶片型压电驱动振子，包括压电体（1）、中间的粘接层（2）、垫片（3），其特征在于：垫片（3）由透明高分子材料和透明无机非金属材料在内的透明材料组成，其材质不同于压电体（1），压电体（1）、垫片（3）之间通过采用紫外曝光固化的粘接层（2）固定连接在一起。本实用新型具有性能稳定可靠，寿命更长，制作更简单的特点。
【专利说明】一种单晶片型压电驱动振子【技术领域】
[0001]本发明属于工业控制、执行器等领域，特别涉及压电泵和压电阀体的一种压电驱动振子的构造。
【背景技术】
[0002]随着电子技术的发展，采用压电技术形成的逆压电效应，形成的开关阀体或气体液体输送功能，作为智能控制的核心控制元件使用。压电泵是多采用简支梁压电驱动振子，利用压电晶片的逆压电效应，驱动整个压电驱动振子的弯张振动变形来改变压电驱动振子与壳体之间形成容积室的体积，实现气体液体连续负压吸入和加压排出。而压电阀多采用悬臂梁压电驱动振子，在压电晶片逆压电效应的作用下，驱动整个压电驱动振子的自由端运动，从而实现开关阀体的功能。
[0003]一般情况下单晶片型压电驱动振子的垫片材料采用黄铜片、铍青铜片、不锈钢片、或有机高分子材料等，而上述材料是不透明体。压电驱动振子粘接层的固化过程一般采用热固化工艺，由于在热固化过程中，固化胶挥发产生的气体形成气泡致使驱动振子粘接层局部区域粘接失效，致使压电驱动振子在使用过程中不能均匀变形而产生应力变形，最终导致器件断裂、击穿或疲劳失效。另外，由于压电驱动振子粘接过程中垫片的不透明性，在测试中难以判断是否存在固化缺陷情况，致使压电驱动振子的粘接性能难以直观判定，增加所生产器件的制作难度。
【发明内容】
[0004]本实用新型的目的就是为克服上述【背景技术】的不足，提供一种单晶片型压电驱动振子的构造，有效解决压电驱动振子粘接层固化胶热固化过程中挥发产生的气体形成气泡致使驱动振子粘接层局部区域粘接失效，解决压电振粘接效果的直观检测问题，提高产品的寿命及疲劳失效问题，降低产品生产工艺难度。
[0005]本实用新型的技术方案是:一种单晶片型压电驱动振子，包括压电体1、中间的粘接层2、垫片3，压电体I采用PZT等压电材料，其特征在于:垫片3是由不同于压电体I材质的透明高分子材料或透明无机非金属材料组成的，其厚度为0.1-5.0mm，压电体1、垫片3之间通过采用紫外曝光固化的粘接层2固定连接在一起。
[0006]采用单压电晶片型压电驱动振子，可按一定的周期或单独指令的工作电压驱动压电动驱动振子实现单边工作。
[0007]本发明具有制作过程中不易产生应力，工作过程稳定可靠等优点。
【专利附图】
【附图说明】
[0008]图1为单晶片型电驱动振子的紫外曝光固化粘接示意图
[0009]上述图中:1.压电体；2.粘接层；3.垫片；4.紫外曝光机上盖；5.紫外曝光机支撑板；6.紫外曝光机下壳体；7.紫外光源。【具体实施方式】
[0010]下面通过实施例，并结合附图，对本发明的技术方案作进一步具体的说明。
[0011]实施例1
[0012]实施例1的单晶片型压电驱动振子采用紫外固化环氧树脂粘接的PMMA树脂垫片制造的，如图1所示:单晶片型压电驱动振子由压电体1、中间的粘接层2、垫片3组成。本实施例的粘接层2采用粘接树脂-陶瓷类的紫外曝光固化环氧胶。
[0013]单晶片型压电驱动振子各部件粘接连接的过程如下:首先在防紫外光环境下，在压电体I和PMMA树脂垫片上涂敷粘接树脂-陶瓷类的紫外曝光固化环氧胶，并采用甩干机流平，形成厚度均匀的树脂胶层，并静置一段时间，让一些挥发性物质挥发出去；然后将压电体I与PMMA树脂垫片重叠起来，放置在紫外曝光机支撑板5上，然后盖上紫外曝光机上盖4，向压电振子施加压力P，最后开起紫外曝光灯使粘接树脂-陶瓷类的紫外曝光固化环氧胶在紫外线及压力下固化，固化时间3-5min。固化完成后，可直观检查压电驱动振子是否存在固化气泡、固化空洞、固化裂纹等缺陷。
[0014]实施例2
[0015]实施例2的单晶片型压电驱动振子采用紫外固化环氧树脂粘接的熔融石英玻璃片制造的，如图1所示:单晶片型压电驱动振子由压电体1、中间的粘接层2、垫片3组成。本实施例的粘接层2采用无机透明材料一陶瓷类的紫外曝光固化环氧胶，其粘接连接过程同实施例1。
[0016]采用本发明所述的压电振子构造制作的单晶片型压电驱动振子，有效解决了压电振子粘接层2固化时挥发产生的气体形成的气泡而致使局部区域粘接失效问题，解决压电振子粘接过程的缺陷检测有效性问题，提高产品的一致性，提高产品的寿命及疲劳失效问题。用透明高分子材料垫片制备的压电驱动振子组装压电泵等产品性能良好，用高刚度无机透明材料制备的压电驱动振子制备的单向压电开关阀等产品，可靠性高，动作精准一致，寿命更长。
【权利要求】
1.一种单晶片型压电驱动振子，包括压电体(I)、中间的粘接层(2)、垫片(3)，其特征在于:垫片(3)是由不同于压电体(I)材质的透明高分子材料或透明无机非金属材料组成的，其厚度为0.1-5.0_，而压电体(I)、垫片(3)之间通过采用紫外曝光固化的粘接层(2)固定连接在一起。
【文档编号】H01L41/09GK203398165SQ201320352472
【公开日】2014年1月15日 申请日期:2013年6月19日 优先权日:2013年6月19日
【发明者】王素贞 申请人:重庆中镭科技有限公司