技术总结
本发明提供了一种气体喷淋装置，包括：气体分布扩散板、位于所述气体分布扩散板下方的安装基板以及位于所述安装基板下方的气体喷淋头，所述气体分布扩散板的第一表面与所述安装基板的第一表面接触，形成一接触界面处，所述安装基板的第二表面与所述气体喷淋头的第一表面接触，形成另一接触界面处；其中，至少一个所述接触界面处的至少一个表面上涂覆有导热涂层，所述导热涂层为易变形材料。通过本发明设置的导热涂层能够提高气体喷淋装置内的热量传递效率，进而节约能源。
技术研发人员：徐朝阳;杨金全
受保护的技术使用者：中微半导体设备（上海）有限公司
文档号码：201510408292
技术研发日：2015.07.13
技术公布日：2017.01.25