1.一种用于同步暗场及差分干涉对比检验的设备,其包括:
一或多个照明源;
样本载物台,其经配置以固定样本;
第一传感器;
第二传感器;及
光学子系统,其包括:
物镜;
一或多个光学元件,其经布置以通过所述物镜将来自所述一或多个照明源的照明引导到所述样本的表面,
其中所述物镜经配置以收集来自所述样本的所述表面的收集到的信号,其中所述收集到的信号包含来自所述样本的基于散射的信号与基于相位的信号中的至少一者;及
一或多个分离光学元件,其经布置以通过沿着暗场路径将暗场信号引导到所述第一传感器,且沿着差分干涉对比路径将差分干涉对比信号引导到所述第二传感器,而将所述收集到的信号在空间上分离成所述暗场信号与所述差分干涉对比信号,
其中所述一或多个分离光学元件包括反射式光瞳屏蔽件,所述反射式光瞳屏蔽件经布置以基于所选择的NA阈值将所述收集到的信号在空间上分离成暗场信号与差分干涉对比信号。
2.根据权利要求1所述的设备,进一步包括:
控制器,其以通信方式耦合到所述第一传感器与所述第二传感器,其中所述控制器经配置以:
从所述第一传感器接收与所述样本相关联的所述暗场信号的一或多个测量;且从所述第二传感器接收与所述样本相关联的所述差分干涉对比信号的一或多个测量。
3.根据权利要求2所述的设备,其中所述控制器进一步经配置以执行数据融合过程,以同步地特征化所述样本的一或多个部分与所述接收到的暗场信号及所述接收到的差分干涉对比信号。
4.根据权利要求2所述的设备,其中所述控制器进一步经配置以执行数据融合过程,以独立地特征化所述样本的一或多个部分与所述接收到的暗场信号或所述接收到的差分干涉对比信号中的至少一者。
5.根据权利要求1所述的设备,其中所述光学子系统的所述反射式光瞳屏蔽件包括:
镜像光瞳屏蔽件,其经配置以沿着暗场路径反射具有大于所选择的NA阈值的NA的照明,所述镜像光瞳屏蔽件进一步经配置以沿着差分干涉对比路径传输具有小于所述所选择的NA阈值的NA的照明。
6.根据权利要求1所述的设备,其中所述光学子系统的所述反射式光瞳屏蔽件包括:
至少一镜像光瞳屏蔽件,其经配置以沿着暗场路径反射具有小于所选择的NA阈值的NA的照明,所述镜像光瞳屏蔽件进一步经配置以沿着差分干涉对比路径传输具有大于所述所选择的NA阈值的NA的照明。
7.根据权利要求1所述的设备,其中所述光学子系统的所述一或多个分离光学元件包括:
分束器,其经配置以将所述收集到的信号分离成沿着所述暗场路径引导到所述第一传感器的第一部分,与沿着所述差分干涉对比路径引导到所述第二传感器的第二部分。
8.根据权利要求1所述的设备,其中所述一或多个照明源包括:
一或多个激光器。
9.根据权利要求1所述的设备,其中所述第一传感器包括:
一维传感器。
10.根据权利要求1所述的设备,其中所述第二传感器包括:
二维传感器。
11.根据权利要求1所述的设备,其中所述设备经配置作为晶片检验工具。
12.根据权利要求1所述的设备,其中所述设备经配置作为用于生物样本的显微镜。
13.一种用于同步暗场及差分干涉对比检验的设备,其包括:
一或多个照明源;
样本载物台,其经配置以固定样本;及
光学子系统,其包括:
物镜;
镜像光瞳屏蔽件,其经配置以传输具有低于所选择的NA阈值的NA的照明;
一或多个光学元件,其经布置以引导具有低于所述所选择的NA阈值的NA的照明通过所述镜像光瞳屏蔽件,其中所述一或多个光学元件进一步经配置以引导通过所述镜像光瞳屏蔽件传输的照明通过所述物镜且到所述样本的表面,
其中所述物镜经配置以收集来自所述样本的所述表面的收集到的信号,其中所述收集到的信号包含来自所述样本的散射信号与相位信号中的至少一者,
其中所述镜像光瞳屏蔽件进一步经配置以通过沿着暗场路径将具有超出所述所选择的NA阈值的NA的所述收集到的照明的一部分反射到第一传感器,且沿着差分干涉对比路径将具有低于所述所选择的NA阈值的NA的所述收集到的照明的一部分传输到第二传感器,来将所述收集到的信号在空间上分离成暗场信号与差分干涉对比信号。
14.根据权利要求13所述的设备,其中所述一或多个照明源包括:
一或多个激光器。
15.根据权利要求13所述的设备,其中所述第一传感器包括:
一维传感器。
16.根据权利要求13所述的设备,其中所述第二传感器包括:
二维传感器。
17.根据权利要求13所述的设备,其中所述设备经配置作为晶片检验工具。
18.根据权利要求13所述的设备,其中所述设备经配置作为用于生物样本的显微镜。
19.一种用于同步暗场及差分干涉对比检验的设备,其包括:
一或多个照明源;
样本载物台,其经配置以固定样本;及
光学子系统,其包括:
物镜;
一或多个光学元件,其经配置以引导照明通过所述物镜且到所述样本的表面,其中所述物镜经配置以收集来自所述样本的所述表面的收集到的信号,其中所述收集到的信号包含来自所述样本的散射信号与相位信号中的至少一者,
分束器,其经配置以沿着暗场路径引导所述收集到的照明的第一部分,其中所述分束器进一步经配置以沿着差分干涉对比路径传输所述收集到的照明的第二部分;
光瞳块,其沿着所述暗场路径安置且经配置以阻挡具有低于所选择的NA阈值的NA的照明;及
光瞳屏蔽件,其沿着所述差分对比干涉路径安置且经配置以阻挡具有超出所述所选择的NA阈值的NA的照明;
第一传感器,其经配置以收集由所述暗场路径的所述光瞳块所传输的照明;及
第二传感器,其经配置以收集由所述差分干涉对比路径的所述光瞳屏蔽件所传输的照明。
20.根据权利要求19所述的设备,其中所述一或多个照明源包括:
一或多个激光器。
21.根据权利要求19所述的设备,其中所述第一传感器包括:
一维传感器。
22.根据权利要求19所述的设备,其中所述第二传感器包括:
二维传感器。
23.根据权利要求19所述的设备,其中所述设备经配置作为晶片检验工具。
24.根据权利要求19所述的设备,其中所述设备经配置作为用于生物样本的显微镜。