单层电容器裸芯粒分选测试机用微调吸片装置制造方法
【专利摘要】发明公开了一种单层电容器裸芯粒分选测试机用微调吸片装置，包括吸头安装座滑动套，其上两侧对称设有导向缓冲机构与导向安装架连接，在所述导向安装架中部的螺孔上连接微调机构，该微调机构与安装在吸头安装座滑动套内的吸取装置连接成一体，所述的吸取装置分别与吸头安装座滑动套之间设有限位机构和真空气源接口。本发明减少吸片装置在高速吸取过程中由于惯量过大造成吸嘴吸取裸芯粒过程中出现过冲和抖动，造成裸芯颗粒吸取过程中划伤、损伤和崩角等质量问题，还可能造成吸偏，影响分选测试结果。
【专利说明】单层电容器裸芯粒分选测试机用微调吸片装置
【技术领域】
[0001]本发明用于半导体装备制造行业，应用在通用型单层电容器裸芯粒分选测试机上。用于对通用型单层电容器裸芯粒进行吸取，并传输至测试点进行测试。本发明不仅适通用型单层电容器裸芯粒分选测试机上微调吸片。还可以用于二极管、电阻、电容等裸芯粒芯片吸取，尤其适用于薄脆和易损伤的裸芯粒芯片的拾取和传送。
【背景技术】
[0002]通用型单层电容器，在军事领域和高端民用领域均得到广泛应用，如雷达、导弹遥控、卫星通讯、定位、电视卫星接收器、无线局域等系统，其裸芯粒芯片产品尺寸从
0.254mmX0.254mmX0.127mm 至 2.29mmX2.29mmX0.254mm，该电容器裸芯粒芯片具有体积小、薄、脆、镀金涂层易划伤等特点，而吸片装置是分选测试机的设备的重要部件，吸片过程不仅影响通用型单层电容器裸芯粒芯片的测试结果，还影响芯片的产品质量，引起划伤、损伤和崩角等质量问题。目前，厂家通常采用人工拾取的方式，通过镊子拾取，在拾取过程中由于工人的熟练程度以及使用的夹持力不同，对芯片会照成不同程度的损伤，拾放的力度不同都会造成芯片的破损，拾放在测试点时，相对测试头的位置偏差也会影响到测试数据的准确性。
【发明内容】
[0003]鉴于上述现状，本发明提供了一种单层电容器裸芯粒分选测试机用微调吸片装置，替代了现有手动拾取，解决了人工操作所带来的影响产品质量的一系列问题，大大降低了人工劳动强度，增加了产品的质量的一致性和可靠性，降低工人劳动强度和人力。
[0004]本发明的技术解决方案是:一种单层电容器裸芯粒分选测试机用微调吸片装置，包括吸头安装座滑动套，其上两侧对称设有导向缓冲机构与导向安装架连接，在所述导向安装架中部的螺孔上连接微调机构，该微调机构与安装在吸头安装座滑动套内的吸取装置连接成一体，所述的吸取装置分别与吸头安装座滑动套之间设有限位机构和真空气源接□。
[0005]本发明中，所涉及的导向缓冲机构，包括固定设置在吸头安装座滑动套上的活动轴，及其上安装的弹簧，使活动轴一端插入导向安装架的导向套内。当导向安装架受到外力冲击后，通过弹簧缓解了对吸头安装座滑动套的冲击力。
[0006]本发明中，所涉及的吸取装置，包括带有腔体的吸取安装套，该吸取安装套一端装有密封的吸头，及吸取安装套的径向开有吸口与吸头安装座滑动套上的真空气源接口连通。
[0007]本发明中，所涉及的限位机构，包括吸取安装套，及径向设有导向限位销，该导向限位销的引出端位于吸头安装座滑动套上开有的限位孔内。这样，通过导向限位销限制吸取安装套的起到至终点的位移距离。
[0008]本发明中，所涉及微调机构，包括微调主轴，该微调主轴的两端分别带有内、外螺纹，其中外螺纹与导向安装架连接，其内螺纹与吸取安装套上的外螺纹连接。因此，通过液压或气压作用于导向安装架与吸取安装套同步位移。
[0009]进一步地，所涉及微调机构，包括微调主轴，该微调主轴一端带有外螺纹，该端外螺纹与导向安装架连接，另一端分别依次安装有轴承、旋转架、保持架和转套，通过转套上的外螺纹与吸取安装套上的内螺纹连接。
[0010]进一步地，所述的微调主轴是一个实心轴，或是空心轴，通过空心轴的微调主轴与气源连接。这样，可通过气压方式控制微调主轴带动导向安装架及吸取安装套同步位移。
[0011]本发明减少吸片装置在高速吸取过程中由于惯量过大，造成吸嘴吸取裸芯粒芯片过程中出现过冲和抖动对造成裸芯颗粒吸取过程中划伤、损伤和崩角等质量问题，以及在吸取过程中吸偏芯片，影响分选测试结果。
【专利附图】
【附图说明】
[0012]图1是本发明的示意图；
图2是图1剖视图；
图3是图2微调机构局部剖视图。 【具体实施方式】
[0013]下面结合附图对本发明作进行进一步详细描述。
[0014]见图1至图3所示的单层电容器裸芯粒分选测试机用微调吸片装置。包括吸头安装座滑动套6，其上两侧对称设有导向缓冲机构与导向安装架2连接，在所述导向安装架2中部的螺孔上连接微调机构，该微调机构与安装在吸头安装座滑动套6内的吸取装置连接成一体，所述的吸取装置分别与吸头安装座滑动套6之间设有限位机构和真空气源接口16。本实施例中，所涉及的导向缓冲机构，包括固定设置在吸头安装座滑动套6上的活动轴4，及其上安装的弹簧5，使活动轴4 一端插入导向安装架2的导向套3内。当导向安装架2受到外力冲击后，通过弹簧5缓解了对吸头安装座滑动套6的冲击力，使吸头安装座滑动套6通过滑动轴4相对导向套安装架2之间位移。本实施例中，所涉及的吸取装置，包括带有腔体的吸取安装套13，该吸取安装套13 —端装有密封圈14与吸头8连接，及吸取安装套13的径向开有吸口与吸头安装座滑动套6上的真空气源接口 16连通。本实施例中，所涉及的限位机构，包括吸取安装套13，及径向设有导向限位销7，该导向限位销7的引出端位于吸头安装座滑动套6上开有的限位孔内。这样，通过导向限位销7限制吸取安装套13的起到至终点的位移距离。本实施例中，所涉及微调机构，包括微调主轴10，该微调主轴10 —端带有外螺纹，该端外螺纹与导向安装架2螺纹连接，另一端分别依次安装有轴承11、旋转架18、保持架17和转套12，通过转套12上的外螺纹与吸取安装套13上的内螺纹连接，所述的轴承11通过轴承安装座9固定在吸头安装座滑动套6上。本实施例是通过旋转架18在保持架17中360度旋转的同时进行微调。因此，通过微调机构满足液压或气压作用于导向安装架2与吸取安装套13同步位移的要求。
[0015]上述中，所涉及的微调机构除上述结构之外，还可采用如下设计。包括微调主轴，该微调主轴的两端分别带有内、外螺纹，其中外螺纹与导向安装架2连接，其内螺纹与吸取安装套13上的外螺纹连接。[0016]进一步地，所述的微调主轴是一个实心轴，或是空心轴，通过空心轴的微调主轴与气源连接。这样，可通过气压方式控制微调主轴10带动导向安装架2及吸取安装套13同步位移。
[0017]上述中，保持架17和旋转架18是采用弹性材料制成，保证两体配合后具有一定弹性。另外，保持架17截面为U型，旋转架18截面为T型。
[0018]上述中，所述吸头8的一端面设有一个销孔，吸头8圆周面上开有两组凹槽。
[0019]上述中，吸头8通过定位销15与吸取安装套13连接。
[0020]当装置进行吸片动作时，气缸推杆将驱动力作用在导向套安装架2上，通过安装在滑动轴4上的压缩弹簧5缓冲，微调主轴10连同导向套安装架2 —同沿垂直方向向下运动至目标位置，微调主轴10将运动通过旋转架18、保持架17和转套12和吸取安装套13传递给吸头8，同时，真空气源接口 16提供真空，一同完成芯片的吸取。当作用在导向套安装架2上的气缸推杆将驱动力撤销后，由于压缩弹簧5的反作用力，使吸取安装套13返回至初始位置，吸头8连同吸取安装套13和微调主轴10—同返回至初始位置，完成一次芯片的拾取。
[0021]本发明的微调功能:先旋松锁紧螺母1，通过手动旋转微调主轴10控制压缩弹簧5的压缩量，控制微调压缩力来满足不同拾取速度时的工况要求，与吸头安装座滑动套6配合滑动的导向销轴7确 保吸取安装套13不会随旋转微调主轴10时，同步发生旋转。
【权利要求】
1.一种单层电容器裸芯粒分选测试机用微调吸片装置，包括吸头安装座滑动套(6)，其上两侧对称设有导向缓冲机构与导向安装架(2 )连接，在所述导向安装架(2 )中部的螺孔上连接微调机构，该微调机构与安装在吸头安装座滑动套(6)内的吸取装置连接成一体，所述的吸取装置分别与吸头安装座滑动套(6)之间设有限位机构和真空气源接口(16)。
2.如权利要求1所述的一种单层电容器裸芯粒分选测试机用微调吸片装置，其特征在于:其中导向缓冲机构，包括固定设置在吸头安装座滑动套(6)上的活动轴(4)，及其上安装的弹簧(5)，使活动轴(4) 一端插入导向安装架(2)的导向套(3)内。
3.如权利要求1所述的一种单层电容器裸芯粒分选测试机用微调吸片装置，其特征在于:其中吸取装置，包括带有腔体的吸取安装套(13)，该吸取安装套(13) 一端装有密封的吸头(8)，及吸取安装套(13)的径向开有吸口与吸头安装座滑动套(6)上的真空气源接口(16)连通。
4.如权利要求1所述的一种单层电容器裸芯粒分选测试机用微调吸片装置，其特征在于:其中限位机构，包括吸取安装套(13)，及径向设有导向限位销(7)，该导向限位销(7)的引出端位于吸头安装座滑动套(6)上开有的限位孔内。
5.如权利要求1所述的一种单层电容器裸芯粒分选测试机用微调吸片装置，其特征在于:其中微调机构，包括微调主轴(10)，该微调主轴的两端分别带有内、外螺纹，其中外螺纹与导向安装架(2)连接，其内螺纹与吸取安装套(13)上的外螺纹连接。
6.如权利要求1所述的一种单层电容器裸芯粒分选测试机用微调吸片装置，其特征在于:所述的微调主轴(10)是一个实心轴，或是空心轴，通过空心轴的微调主轴与气源连接。
【文档编号】H01G13/00GK104021950SQ201410227455
【公开日】2014年9月3日 申请日期:2014年5月27日 优先权日:2014年5月27日
【发明者】杨刚, 于国辉, 杨锋, 陈琛, 李臣友 申请人:秦皇岛视听机械研究所