1.一种等离子体系统的控制方法，其特征在于，包含：
决定在一基板支撑件周围的多个能够单独测量位置处的离子分布；
比较在至少两个该些能够单独测量位置测得的离子分布；以及
若至少两个该些能够单独测量位置测得的离子分布之间的差异大于一临限值，则调整该等离子体系统的参数。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，该决定的步骤包含：
在每一该些能够单独测量位置处传导一电流；以及
至少根据该传导电流而决定每一该些能够单独测量位置的离子分布。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，该调整的步骤包含调整该基板支撑件的一偏压。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，该调整的步骤包含调整一等离子体源的一或多个设定，该等离子体源产生一等离子体。
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，更包含若至少两个该些能够单独测量位置测得的离子分布之间的差异大于一第二临限值，则关闭该等离子体系统。
6.一种使用等离子体处理基板的方法，其特征在于，包含：
将该基板设置于一等离子体腔室内的一支撑件上；
向该基板施加一偏压；
使用一等离子体系统以在该等离子体腔室内产生一等离子体；
引导来自该等离子体的离子前往该基板；
在彼此实体相隔离且围绕该支撑件间隔设置的多个区段处收集该些离子中的至少一些离子，其中每一该些区段包含一导电元件，该导电元件配置以传导因接收自该等离子体的该些离子而产生的一电流；以及
至少根据在对应的该导电元件传导的该电流而决定所对应的该导电元件的离子分布。
7.一种离子收集器，其特征在于，包含：
多个区段，彼此实体相隔离且围绕一基板支撑件间隔设置，其中每一该些区段包含一导电元件，该导电元件配置以传导因接收自一等离子体的离子而产生的一电流；以及
多个积分器，每一该些积分器耦接至对应的该导电元件，其中每一该些积分器配置以至少根据在对应的该导电元件处的该传导电流来决定所对应的该导电元件的离子分布。
8.根据权利要求7所述的离子收集器，其特征在于，该些区段经排列以使得该些导电元件中的一者与最邻近的相邻两个该些导电元件之间的距离是相同的。
9.根据权利要求7所述的离子收集器，其特征在于，更包含多个磁性元件，其中每一该些磁性元件耦接至对应的该导电元件。
10.根据权利要求7所述的离子收集器，其特征在于，该些积分器耦接至一控制器，该控制器配置以从每一该些积分器中接收离子分布决定。