一种用于高性能条纹相机的像增强器所需真空系统的制作方法

文档序号:12537598阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于高性能条纹相机的像增强器所需真空系统,包括依次设置的阴极室(4)、铟封室(5)和阳极室(6),其特征在于,所述阴极室(4)和铟封室(5)之间以及铟封室(5)和阳极室(6)之间均通过传递腔(7)相互连通,所述传递腔(7)的中部设置有与该传递腔(7)对应的挡板阀(8);所述阴极室(4)、铟封室(5)和阳极室(6)各通过管路分别连接有机械泵(1)、分子泵(2)、离子泵(3)。

2.根据权利要求1所述的一种用于高性能条纹相机的像增强器所需真空系统,其特征在于,所述真空系统的顶部固定连接有烘箱(9)。

3.根据权利要求2所述的一种用于高性能条纹相机的像增强器所需真空系统,其特征在于,所述传递腔(7)内设置有分别与所述阴极室(4)、铟封室(5)和阳极室(6)对应的小车行走机构。

4.根据权利要求3所述的一种用于高性能条纹相机的像增强器所需真空系统,其特征在于,所述管路采用RSV316不锈钢材料。

5.根据权利要求4所述的一种用于高性能条纹相机的像增强器所需真空系统,其特征在于,所述机械泵(1)为涡旋干泵。

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