1.一种检验系统，其包括：
光学系统，其用于捕获晶片的表面片段的图像，所述光学系统具有透镜元件，其中所述透镜元件的位置可经改变以修改场曲率；及
控制器，其经配置以：
接收所述晶片的所述表面的形貌数据；且
基于所述晶片的所述表面的所述形貌数据而改变所述透镜元件的位置，使得修改所述光学系统的所述场曲率，且所述片段中的每一者的图像跨越所述片段焦点对准。
2.根据权利要求1所述的检验系统，其进一步包括用于产生所述表面的所述形貌数据的测绘系统，其中所述测绘系统可操作地连接到所述控制器。
3.根据权利要求2所述的检验系统，其中所述测绘系统包括经配置以产生跨越所述晶片扫描的激光束的至少一个激光器。
4.根据权利要求1所述的检验系统，其中所述光学系统包括：
第一透镜元件，其具有正折射能力，所述第一透镜元件包括一或多个透镜；
第二透镜元件，其具有负折射能力，所述第二透镜元件邻近于所述第一透镜元件的成像侧，且所述第二透镜元件包括一或多个透镜；及
第三透镜元件，其具有正折射能力，所述第三透镜元件邻近于所述第二透镜元件的成像侧，且所述第三透镜元件包括一或多个透镜。
5.根据权利要求4所述的检验系统，其中所述第一透镜元件及所述第二透镜元件的所述相对折射能力使得来自无穷远处的在所述光轴上的对象的光线迹线在所述第二透镜元件与所述第三透镜元件之间的空间中大约平行于所述光轴，且所述第一透镜元件及所述第二透镜元件相对于所述第三透镜元件可移动，以改变所述光学系统的所述场曲率而不改变所述光学系统的后焦距。
6.根据权利要求4所述的检验系统，其进一步包括与所述控制器通信的致动器，所述致动器经配置以改变所述第一透镜元件及/或所述第二透镜元件的所述位置。
7.根据权利要求1所述的检验系统，其进一步包括跨越所述晶片的维度而布置的额外光学系统。
8.根据权利要求1所述的检验系统，其进一步包括经配置以固持所述晶片的卡盘。
9.根据权利要求8所述的检验系统，其中所述卡盘包括边缘夹持卡盘。
10.根据权利要求1所述的检验系统，其进一步包括经配置以使所述晶片或所述光学系统中的一者相对于彼此移动的扫描系统。
11.一种非暂时性计算机可读存储媒体，其包括用于在一或多个计算装置上执行以下步骤的一或多个程序：
接收晶片的表面的至少一片段的形貌数据；且
基于所述形貌数据而修改光学系统的场曲率，使得所述表面的多个片段中的每一者的图像跨越所述片段焦点对准。
12.根据权利要求11所述的非暂时性计算机可读存储媒体，其进一步包括测绘晶片的所述表面以确定所述形貌数据。
13.根据权利要求11所述的非暂时性计算机可读存储媒体，其进一步包括使所述晶片或所述光学系统中的一者相对于所述晶片或所述光学系统的另一者移动。
14.一种检验方法，其包括：
在控制器处接收晶片的表面的至少一片段的形貌数据；
基于所述接收到的形貌数据而修改具有对应于所述片段的视野的光学系统的场曲率；及
使用所述经修改场曲率捕获所述片段的图像。
15.根据权利要求14所述的检验方法，其进一步包括通过使至少一个激光束跨越所述晶片的所述表面扫描而测绘所述表面以确定所述形貌数据。
16.根据权利要求14所述的检验方法，其中当扫描所述晶片时持续修改所述光学系统的成像透镜的所述场曲率。
17.根据权利要求14所述的检验方法，其进一步包括使所述晶片或所述光学系统中的一者相对于彼此移动。
18.根据权利要求14所述的检验方法，其进一步包括使用卡盘固持所述晶片。
19.根据权利要求18所述的检验方法，其中所述卡盘是边缘夹持卡盘。