技术总结
本发明涉及通电的静电法拉第屏蔽用于修复ICP中的介电窗，具体公开了各种实施方式，包括具有多个电引线的静电屏，其在等离子体处理腔室中使用。提供多个瓣状件组，每个瓣状件组包括大致平坦的结构，其中，每个瓣状件组被电连接到多个电引线中的至少一个，并且其中，每个瓣状件组与任何其它瓣状件组绝缘，其中，多个瓣状件组形成围绕垂直轴的径向对称。每个基本平坦的结构包括导电环的一部分和多个导电的瓣状件，每个导电的瓣状件连接到导电环的所述部分，其中，所述至少一个电引线被连接到基本上等电位的每个瓣状件组。
技术研发人员：罗伯特·G·奥尼尔;尼尔·M·P·本杰明;张杰
受保护的技术使用者：朗姆研究公司
文档号码：201610624362
技术研发日：2016.08.01
技术公布日：2017.03.01