半导体连接用的Cu柱用圆柱状形成物的制作方法

文档序号:12513871阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种圆柱状形成物,其特征在于,

以Cu为主成分,

该圆柱状形成物是直径为50~100μm的圆柱形状,该圆柱的高度/直径比为2.0以上,

作为半导体连接用的Cu柱使用。

2.一种圆柱状形成物,其特征在于,

以Cu为主成分,

该圆柱状形成物是直径为100~400μm的圆柱形状,

作为半导体连接用的Cu柱使用。

3.根据权利要求2所述的圆柱状形成物,其特征在于,圆柱的高度为200~800μm。

4.根据权利要求1~3的任一项所述的圆柱状形成物,其特征在于,还以总计为5.0质量%以下的范围含有Pd、Pt、Au、Ni中的一种或两种以上。

5.根据权利要求1~4的任一项所述的圆柱状形成物,其特征在于,还含有15质量ppm以下的Ti。

6.根据权利要求1~5的任一项所述的圆柱状形成物,其特征在于,还含有150质量ppm以下的P。

7.根据权利要求1~6的任一项所述的圆柱状形成物,其特征在于,作为杂质而含有的S含量和Cl含量的总计为1质量ppm以下。

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