平坦化膜用或微透镜用树脂组合物的制作方法

技术特征：

1.一种平坦化膜用或微透镜用树脂组合物，含有：具有下述式(1)所示的结构单元和式(2)所示的结构单元的共聚物、以及溶剂，

式中，R⁰分别独立地表示氢原子或甲基，R¹表示单键或碳原子数为1～5的亚烷基，该亚烷基在其主链上可以具有醚键，R²表示环氧基、或具有环氧环的碳原子数为5～12的有机基团。

2.根据权利要求1所述的平坦化膜用或微透镜用树脂组合物，所述式(1)所示的结构单元由下述式(1-1)或式(1-2)表示，

式中，R⁰和R¹分别与权利要求1中的R⁰和R¹的含义相同。

3.根据权利要求1或2所述的平坦化膜用或微透镜用树脂组合物，所述共聚物为进一步具有下述式(3)所示的结构单元的共聚物，

式中，R⁰与权利要求1中的R⁰含义相同，R³表示氢原子、碳原子数为1～10的烷基、碳原子数为1～10的烷氧基、氰基、羧基、苯基或卤代基。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的平坦化膜用或微透镜用树脂组合物，其还含有促进所述共聚物的固化的催化剂。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的平坦化膜用或微透镜用树脂组合物，基于从所述树脂组合物中除去所述溶剂而得的固体成分中的含量，包含0.1质量％～20质量％的所述催化剂。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的平坦化膜用或微透镜用树脂组合物，所述共聚物的重均分子量为1,000～50,000。

7.一种平坦化膜的制作方法，将权利要求1～6中任一项所述的树脂组合物涂布在基板上，以高于100℃且小于180℃的温度进行烘烤。

8.根据权利要求7所述的平坦化膜的制作方法，在所述基板上形成滤色器，在该滤色器上涂布所述树脂组合物。

9.一种微透镜的制作方法，将权利要求1～6中任一项所述的树脂组合物涂布在形成有滤色器的基板上，以高于100℃且小于180℃的温度进行烘烤从而形成树脂膜，在所述树脂膜上形成抗蚀剂图案，使所述抗蚀剂图案回流从而形成透镜图案，将所述透镜图案作为蚀刻掩模来对所述树脂膜进行回蚀。