一种用于高性能条纹相机的像增强器所需真空系统的制作方法

本实用新型涉及真空系统技术领域，具体来说，涉及一种用于高性能条纹相机的像增强器所需真空系统。

背景技术：

超快现象广泛地出现在自然或科学技术研究中，例如植物的光合作用过程、超大规模集成电路所产生的电脉冲、半导体材料载流子寿命、激光材料中的超快光激发态驰豫过程、化学反应的分子动力学过程、生物材料荧光发射等。因此，具有超高时间分辨、高空间分辨、高灵敏度、大动态测量能力的高时空精密物理量诊断技术，是超快现象研究领域不可或缺的重要手段。

高性能条纹相机作为目前唯一的高时空分辨率的超快现象线性诊断工具，在时间分辨的超快现象研究中发挥着难以替代的作用，对研究自然科学、能源、材料、生物、光物理、光化学、激光技术、强光物理、高能物理等研究及技术领域具有重要意义。

但现有的真空系统功能单一，无法实现高性能条纹相机的像增强器所需的多种功能。因此，研制出一种可实现高性能条纹相机的像增强器所需功能的真空系统，便成为业内人士亟需解决的问题。

技术实现要素：

本实用新型提出了一种用于高性能条纹相机的像增强器所需真空系统，克服了现有产品中上述方面的不足。

本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：

一种用于高性能条纹相机的像增强器所需真空系统，包括依次设置的阴极室、铟封室和阳极室，所述阴极室和铟封室之间以及铟封室和阳极室之间均通过传递腔相互连通，所述传递腔的中部设置有与该传递腔对应的挡板阀；所述阴极室、铟封室和阳极室各通过管路分别连接有机械泵、分子泵、离子泵。

进一步地，所述真空系统的顶部固定连接有烘箱。

进一步地，所述传递腔内设置有分别与所述阴极室、铟封室和阳极室对应小车行走机构。

进一步地，所述管路采用RSV316不锈钢材料。

进一步地，所述机械泵为涡旋干泵。

本实用新型的有益效果为：可使获得的工作真空度可以达到10^-6Pa数量级；可对MCP进行高温烘烤以及电子冲刷去气；可满足多种工艺需求。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型实施例所述的用于高性能条纹相机的像增强器所需真空系统的整体结构示意图；

图2是根据图1所述的用于高性能条纹相机的像增强器所需真空系统的真空室部分的结构示意图；

图3是根据图1所述的用于高性能条纹相机的像增强器所需真空系统的真空室部分的正视图。

图中：

1、机械泵；2、分子泵；3、离子泵；4、阴极室；5、铟封室；6、阳极室；

7、传递腔；8、挡板阀；9、烘箱。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1-3所示，根据本实用新型实施例所述的一种用于高性能条纹相机的像增强器所需真空系统，包括依次设置的阴极室4、铟封室5和阳极室6，其特征在于，所述阴极室4和铟封室5之间以及铟封室5和阳极室6之间均通过传递腔7相互连通，所述传递腔7的中部设置有与该传递腔7对应的挡板阀8；所述阴极室4、铟封室5和阳极室6各通过管路分别连接有机械泵1、分子泵2、离子泵3。

在本实用新型的一个具体实施例中，所述真空系统的顶部固定连接有烘箱9。

在本实用新型的一个具体实施例中，所述传递腔7内设置有分别与所述阴极室4、铟封室5和阳极室6对应小车行走机构。

在本实用新型的一个具体实施例中，所述管路采用RSV316不锈钢材料。

在本实用新型的一个具体实施例中，所述机械泵1为涡旋干泵。

为了方便理解本实用新型的上述技术方案，以下通过具体使用方式上对本实用新型的上述技术方案进行详细说明。

通过涡旋干泵、分子泵、离子泵组成的超高真空获得系统，可实现腔体真空度要求：极限空载真空度优于5X10^-7Pa；正常工作真空度优于5X10^-6Pa，系统总漏率优于1×10^-10Torr·L/S，且泵组噪音不能高于40分贝。

真空管路要求有良好的热稳定性，不变形、不扭曲，因此，真空管路选用适合高温下超高真空用的RSV316不锈钢等材料。

真空系统主要包含3个功能腔室：阴极室4放置以及预处理阴极制作材料；阳极室6放置并预处理MCP组件且可以测量MCP组件性能；铟封室5阴极制作以及热铟封；阴极室4与铟封室5以及阳极室6与铟封室5之间利用传递腔7实现连接。通过烘箱9、三个功能腔室以及真空管道可实现烘烤去气功能，烘烤温度200℃～250℃，可长时间烘烤40小时。

本方案的真空系统可满足真空除气；阴极制作；阴极制作材料以及MCP组件转移；铟封；MCP烘烤、除气、电子清刷、老练等工艺所需的真空度。

本方案的真空系统可长期不间断工作，可通过常用的各种安全措施保障其运行安全。

传递腔7中间需要设置有与其对应的矩形挡板阀8，用于隔绝各个功能腔室之间的真空。

具体使用时：1首先先打开机械泵1给系统抽真空，机械泵1打开后设备整个运转过程中不再关闭，分子泵2及离子泵3必须在机械泵1提供的真空环境下才能开始工作；

2当真空度达到0.1Pa时，开启分子泵2抽真空，直到真空度达到10^-5Pa时，保持分子泵2运转不停止；

3开启离子泵3，对残存在真空腔室内壁表面的残余气体进行离子冲刷，进一步增加腔室真空度，直至真空度达到超高真空-10^-6Pa或以上水平；

4真空度达到超高真空后，使用小车行走机构运送试验样品在阴极室4、铟封室5和阳极室6三个腔体内移动，完成热铟封等试验检测操作。

综上所述，借助本新型实用的上述技术方案，可使获得的工作真空度可以达到10^-6Pa数量级；可对MCP进行高温烘烤以及电子冲刷去气；可满足多种工艺需求。

本实用新型不局限于上述最佳实施方式，任何人在本实用新型的启示下都可得出其他各种形式的产品，但不论在其形状或结构上作任何变化，凡是具有与本申请相同或相近似的技术方案，均落在本实用新型的保护范围之内。