1.一种场致发射电子源，其特征在于：
包括由金属丝构成的加热器、与所述加热器接合的金属部件、在产生了电场时从前端发射电子的六硼化物电极头、独立于所述金属部件和所述六硼化物电极头的石墨片，
所述六硼化物电极头，配置成在与所述加热器延伸的方向相反的方向上从所述金属部件的内部突出，并因所述石墨片而在结构上不与所述金属部件接触，而且具有所述六硼化物电极头、石墨片和金属部件机械接触且电接触的结构。
2.根据权利要求1所述的场致发射电子源，其特征在于：
由所述金属丝构成的加热器是钨、钽、铌或钼制成的。
3.根据权利要求1所述的场致发射电子源，其特征在于：
所述金属部件是钽、铌、钨或钼的金属管。
4.根据权利要求1所述的场致发射电子源，其特征在于：
所述六硼化物电极头是在前端具有尖锐部的单晶电极头。
5.根据权利要求1所述的场致发射电子源，其特征在于：
所述石墨片是热解石墨片。
6.一种场致发射电子源，其特征在于，包括：
具有尖锐部的六硼化物单晶电极头；
石墨片，其具有以使所述尖锐部露出的方式夹持所述六硼化物单晶电极头并经由多个点接触点与所述六硼化物单晶电极头接触的结构；
金属部件，其具有经由所述石墨片夹持所述六硼化物单晶电极头并经由多个点接触点与所述石墨片接触的结构；和
与所述金属部件接合的金属制加热器。
7.根据权利要求6所述的场致发射电子源，其特征在于，
所述尖锐部是n为奇数的(01n)面。
8.一种场致发射电子源的制造方法，其特征在于，包括：
准备具有尖锐部的六硼化物单晶电极头的步骤；
配置石墨片，使其以所述尖锐部露出的方式夹持所述六硼化物单晶电极头的步骤；
配置金属管，使得配置成夹持所述六硼化物单晶电极头的所述石墨片配置在其内部的步骤；
压接所述金属管，使得所述石墨片夹在所述金属管与所述六硼化物单晶电极头之间的步骤；和
在所述金属管上接合金属制加热器的步骤。
9.根据权利要求8所述的场致发射电子源的制造方法，其特征在于，
所述尖锐部通过集束离子束或电解研磨来形成。
10.一种电子束装置，其特征在于，包括：
权利要求1所述的场致发射电子源；
载置试样的试样台；和
对所述试样台上的试样照射从所述场致发射电子源发射的电子的电子光学系统。
11.一种电子束装置，其特征在于，具有：
权利要求6所述的场致发射电子源；
载置试样的试样台；和
对所述试样台上的试样照射从所述场致发射电子源发射的电子的电子光学系统。