1.一种液浸部件，在液浸曝光装置中使用，能够在与射出曝光用光的光学部件的射出面相对的物体的表面上形成液浸空间，其特征在于，具有：
第1部件，其包含配置在所述曝光用光的光路周围的第1部分，在所述第1部分上设有能够供所述曝光用光通过的第1开口部、及配置在所述第1开口部的周围的至少一部分上且能够与所述物体的表面相对的第1液体供给部；和
第2部件，其具有能够与所述物体的表面相对的第1液体回收部，能够相对于所述光路在所述第1部分的外侧相对于所述第1部件移动，
所述液浸空间的一部分形成于所述第2部件与所述物体之间，
所述第1液体回收部回收所述第2部件与所述物体之间的液体的至少一部分。
2.如权利要求1所述的液浸部件，其特征在于，
所述第2部件还具有第2液体供给部，该第2液体供给部关于相对于所述光学部件的光轴而言的放射方向，配置在所述光路与所述第1液体回收部之间，且能够与所述物体的表面相对。
3.如权利要求2所述的液浸部件，其特征在于，
还具有第2液体回收部，该第2液体回收部能够回收从所述物体上流入到所述第1部件与所述第2部件之间的间隙中的液体的至少一部分。
4.如权利要求1所述的液浸部件，其特征在于，
还具有第2液体回收部，该第2液体回收部能够回收从所述物体上流入到所述第1部件与所述第2部件之间的间隙中的液体的至少一部分。
5.如权利要求4所述的液浸部件，其特征在于，
所述第2液体回收部配置在所述第1部件上。
6.如权利要求4所述的液浸部件，其特征在于，
所述第1部件与所述第2部件之间的间隙包括：具有第1尺寸的第1间隙部分；和相对于所述光学部件的光轴形成在所述第1间隙部分的外侧且具有比所述第1尺寸小的第2尺寸的第2间隙部分，
所述第2液体回收部能够从所述第1间隙部分回收液体。
7.如权利要求1所述的液浸部件，其特征在于，
所述第2部件还具有第1气体供给部，该第1气体供给部关于相对于所述光学部件的光轴而言的放射方向，配置在所述第1液体回收部的外侧，且能够与所述物体的表面相对。
8.如权利要求7所述的液浸部件，其特征在于，
所述第1气体供给部在所述液浸空间的外侧供给所述气体。
9.如权利要求8所述的液浸部件，其特征在于，
所述第2部件还具有第2液体供给部，该第2液体供给部关于相对于所述光学部件的光轴而言的放射方向，配置在所述光路与所述第1液体回收部之间，且能够与所述物体的表面相对。
10.如权利要求8所述的液浸部件，其特征在于，
还具有第2液体回收部，该第2液体回收部能够回收从所述物体上流入到所述第1部件与所述第2部件之间的间隙中的液体的至少一部分。
11.如权利要求7所述的液浸部件，其特征在于，
所述第2部件还具有第2液体供给部，该第2液体供给部关于相对于所述光学部件的光轴而言的放射方向，配置在所述光路与所述第1液体回收部之间，且能够与所述物体的表面相对。
12.如权利要求7所述的液浸部件，其特征在于，
还具有第2液体回收部，该第2液体回收部能够回收从所述物体上流入到所述第1部件与所述第2部件之间的间隙中的液体的至少一部分。
13.一种液浸部件，在液浸曝光装置中使用，能够在与射出曝光用光的光学部件的射出面相对的物体的表面上形成液浸空间，其特征在于，具有：
第1部件，其包含配置在所述曝光用光的光路周围的第1部分，在所述第1部分上设有所述曝光用光能够通过的第1开口部；和
第2部件，其具有能够与所述物体的表面相对的第1液体回收部、及关于相对于所述光学部件的光轴而言的放射方向而配置在所述第1液体回收部的外侧且能够与所述物体的表面相对的第1气体供给部，所述第2部件能够相对于所述光路在所述第1部分的外侧相对于所述第1部件移动，
所述液浸空间的一部分形成于所述第2部件与所述物体之间，
所述第1液体回收部回收所述第2部件与所述物体之间的液体的至少一部分。
14.如权利要求13所述的液浸部件，其特征在于，
所述第1气体供给部在所述液浸空间的外侧供给所述气体。
15.如权利要求13所述的液浸部件，其特征在于，
所述第1气体供给部供给加湿后的气体。
16.如权利要求13所述的液浸部件，其特征在于，
所述第2部件还具有第2液体供给部，该第2液体供给部关于相对于所述光学部件的光轴而言的放射方向，配置在所述光路与所述第1液体回收部之间，且能够与所述物体的表面相对。
17.如权利要求16所述的液浸部件，其特征在于，
还具有第2液体回收部，该第2液体回收部能够回收从所述物体上流入到所述第1部件与所述第2部件之间的间隙中的液体的至少一部分。
18.如权利要求13所述的液浸部件，其特征在于，
还具有第2液体回收部，该第2液体回收部能够回收从所述物体上流入到所述第1部件与所述第2部件之间的间隙中的液体的至少一部分。
19.如权利要求18所述的液浸部件，其特征在于，
所述第2液体回收部配置在所述第1部件上。
20.如权利要求18所述的液浸部件，其特征在于，
所述第1部件与所述第2部件之间的间隙包括：具有第1尺寸的第1间隙部分；和相对于所述光学部件的光轴形成在所述第1间隙部分的外侧且具有比所述第1尺寸小的第2尺寸的第2间隙部分，
所述第2液体回收部能够从所述第1间隙部分回收液体。
21.一种液浸部件，在液浸曝光装置中使用，能够在与射出曝光用光的光学部件的射出面相对的物体的表面上形成液浸空间，其特征在于，具有：
第1部件，其包含配置在所述曝光用光的光路周围的第1部分，在所述第1部分上设有能够供所述曝光用光通过的第1开口部；和
第2部件，其具有能够与所述物体的表面相对的第1液体回收部、及关于相对于所述光学部件的光轴而言的放射方向而配置在所述光路与所述第1液体回收部之间且能够与所述物体的表面相对的第2液体供给部，所述第2部件能够相对于所述光路在所述第1部分的外侧相对于所述第1部件移动。
22.如权利要求21所述的液浸部件，其特征在于，
所述第1液体回收部能够回收来自所述第2液体供给部的所述液体的至少一部分。
23.如权利要求21所述的液浸部件，其特征在于，
所述液浸空间的液体的界面关于相对于所述光学部件的光轴而言的放射方向，被维持在所述第2液体供给部与所述第1液体回收部之间。
24.如权利要求21所述的液浸部件，其特征在于，
还具有第2液体回收部，该第2液体回收部能够回收从所述物体上流入到所述第1部件与所述第2部件之间的间隙中的液体的至少一部分。
25.如权利要求24所述的液浸部件，其特征在于，
所述第2液体回收部配置在所述第1部件上。
26.如权利要求24所述的液浸部件，其特征在于，
所述第1部件与所述第2部件之间的间隙包括：具有第1尺寸的第1间隙部分；和相对于所述光学部件的光轴形成在所述第1间隙部分的外侧且具有比所述第1尺寸小的第2尺寸的第2间隙部分，
所述第2液体回收部能够从所述第1间隙部分回收液体。
27.一种液浸部件，在液浸曝光装置中使用，能够在与射出曝光用光的光学部件的射出面相对的物体的表面上形成液浸空间，其特征在于，具有：
第1部件，其包含配置在所述曝光用光的光路周围的第1部分，在所述第1部分上设有所述曝光用光能够通过的第1开口部；
第2部件，其具有能够与所述物体的表面相对的第1液体回收部，能够相对于所述光路在所述第1部分的外侧相对于所述第1部件移动；和
第2液体回收部，其配置在所述第1部件上，能够回收从所述物体上流入到所述第1部件与所述第2部件之间的间隙中的液体的至少一部分。
28.如权利要求27所述的液浸部件，其特征在于，
所述第1部件还包含配置在所述第1部分的上方的第2部分，
所述第2液体回收部配置在所述第2部分上。
29.如权利要求27所述的液浸部件，其特征在于，
所述第1部件与所述第2部件之间的间隙包括：具有第1尺寸的第1间隙部分；和相对于所述光学部件的光轴形成在所述第1间隙部分的外侧且具有比所述第1尺寸小的第2尺寸的第2间隙部分，
所述第2液体回收部能够从所述第1间隙部分回收液体。
30.一种液浸部件，在液浸曝光装置中使用，能够在与射出曝光用光的光学部件的射出面相对的物体的表面上形成液浸空间，其特征在于，具有：
第1部件，其包含配置在所述曝光用光的光路周围的第1部分，在所述第1部分上设有所述曝光用光能够通过的第1开口部；
第2部件，其具有能够与所述物体的表面相对的第1液体回收部，能够相对于所述光路在所述第1部分的外侧相对于所述第1部件移动；和
第2液体回收部，其能够回收从所述物体上流入到所述第1部件与所述第2部件之间的间隙中的液体的至少一部分，
所述第1部件与所述第2部件之间的间隙包括：具有第1尺寸的第1间隙部分；和相对于所述光学部件的光轴配置在所述第1间隙部分的外侧且具有比所述第1尺寸小的第2尺寸的第2间隙部分，
所述第2液体回收部能够从所述第1间隙部分回收液体。
31.如权利要求30所述的液浸部件，其特征在于，
所述第2部件能够在规定面内移动，
规定所述第2间隙部分的所述第1部件的第1相对面和所述第2部件的第2相对面与所述规定面平行。
32.如权利要求30所述的液浸部件，其特征在于，
所述第2液体回收部配置在所述第1部件上。
33.如权利要求1～32中任一项所述的液浸部件，其特征在于，
所述第1部件与所述第2部件之间的间隙的一端以与所述物体的表面相对的方式配置，
所述物体上的液体能够从所述第1部件与所述第2部件之间的间隙的所述一端流入到所述间隙。
34.如权利要求33所述的液浸部件，其特征在于，
所述第1部件与所述第2部件之间的间隙经由所述间隙的另一端与外部空间连通。
35.如权利要求33所述的液浸部件，其特征在于，
所述第1部件与所述第2部件之间的间隙的另一端以不与所述物体的表面相对的方式配置。
36.如权利要求33所述的液浸部件，其特征在于，
所述第1部件与所述第2部件之间的间隙的另一端配置在比所述间隙的所述一端高的位置。
37.如权利要求33所述的液浸部件，其特征在于，
所述第1部件与所述第2部件之间的间隙的另一端不与所述物体上的液体接触。
38.如权利要求1～32中任一项所述的液浸部件，其特征在于，
面向所述第1部件与所述第2部件之间的间隙的所述第1部件的表面及所述第2部件的表面中的一方或双方的至少一部分相对于液体具有疏液性。
39.如权利要求1～32中任一项所述的液浸部件，其特征在于，
能够与所述物体的表面相对的所述第1部分的第1下表面、及所述第2部件的第2下表面平行于与所述光学部件的光轴垂直的平面。
40.如权利要求1～32中任一项所述的液浸部件，其特征在于，
能够与所述物体的表面相对的所述第1部分的第1下表面、和所述第2部件的第2下表面配置在同一平面内。
41.如权利要求1～32中任一项所述的液浸部件，其特征在于，
能够与所述物体的表面相对的所述第1部分的第1下表面、及所述第2部件的第2下表面与所述射出面相比配置在下方。
42.如权利要求1～32中任一项所述的液浸部件，其特征在于，
所述第1部件还具有第3液体供给部，该第3液体供给部向所述第1部件与所述光学部件之间的间隙供给液体。
43.如权利要求42所述的液浸部件，其特征在于，
所述第3液体供给部配置在所述第1部分上。
44.如权利要求42所述的液浸部件，其特征在于，
所述第3液体供给部以与所述光学部件的外表面相对的方式配置在所述第1部件上。
45.如权利要求44所述的液浸部件，其特征在于，
所述第1部件还具有第3液体回收部，该第3液体回收部以与所述光学部件的外表面相对的方式配置，且能够从所述光学部件与所述第1部件之间的间隙回收液体，
所述第3液体供给部相对于所述光学部件的光轴配置在一侧，
所述第3液体回收部相对于所述光学部件的光轴配置在另一侧。
46.如权利要求1～32中任一项所述的液浸部件，其特征在于，
所述第1部件还具有第3液体回收部，该第3液体回收部能够从所述第1部件与所述光学部件之间的间隙回收液体。
47.如权利要求46所述的液浸部件，其特征在于，
所述第3液体回收部配置在所述第1部分上。
48.如权利要求46所述的液浸部件，其特征在于，
所述第3液体回收部以与所述光学部件的外表面相对的方式配置，且能够从所述光学部件与所述第1部件之间的间隙回收液体。
49.如权利要求1～32中任一项所述的液浸部件，其特征在于，
所述第2部件在与所述光学部件的光轴垂直的面内移动。
50.如权利要求1～32中任一项所述的液浸部件，其特征在于，
所述第2部件基于所述物体的移动条件而移动。
51.如权利要求1～32中任一项所述的液浸部件，其特征在于，
在形成有所述液浸空间的状态下，所述第2部件移动。
52.如权利要求1～32中任一项所述的液浸部件，其特征在于，
在从所述射出面射出所述曝光用光的期间的至少一部分中，所述第2部件移动。
53.如权利要求1～32中任一项所述的液浸部件，其特征在于，
所述第1部件的所述第1部分包含所述第1部件的最下部。
54.如权利要求1～32中任一项所述的液浸部件，其特征在于，
所述第1部件的所述第1部分包含所述第1部件的、与所述物体的表面最接近的部位。
55.如权利要求1～32中任一项所述的液浸部件，其特征在于，
所述第1部件的所述第1部分与所述光学部件的射出面相比配置在下方。
56.一种曝光装置，经由液体并以曝光用光对衬底进行曝光，其特征在于，
具有权利要求1～32中任一项所述的液浸部件。
57.如权利要求56所述的曝光装置，其特征在于，
所述第2部件以与所述物体的相对速度减小的方式移动。
58.如权利要求56所述的曝光装置，其特征在于，
所述第2部件以所述第2部件与所述物体的相对速度比所述第1部件与所述物体的相对速度小的方式移动。
59.如权利要求56所述的曝光装置，其特征在于，
所述第2部件以与所述物体的相对加速度减小的方式移动。
60.如权利要求56所述的曝光装置，其特征在于，
所述第2部件以所述第2部件与所述物体的相对加速度比所述第1部件与所述物体的相对加速度小的方式移动。
61.如权利要求56所述的曝光装置，其特征在于，
所述物体包含所述衬底，
在形成有所述液浸空间的状态下，所述衬底在与所述光学部件的光轴垂直的面内，在第1路径中移动后，再在第2路径中移动，
在所述第1路径中，所述衬底的移动包含沿所述面内的与第1轴平行的第1方向的移动，
在所述第2路径中，所述衬底的移动包含沿在所述面内同与所述第1轴正交的第2轴平行的第2方向的移动，
所述第2部件在所述衬底在所述第2路径中移动的期间的至少一部分中，沿所述第2方向移动。
62.如权利要求61所述的曝光装置，其特征在于，
所述衬底在所述第1路径中移动时，经由所述液浸空间的液体向所述衬底的拍摄区域照射所述曝光用光，在所述第2路径中移动时不照射所述曝光用光。
63.如权利要求61所述的曝光装置，其特征在于，
所述衬底在所述第2路径中移动后，再在第3路径中移动，
在所述第3路径中，所述衬底的移动包含沿与所述第1方向相反的第3方向的移动，
所述第2部件在所述衬底在所述第3路径中移动的期间的至少一部分中，沿与所述第2方向相反的第4方向移动。
64.如权利要求56所述的曝光装置，其特征在于，
所述物体包含所述衬底，
在形成有所述液浸空间的状态下，以一边使所述衬底沿扫描方向扫描移动一边对所述衬底的第1拍摄区域进行曝光后，第2拍摄区域配置在曝光开始位置上的方式使所述衬底沿步进方向步进移动，
在所述衬底的步进移动的至少一部分中，所述第2部件沿与所述步进方向相同的方向移动。
65.如权利要求64所述的曝光装置，其特征在于，
在所述衬底的扫描移动的至少一部分中，所述第2部件沿与所述步进方向相反的方向移动。
66.如权利要求56所述的曝光装置，其特征在于，
所述物体包含保持所述衬底且能够移动的衬底载台。
67.如权利要求56所述的曝光装置，其特征在于，
还具有第3部件，该第3部件相对于所述光路配置在所述第2部件的外侧，且具有能够与所述物体的表面相对的第2气体供给部。
68.如权利要求67所述的曝光装置，其特征在于，
所述第2部件以所述第2部件与所述物体的相对速度比所述第1部件与所述物体的相对速度小的方式移动。
69.一种曝光装置，经由液体并以曝光用光对衬底进行曝光，其特征在于，
具有权利要求35所述的液浸部件。
70.如权利要求69所述的曝光装置，其特征在于，
所述第2部件以所述第2部件与所述物体的相对速度比所述第1部件与所述物体的相对速度小的方式移动。
71.一种曝光装置，经由液体并以曝光用光对衬底进行曝光，其特征在于，
具有权利要求36所述的液浸部件。
72.如权利要求71所述的曝光装置，其特征在于，
所述第2部件以所述第2部件与所述物体的相对速度比所述第1部件与所述物体的相对速度小的方式移动。
73.一种曝光装置，经由液体并以曝光用光对衬底进行曝光，其特征在于，
具有权利要求37所述的液浸部件。
74.如权利要求73所述的曝光装置，其特征在于，
所述第2部件以所述第2部件与所述物体的相对速度比所述第1部件与所述物体的相对速度小的方式移动。
75.一种器件制造方法，其特征在于，包含以下步骤：
使用权利要求56所述的曝光装置对衬底进行曝光；和
对曝光后的所述衬底进行显影。
76.一种器件制造方法，其特征在于，包含以下步骤：
使用权利要求57所述的曝光装置对衬底进行曝光；和
对曝光后的所述衬底进行显影。
77.一种器件制造方法，其特征在于，包含以下步骤：
使用权利要求58所述的曝光装置对衬底进行曝光；和
对曝光后的所述衬底进行显影。
78.一种器件制造方法，其特征在于，包含以下步骤：
使用权利要求59所述的曝光装置对衬底进行曝光；和
对曝光后的所述衬底进行显影。
79.一种器件制造方法，其特征在于，包含以下步骤：
使用权利要求60所述的曝光装置对衬底进行曝光；和
对曝光后的所述衬底进行显影。
80.一种曝光方法，经由射出曝光用光的光学部件的射出面与衬底之间的液体并以所述曝光用光对所述衬底进行曝光，其特征在于，包含以下步骤：
使用液浸部件在所述衬底的表面上形成所述液体的液浸空间，该液浸部件具有第1部件和第2部件，其中，该第1部件包含配置在所述曝光用光的光路的周围的第1部分，在所述第1部分上设有能够供所述曝光用光通过的第1开口部、及配置在所述第1开口部的周围的至少一部分上且能够与所述衬底的表面相对的第1液体供给部，该第2部件具有能够与所述衬底的表面相对的第1液体回收部，能够相对于所述光路在所述第1部分的外侧相对于所述第1部件移动，所述液浸空间的一部分形成于所述第2部件与所述衬底之间，所述第1液体回收部回收所述第2部件与所述衬底之间的液体的至少一部分；
经由所述液浸空间的所述液体并以从所述射出面射出的所述曝光用光对所述衬底进行曝光；和
在所述衬底的曝光的至少一部分中，相对于所述第1部件移动所述第2部件。
81.一种曝光方法，经由射出曝光用光的光学部件的射出面与衬底之间的液体并以所述曝光用光对所述衬底进行曝光，其特征在于，包含以下步骤：
使用液浸部件在所述衬底的表面上形成所述液体的液浸空间，该液浸部件具有第1部件和第2部件，其中，该第1部件包含配置在所述曝光用光的光路的周围的第1部分，在所述第1部分上设有能够供所述曝光用光通过的第1开口部，该第2部件具有能够与所述衬底的表面相对的第1液体回收部、以及关于相对于所述光学部件的光轴而言的放射方向而配置在所述第1液体回收部的外侧且能够与所述衬底的表面相对的第1气体供给部，该第2部件能够相对于所述光路在所述第1部分的外侧相对于所述第1部件移动，所述液浸空间的一部分形成于所述第2部件与所述衬底之间，所述第1液体回收部回收所述第2部件与所述衬底之间的液体的至少一部分；
经由所述液浸空间的所述液体并以从所述射出面射出的所述曝光用光对所述衬底进行曝光；和
在所述衬底的曝光的至少一部分中，相对于所述第1部件移动所述第2部件。
82.一种曝光方法，经由射出曝光用光的光学部件的射出面与衬底之间的液体并以所述曝光用光对所述衬底进行曝光，其特征在于，包含以下步骤：
使用液浸部件在所述衬底的表面上形成所述液体的液浸空间，该液浸部件具有第1部件和第2部件，其中，该第1部件包含配置在所述曝光用光的光路的周围的第1部分，在所述第1部分上设有能够供所述曝光用光通过的第1开口部，该第2部件具有能够与所述衬底的表面相对的第1液体回收部、以及关于相对于所述光学部件的光轴而言的放射方向而配置在所述光路与所述第1液体回收部之间且能够与所述衬底的表面相对的第2液体供给部，该第2部件能够相对于所述光路在所述第1部分的外侧相对于所述第1部件移动；
经由所述液浸空间的所述液体并以从所述射出面射出的所述曝光用光对所述衬底进行曝光；和
在所述衬底的曝光的至少一部分中，相对于所述第1部件移动所述第2部件。
83.一种曝光方法，经由射出曝光用光的光学部件的射出面与衬底之间的液体并以所述曝光用光对所述衬底进行曝光，其特征在于，包含以下步骤：
使用液浸部件在所述衬底的表面上形成所述液体的液浸空间，该液浸部件具有第1部件、第2部件和第2液体回收部，其中，该第1部件包含配置在所述曝光用光的光路的周围的第1部分，在所述第1部分上设有能够供所述曝光用光通过的第1开口部，该第2部件具有能够与所述衬底的表面相对的第1液体回收部，能够相对于所述光路在所述第1部分的外侧相对于所述第1部件移动，该第2液体回收部配置在所述第1部件上，且能够回收从所述衬底上流入到所述第1部件与所述第2部件之间的间隙中的液体的至少一部分；
经由所述液浸空间的所述液体并以从所述射出面射出的所述曝光用光对所述衬底进行曝光；和
在所述衬底的曝光的至少一部分中，相对于所述第1部件移动所述第2部件。
84.一种曝光方法，经由射出曝光用光的光学部件的射出面与衬底之间的液体并以所述曝光用光对所述衬底进行曝光，其特征在于，包含以下步骤：
使用液浸部件在所述衬底的表面上形成所述液体的液浸空间，该液浸部件具有第1部件、第2部件和第2液体回收部，其中，该第1部件包含配置在所述曝光用光的光路的周围的第1部分，在所述第1部分上设有能够供所述曝光用光通过的第1开口部，该第2部件具有能够与所述衬底的表面相对的第1液体回收部，能够相对于所述光路在所述第1部分的外侧相对于所述第1部件移动，该第2液体回收部能够回收从所述衬底上流入到所述第1部件与所述第2部件之间的间隙中的液体的至少一部分，所述第1部件与所述第2部件之间的间隙包含第1尺寸的第1间隙部分、和相对于所述光学部件的光轴配置在所述第1间隙部分的外侧且比所述第1尺寸小的第2尺寸的第2间隙部分，所述第2液体回收部能够从所述第1间隙部分回收液体；
经由所述液浸空间的所述液体并以从所述射出面射出的所述曝光用光对所述衬底进行曝光；和
在所述衬底的曝光的至少一部分中，相对于所述第1部件移动所述第2部件。
85.一种器件制造方法，其特征在于，包含以下步骤：
使用权利要求80～84中任一项所述的曝光方法对衬底进行曝光；
对曝光后的所述衬底进行显影。
86.一种记录介质，为计算机能够读取的记录介质，记录有程序，使计算机执行液浸曝光装置的控制，其中液浸曝光装置经由射出曝光用光的光学部件的射出面与衬底之间的液体并以曝光用光对所述衬底进行曝光，其特征在于，所述程序执行以下步骤：
使用液浸部件在所述衬底的表面上形成所述液体的液浸空间，该液浸部件具有第1部件和第2部件，其中，该第1部件包含配置在所述曝光用光的光路的周围的第1部分，在所述第1部分上设有能够供所述曝光用光通过的第1开口部、及配置在所述第1开口部的周围的至少一部分上且能够与所述衬底的表面相对的第1液体供给部，该第2部件具有能够与所述衬底的表面相对的第1液体回收部，能够相对于所述光路在所述第1部分的外侧相对于所述第1部件移动，所述液浸空间的一部分形成于所述第2部件与所述衬底之间，所述第1液体回收部回收所述第2部件与所述衬底之间的液体的至少一部分；
经由所述液浸空间的所述液体并以从所述射出面射出的所述曝光用光对所述衬底进行曝光；和
在所述衬底的曝光的至少一部分中，相对于所述第1部件移动所述第2部件。
87.一种记录介质，为计算机能够读取的记录介质，记录有程序，使计算机执行液浸曝光装置的控制，其中液浸曝光装置经由射出曝光用光的光学部件的射出面与衬底之间的液体并以曝光用光对所述衬底进行曝光，其特征在于，所述执行以下步骤：
使用液浸部件在所述衬底的表面上形成所述液体的液浸空间，该液浸部件具有第1部件和第2部件，其中，该第1部件包含配置在所述曝光用光的光路周围的第1部分，在所述第1部分上设有能够供所述曝光用光通过的第1开口部，该第2部件具有能够与所述衬底的表面相对的第1液体回收部、及关于相对于所述光学部件的光轴而言的放射方向而配置在所述第1液体回收部的外侧且能够与所述衬底的表面相对的第1气体供给部，该第2部件能够相对于所述光路在所述第1部分的外侧相对于所述第1部件移动，所述液浸空间的一部分形成于所述第2部件与所述衬底之间，所述第1液体回收部回收所述第2部件与所述衬底之间的液体的至少一部分；
经由所述液浸空间的所述液体并以从所述射出面射出的所述曝光用光对所述衬底进行曝光；和
在所述衬底的曝光的至少一部分中，相对于所述第1部件移动所述第2部件。
88.一种记录介质，为计算机能够读取的记录介质，记录有程序，使计算机执行液浸曝光装置的控制，其中液浸曝光装置经由射出曝光用光的光学部件的射出面与衬底之间的液体并以曝光用光对所述衬底进行曝光，其特征在于，所述程序执行以下步骤：
使用液浸部件在所述衬底的表面上形成所述液体的液浸空间，该液浸部件具有第1部件和第2部件，其中，该第1部件包含配置在所述曝光用光的光路的周围的第1部分，在所述第1部分上设有能够供所述曝光用光通过的第1开口部，该第2部件具有能够与所述衬底的表面相对的第1液体回收部、及关于相对于所述光学部件的光轴而言的放射方向而配置在所述光路与所述第1液体回收部之间且能够与所述衬底的表面相对的第2液体供给部，该第2部件能够相对于所述光路在所述第1部分的外侧相对于所述第1部件移动；
经由所述液浸空间的所述液体并以从所述射出面射出的所述曝光用光对所述衬底进行曝光；和
在所述衬底的曝光的至少一部分中，相对于所述第1部件移动所述第2部件。
89.一种记录介质，为计算机能够读取的记录介质，记录有程序，使计算机执行液浸曝光装置的控制，其中液浸曝光装置经由射出曝光用光的光学部件的射出面与衬底之间的液体并以曝光用光对所述衬底进行曝光，其特征在于，所述程序执行以下步骤：
使用液浸部件在所述衬底的表面上形成所述液体的液浸空间，该液浸部件具有第1部件、第2部件和第2液体回收部，其中，该第1部件包含配置在所述曝光用光的光路的周围的第1部分，在所述第1部分上设有能够供所述曝光用光通过的第1开口部，该第2部件具有能够与所述衬底的表面相对的第1液体回收部，能够相对于所述光路在所述第1部分的外侧相对于所述第1部件移动，该第2液体回收部配置在所述第1部件上，能够回收从所述衬底上流入到所述第1部件与所述第2部件之间的间隙中的液体的至少一部分；
经由所述液浸空间的所述液体并以从所述射出面射出的所述曝光用光对所述衬底进行曝光；和
在所述衬底的曝光的至少一部分中，相对于所述第1部件移动所述第2部件。
90.一种记录介质，为计算机能够读取的记录介质，记录有程序，使计算机执行液浸曝光装置的控制，其中液浸曝光装置经由射出曝光用光的光学部件的射出面与衬底之间的液体并以曝光用光对所述衬底进行曝光，其特征在于，所述程序执行以下步骤：
使用液浸部件在所述衬底的表面上形成所述液体的液浸空间，该液浸部件具有第1部件、第2部件和第2液体回收部，其中，该第1部件包含配置在所述曝光用光的光路的周围的第1部分，在所述第1部分上设有能够供所述曝光用光通过的第1开口部，该第2部件具有能够与所述衬底的表面相对的第1液体回收部，能够相对于所述光路在所述第1部分的外侧相对于所述第1部件移动，该第2液体回收部能够回收从所述衬底上流入到所述第1部件与所述第2部件之间的间隙中的液体的至少一部分，所述第1部件与所述第2部件之间的间隙包含第1尺寸的第1间隙部分、和相对于所述光学部件的光轴配置在所述第1间隙部分的外侧且比所述第1尺寸小的第2尺寸的第2间隙部分，所述第2液体回收部能够从所述第1间隙部分回收液体；
经由所述液浸空间的所述液体并以从所述射出面射出的所述曝光用光对所述衬底进行曝光；和
在所述衬底的曝光的至少一部分中，相对于所述第1部件移动所述第2部件。