1.一种酸槽,其特征在于,包括槽体和若干个隔板,所述隔板设置于所述槽体内并将所述槽体分隔为多个相互独立的容置空间。
2.如权利要求1所述的酸槽,其特征在于,所述槽体内部相对设置的两个侧壁上各设置有若干个隔板凹槽,所述隔板插入至所述隔板凹槽中以固定在所述槽体内。
3.如权利要求2所述的酸槽,其特征在于,所述槽体内部相对设置的两个侧壁上各设置有多个所述隔板凹槽,多个所述隔板凹槽均匀间隔分布。
4.如权利要求3所述的酸槽,其特征在于,所述隔板凹槽沿所述槽体的侧壁延伸至所述槽体的底部。
5.如权利要求2所述的酸槽,其特征在于,所述槽体内部相对设置的两个侧壁上各设置有多个晶圆凹槽,晶圆通过所述晶圆凹槽固定在所述槽体内。
6.如权利要求5所述的酸槽,其特征在于,所述晶圆凹槽沿所述槽体的侧壁延伸至所述槽体的底部。
7.如权利要求5所述的酸槽,其特征在于,两个所述隔板凹槽之间的槽体内部相对设置的两个侧壁上各设置有一个所述晶圆凹槽。
8.如权利要求7所述的酸槽,其特征在于,所述晶圆凹槽与相邻的两个隔板凹槽的距离相等。
9.如权利要求5所述的酸槽,其特征在于,所述隔板凹槽和所述晶圆凹槽的尺寸相同。
10.如权利要求5所述的酸槽,其特征在于,所述隔板凹槽的宽度与所述晶圆凹槽的尺寸不同。
11.如权利要求1所述的酸槽,其特征在于,所述隔板与槽体为一体成型结构。
12.如权利要求1至10中任一项所述的酸槽,其特征在于,所述隔板的一部分延伸至所述槽体外部。