基于金属尖端‑空气槽的表面等离子体激元的纳米激光器的制作方法

技术特征：

1.一种基于金属尖端-空气槽的表面等离子体激元的纳米激光器，其特征在于，包括绝缘层(3)以及通过绝缘层(3)相连的增益介质腔体(1)、空气间隙层(2)和金属尖端层(4)，其中：

空气间隙层(2)为绝缘层(3)的一道空气槽，设置在绝缘层(3)上边沿的中间位置；增益介质腔体(1)设置在空气间隙层(2)的上方，增益介质腔体(1)的横截面与空气间隙层(2)的横截面通过两个交点相连；金属尖端层(4)设置在空气间隙层(2)的下方，且金属尖端层(4)被绝缘层(3)包裹，金属尖端层(4)横截面的一个尖端与空气间隙层(2)的横截面相交于一点。

2.根据权利要求1所述的基于金属尖端-空气槽的表面等离子体激元的纳米激光器，其特征在于，增益介质腔体(1)为通过元素掺杂形成的量子阱结构或超晶格结构，增益介质腔体(1)的材料为硫化镉、氧化锌、氮化镓、砷化镓、硒化镉、氧化锌中的任意一种。

3.根据权利要求1所述的基于金属尖端-空气槽的表面等离子体激元的纳米激光器，其特征在于，增益介质腔体(1)的横截面形状为正方形、三角形、圆形、六边形、五边形、椭圆、梯形中任意一种。

4.根据权利要求1所述的基于金属尖端-空气槽的表面等离子体激元的纳米激光器，其特征在于，空气间隙层(2)的横截面形状为正方形、三角形、圆形、六边形、五边形、椭圆、梯形中任意一种。

5.根据权利要求1所述的基于金属尖端-空气槽的表面等离子体激元的纳米激光器，其特征在于，金属尖端层(4)的横截面形状为正方形、三角形、六边形、五边形梯形中任意一种。

6.根据权利要求1所述的基于金属尖端-空气槽的表面等离子体激元的纳米激光器，其特征在于，金属尖端层材料为金、银、铝、铜、钛、镍、铬中任意一种或几种的合金。

7.根据权利要求1所述的基于金属尖端-空气槽的表面等离子体激元的纳米激光器，其特征在于，增益介质腔体(1)和金属尖端层(4)表面的等离子激元之间能够发生耦合，在绝缘介层(3)中形成亚波长限制的等离子激元杂化振荡光场。

8.根据权利要求1所述的基于金属尖端-空气槽的表面等离子体激元的纳米激光器，其特征在于，金属尖端层(4)的金属尖角的角度为55至75度。

9.根据权利要求1所述的基于金属尖端-空气槽的表面等离子体激元的纳米激光器，其特征在于，空气间隙层(2)的宽度为10至20纳米。

10.根据权利要求1所述的基于金属尖端-空气槽的表面等离子体激元的纳米激光器，其特征在于，空气间隙层(2)的宽度小于增益介质腔体(1)半径的二分之一，金属尖端顶角距其底边的位置大于增益介质腔体(1)的半径，且不大于增益介质腔体(1)直径的2倍。