荷电粒子束装置、试样观察系统的制作方法

技术总结
本发明提供一种荷电粒子束装置、试样观察系统。该荷电粒子束装置具备控制荷电粒子束装置的处理部，该荷电粒子束装置通过对试样照射一次电子束，取得与上述试样相关的信息，上述处理部使图像显示部显示表示当前的上述一次电子束的照射状态的图。

技术研发人员：小西弥生;佐藤贡;高野昌树;玉山尚太朗;西村雅子;渡边俊哉;许斐麻美
受保护的技术使用者：株式会社日立高新技术
文档号码：201610517840
技术研发日：2013.03.15
技术公布日：2016.11.23