同轴金属柱的制作方法

文档序号:12160029阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种同轴金属柱,其特征是,包括轴心金属柱、介电层和外层金属层,轴心金属柱设置于封装基材的上层金属垫的上表面;介电层包覆于轴心金属柱的外侧表面;外层金属层包覆于介电层的外侧表面。

2.如权利要求1所述的同轴金属柱,其特征是,轴心金属柱底部电性耦合于金属垫的上表面。

3.如权利要求1所述的同轴金属柱,其特征是,金属垫为封装基材的电路系统的表面链接端点。

4.如权利要求3所述的同轴金属柱,其特征是,电路系统进一步包括第一底部电路重新分配层、上层金属垫、第二底部电路重新分配层和下层金属垫,第一底部电路重新分配层设置于同轴金属柱的底部,埋设于第一介电层中;上层金属垫设置于第一底部电路重新分配层的上方,具有第一密度,适合将封装基材电性耦合至外部的系统电路板;第二底部电路重新分配层设置于第一底部电路重新分配层的下方,埋入至第二介电层中;下层金属垫设置于第二底部电路重新分配层下方,具有第二密度;第二密度高于第一密度,适合于芯片安置用。

5.如权利要求4所述的同轴金属柱,其特征是,外部的系统电路板包括轴心金属垫和环形金属垫,轴心金属垫设置于外部的系统电路板上;环形金属垫环绕于轴心金属垫的外围,电性独立于轴心金属垫;当封装基材与外部的系统电路板连接时,轴心金属垫对应连接同轴金属柱的轴心金属柱,环形金属垫对应连接同轴金属柱的外层金属层。

6.一种同轴金属柱的制作方法,其特征是,包括如下工艺步骤:

准备基材,表面具有上层介电层;多个上层金属垫裸露于上方,具有一个密度适于将基材电性耦合至外部的系统电路板;具有下层介电层,多个下层金属垫裸露于下方,适于芯片安置用;

涂布种子层,于上金属垫的上表面与上层介电层的上表面;

涂布第一光阻层,于种子层的上表面;

图案化第一光阻层,制作多个第一沟槽;

电镀金属于第一沟槽内,制作多个金属柱;

移除第一光阻层;

移除金属柱与金属柱之间的种子层;

涂布第二光阻层,于介电层的上表面与金属柱的上表面;

图案化第二光阻层,制作多个第二沟槽,第二沟槽环绕特定的金属柱;

填充介电材料于第二沟槽内,包覆裸露的金属柱;

移除顶部多余材料,使第二光阻层、介电材料以及金属柱具有相同的高度;

移除第二光阻层;

涂布第三光阻层;

图案化第三光阻层,制作多个第三沟槽,第三沟槽环绕已被介电材料包覆之特定的金属柱;

无电电镀金属材料层,包覆于介电材料的裸露表面与轴心金属柱的上表面;

移除第三光阻层;

移除覆盖于介电材料上表面与轴心金属柱上表面的金属材料层。

7.如权利要求6所述的同轴金属柱的制作方法,其特征是,进一步包括如下工艺步骤:

至少一片芯片,电性耦合至下层金属垫;

底部填充材料,填充于芯片与基材之间的空间;

切割得到多个芯片封装单元。

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