技术总结
一种离子收集器、等离子体系统的控制方法及处理基板的方法，离子收集器包含多个区段及多个积分器。多个区段与彼此实体隔离且围绕基板支撑件设置。每一区段包含导电元件，此导电元件用以传导因来自于等离子体的离子所产生的电流。每一个积分器耦接至对应的导电元件。积分器设计以决定对应的导电元件的离子分布，离子分布的决定至少基于导电元件所传导的电流。离子收集器可用以提高一或多个晶圆的均匀性测量结果的准确度，从而产生更佳的系统控制及更高的装置产率。
技术研发人员：陈嘉任;吴奇颖;陈嘉直
受保护的技术使用者：台湾积体电路制造股份有限公司
文档号码：201510860494
技术研发日：2015.11.30
技术公布日：2017.03.22