瓦形石英舟的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种瓦形石英舟，构成包括圆弧角为118°的圆弧状本体（3），圆弧状本体（3）的两侧下部设有圆管（2），圆弧状本体（3）下表面设有两根支脚（4），圆弧状本体（3）中部设有腰形通气孔（5），圆弧状本体（3）上表面横向设有多个插片槽（1）。本实用新型采用合适长度的圆弧状本体，在圆弧状本体上开设插片槽，并在其底部开设腰形通气孔，省去了四根槽棒，降低了材料成本（与常规相比，可节省材料成本30%），而且插片方便、稳定，降低了报废率（报废率不超过2%），从而降低了加工成本。
【专利说明】瓦形石英舟
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种石英舟，特别是一种瓦形石英舟。
【背景技术】
[0002]石英舟是扩散工艺的必备工具，无论是半导体器件的扩散，还是太阳能工艺的扩散都大量使用石英器件做为载体，石英舟耐高温不变形，不污染器件而且能重复使用，尤其是近几年来由于太阳能产业发展迅速，人们使用石英舟的式样也越来越多。
[0003]常规的石英舟包括一舟本体，舟本体上安装支撑脚，支撑脚上安装开有插片槽的槽棒，使用时，散热从支撑脚下方进行散热，该种结构的石英舟所用材料较多，成本较高，而且不易插片，使得报废率较高(报废率在5%)。
实用新型内容
[0004]本实用新型的目的在于，提供一种瓦形石英舟。本实用新型能降低材料成本，方便插片，不易报废。
[0005]本实用新型的技术方案:瓦形石英舟，其特征在于:包括圆弧角为118°的圆弧状本体，圆弧状本体的两侧下部设有圆管，圆弧状本体下表面设有两根支脚，圆弧状本体中部设有腰形通气孔，圆弧状本体上表面横向设有多个插片槽。
[0006]前述的瓦形石英舟中，所述的圆弧状本体的厚度为12mm,长为122mm,圆弧状本体的外圆弧直径为152mm。
[0007]前述的瓦形石英舟中，所述的插片槽的截面是瓦形状的。
[0008]前述的瓦形石英舟中，所述圆管的外径是14mm，内孔直径是8mm。
[0009]前述的瓦形石英舟中，所述的腰形通气孔宽为20mm,长为85mm。
[0010]与现有技术相比，本实用新型采用合适长度的圆弧状本体，在圆弧状本体上开设插片槽，并在其底部开设腰形通气孔，省去了四根槽棒，降低了材料成本(与常规相比，可节省材料成本30%)，而且插片方便、稳定，降低了报废率(报废率不超过2%)，从而降低了加工成本。圆弧状本体的圆弧角为118°，可以使一个圆管做成3个圆弧状本体，从而能最大化使用材料，尽可能降低成本。
【专利附图】
【附图说明】
[0011]图1是本实用新型的结构示意图；
[0012]图2是图1的俯视图。
[0013]附图中的标记为:1_插片槽，2-圆管，3-圆弧状本体，4-支脚，5-腰形通气孔。【具体实施方式】
[0014]下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的说明，但并不作为对本实用新型限制的依据。[0015]实施例。瓦形石英舟，构成如图1和2所示，其特征在于:包括圆弧角R为118°的圆弧状本体3，圆弧状本体3的两侧下部设有圆管2，圆弧状本体3下表面设有两根支脚4，圆弧状本体3中部设有腰形通气孔5，圆弧状本体3上表面横向设有多个插片槽I。
[0016]较好的是所述的圆弧状本体的厚度为12mm,长为122mm,圆弧状本体的外圆弧直径Φ1为152_。不仅达到合理的强度，还能节省材料成本。
[0017]较好的是所述的插片槽I的截面是瓦形状的，具体为:在圆弧状本体3的两侧槽较深，从两侧向中部槽贱浅。这样能更加方便插片，而且插片固定稳定。
[0018]所述圆管2的外径是14mm，内孔直径是8mm。
[0019]所述的腰形通气孔5宽为20mm,长为85mm。
[0020]本实用新型采用合适长度的圆弧状本体，在圆弧状本体上开设插片槽，并在其底部开设腰形通气孔，省去了四根槽棒，降低了材料成本(与常规相比，可节省材料成本30%)，而且插片方便、稳定，降低了报废率(报废率不超过2%)，从而降低了加工成本。圆弧状本体的圆弧角为118°，可以使一个圆管做成3个圆弧状本体，从而能最大化使用材料，尽可能降低成本。
【权利要求】
1.瓦形石英舟，其特征在于:包括圆弧角为118°的圆弧状本体(3)，圆弧状本体(3)的两侧下部设有圆管(2)，圆弧状本体(3)下表面设有两根支脚(4)，圆弧状本体(3)中部设有腰形通气孔(5)，圆弧状本体(3)上表面横向设有多个插片槽(I)。
2.根据权利要求1所述的瓦形石英舟，其特征在于:所述的插片槽(I)的截面是瓦形状的。
3.根据权利要求1所述的瓦形石英舟，其特征在于:所述圆管(2)的外径是14_，内孔直径是8mm。
4.根据权利要求1、2或3所述的瓦形石英舟，其特征在于:所述的腰形通气孔(5)宽为20mm,长为 85mm。
【文档编号】H01L21/673GK203659822SQ201420048813
【公开日】2014年6月18日 申请日期:2014年1月24日 优先权日:2014年1月24日
【发明者】张彩根 申请人:湖州东科电子石英有限公司