1.两腔室集定位与对中心功能于一体的双层支架结构，其特征在于，该支架结构包括高位双层晶圆支架与低位双层晶圆支架；所述高位双层晶圆支架设有晶圆支架高位第一层、晶圆支架高位第二层，所述低位双层晶圆支架上设有晶圆支架低位第一层、晶圆支架低位第二层；所述晶圆支架高位第一层、晶圆支架高位第二层、晶圆支架低位第一层与晶圆支架低位第二层上分别设有支撑晶圆的蓝宝石球、限位圆柱块，所述晶圆支架高位第一层与晶圆支架低位第一层上分别设有安装螺纹孔，所述高位双层晶圆支架与低位双层晶圆支架上还分别设有对中心孔；
所述支撑晶圆的蓝宝石球与限位圆柱块直接安装在高位双层晶圆支架的安装孔内，再通过安装螺纹孔将高位双层晶圆支架固定在负载腔体上使晶圆支架高位第一层、晶圆支架高位第二层装入腔室A内；同时，将支撑晶圆的蓝宝石球与限位圆柱块直接安装在低位双层晶圆支架的安装孔内，再通过安装螺纹孔将低位双层晶圆支架固定在负载腔体上使晶圆支架低位第一层、晶圆支架低位第二层装入腔室B内；四片晶圆通过机械手分别放置于晶圆支架高位第一层、晶圆支架高位第二层、晶圆支架低位第一层与晶圆支架低位第二层上。
2.如权利要求1所述的两腔室集定位与对中心功能于一体的双层支架结构，其特征在于,所述高位双层晶圆支架、低位双层晶圆支架分别与负载腔体之间的晶圆支架定位位置为精加工平面，可实现高 位双层晶圆支架与低位双层支架在负载腔体内的准确定位。
3.如权利要求1所述的两腔室集定位与对中心功能于一体的双层支架结构，其特征在于，所述高位双层晶圆支架上的晶圆支架高位第一层、晶圆支架高位第二层分别与所述低位双层晶圆支架上的晶圆支架低位第一层、晶圆支架低位第二层不等高，当晶圆迹线不处于对中心的位置，机械手可以自动调整并对中心，这样可以同时实现对四片晶圆的操作。