技术总结
本公开涉及用于结构化衬底的方法。根据各个实施例，处理衬底的方法可包括：在包括延伸到衬底中的至少一个外形特征的衬底之上设置粘性材料，以在衬底之上形成保护层；在粘性材料与衬底的接触时段期间调整粘性材料的粘度，以稳定所设置的粘性材料的空间分布；使用保护层作为掩模来处理衬底；以及在处理衬底之后去除保护层。
技术研发人员：M·米希兹;F·伯恩斯坦纳;M·海恩里希
受保护的技术使用者：英飞凌科技股份有限公司
文档号码：201611073704
技术研发日：2016.11.29
技术公布日：2017.06.09