一种基于慢波结构的新型均衡器的制作方法

文档序号:11956927阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于慢波结构的新型均衡器,其特征在于:包括由下及上依次层叠的金属接地层(0)、第一介质层(1)、第二介质层(2)以及金属层(3),所述第一介质层(1)、第二介质层(2)均设有金属化通孔,所述金属层(3)包括半模基片集成波导表层金属(31)、谐振器表层金属(32)、第一电阻(33)以及第二电阻(34),所述金属接地层(0)、半模基片集成波导表层金属(31)与金属化通孔构成半模基片集成波导结构,所述金属接地层(0)、谐振器表层金属(32)与金属化通孔构成两个四分之一模基片集成波导谐振器,所述模基片集成波导表层金属(31)、谐振器表层金属(32)通过所述第一电阻(33)、第二电阻(34)连接。

2.根据权利要求1所述的基于慢波结构的新型均衡器,其特征在于:所述第二介质层(2)包括第二介质基片(20),以及设置于第一介质基板(20)上部呈T型排列的第一金属化通孔阵列(21)、第二金属化通孔阵列(22)、第三金属化通孔阵列(23),设置于第一介质基板(20)上部的第四金属化通孔阵列(24),所述第二金属化通孔阵列(22)为T型竖部。

3.根据权利要求2所述的基于慢波结构的新型均衡器,其特征在于:所述第一金属化通孔阵列(21)、第三金属化通孔阵列(23)均包括沿第二介质层(20)上侧呈一排分布的若干个金属化通孔,所述第二金属化通孔阵列(22)包括垂直于第一金属化通孔阵列(21)和第三金属化通孔阵列(23)呈一排分布的若干个金属化通孔,所述第四金属化通孔阵列(24)沿第二介质层(20)下侧呈一排分布的若干个金属化通孔。

4.根据权利要求2所述的基于慢波结构的新型均衡器,其特征在于:所述第一介质层(1)包括第一介质基板(10),以及设置于第一介质基板(10)上部呈T型排列的第五金属化通孔阵列(15)、第六金属化通孔阵列(16)以及第七金属化通孔阵列(17),位于T型竖部两侧的第一金属化通孔阵列(11)、第二金属化通孔阵列(12),以及由上至下依次设置于第一介质基板(10)下部的第三金属化通孔阵列(13)、第四金属化通孔阵列(14),所述第六金属化通孔阵列(16)为T型竖部。

5.根据权利要求4所述的基于慢波结构的新型均衡器,其特征在于:所述第五金属化通孔阵列(15)、第七金属化通孔阵列(17)均包括沿第一介质层(10)上侧呈一排分布的若干个金属化通孔,所述第六金属化通孔阵列(16)垂直于第五金属化通孔阵列(15)和第七金属化通孔阵列(17)呈一排分布的若干个金属化通孔,所述第四金属化通孔阵列(14)包括沿第一介质层(10)下侧呈一排分布的若干个金属化通孔,所述第三金属化通孔阵列(13)包括呈两排分布的若干个金属化通孔,所述第一金属化通孔阵列(11)、第二金属化通孔阵列(12)均包括呈正方形分布的若干个金属化通孔。

6.根据权利要求4所述的基于慢波结构的新型均衡器,其特征在于:所述半模基片集成波导表层金属(31)与第四金属化通孔阵列(24)、第四金属化通孔阵列(14)、第三金属化通孔阵列(13)以及金属接地层(0)构成半模基片集成波导结构。

7.根据权利要求4所述的基于慢波结构的新型均衡器,其特征在于:所述谐振器表层金属(32)与第一金属化通孔阵列(21)、第二金属化通孔阵列(22)、第一金属化通孔阵列(11)、第五金属化通孔阵列(15)、第六金属化通孔阵列(16)以及金属接地层(0)构成四分之一模基片集成波导谐振器一。

8.根据权利要求4所述的基于慢波结构的新型均衡器,其特征在于:所述谐振器表层金属(32)与第二金属化通孔阵列(22)、第三金属化通孔阵列(23)、第二金属化通孔阵列(12)、第六金属化通孔阵列(16)、第七金属化通孔阵列(17)以及金属接地层(0)构成四分之一模基片集成波导谐振器二。

9.根据权利要求1-8任一所述的基于慢波结构的新型均衡器,其特征在于:所述金属接地层(0)包括虚拟金属板(00),呈板状。

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