高可靠性双向电压抑制器件的制作方法

文档序号:12370138阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种高可靠性双向电压抑制器件,包括具有第一重掺杂N型区(2)、重掺杂P型区(1)和第二重掺杂N型区(9)的P型单晶硅片(3),此第一重掺杂N型区(2)、第二重掺杂N型区(9)分别位于重掺杂P型区(1)两侧,P型单晶硅片(3)两侧面四周分别具有第一沟槽(4)、第二沟槽(10),此第一沟槽(4)位于第一重掺杂N型区(2)四周并延伸至重掺杂P型区(1)的上部,此第二沟槽(10)位于第二重掺杂N型区(9)四周并延伸至重掺杂P型区(1)的下部;所述第一沟槽(4)的表面覆盖有第一绝缘钝化保护层(5),此第一绝缘钝化保护层(5)由第一沟槽(4)底部延伸至第一重掺杂N型区(2)表面的边缘区域,所述第二沟槽(10)的表面覆盖有第二绝缘钝化保护层(11),此第二绝缘钝化保护层(11)由第二沟槽(10)底部延伸至第二重掺杂N型区(9)表面的边缘区域;第一重掺杂N型区(2)的表面覆盖作为电极的第一金属层(6),第二重掺杂N型区(9)的表面覆盖作为电极的第二金属层(7);

其特征在于:所述重掺杂P型区(1)与第一重掺杂N型区(2)接触的区域且位于边缘的四周区域具有第一轻掺杂N型区(8),此第一轻掺杂N型区(8)的上表面与第一重掺杂N型区(2)的接触,此第一轻掺杂N型区(8)的外侧面与第一沟槽(4)接触;所述重掺杂P型区(1)与第二重掺杂N型区(9)接触的区域且位于边缘的四周区域具有第二轻掺杂N型区(12),此第二轻掺杂N型区(12)的下表面与第二重掺杂N型区(9)的接触,此第二轻掺杂N型区(12)的外侧面与第二沟槽(10)接触;

所述第一轻掺杂N型区(8)与重掺杂P型区(1)的接触面为弧形面,所述第二轻掺杂N型区(12)与重掺杂P型区(1)的接触面为弧形面。

2.根据权利要求1所述的高可靠性双向电压抑制器件,其特征在于:所述第一轻掺杂N型区(8)的浓度扩散结深大于第一重掺杂N型区(2)的浓度扩散结深,比值为1.5~2:1。

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