二硫化钼薄膜条带结构可调太赫兹波滤波器的制作方法

文档序号:12481243阅读:来源:国知局
技术总结
本发明公开了一种二硫化钼薄膜条带结构可调太赫兹波滤波器。它包括基底层、二氧化硅层、右端矩形二硫化钼薄膜、条状二硫化钼薄膜、左端矩形二硫化钼薄膜、第一圆形开槽、第二圆形开槽、第三圆形开槽、第四圆形开槽、第五半圆形开槽、第六半圆形开槽、第七圆形开槽、第八圆形开槽、第九圆形开槽、第十圆形开槽、信号输入端、信号输出端,通过调节施加在二硫化钼薄膜层与基底层之间的偏置直流电压,调节二硫化钼薄膜的有效介电常数,实现太赫兹信号的可调滤波功能。本发明具有结构简单,尺寸小,响应快,操控方法灵活易实现等优点。

技术研发人员:章乐;李九生
受保护的技术使用者:中国计量大学
文档号码:201611206659
技术研发日:2016.12.23
技术公布日:2017.05.31

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