场致发射电子源、其制造方法和电子束装置与流程

文档序号:15740619发布日期:2018-10-23 22:13阅读:来源:国知局
技术总结
本发明提供可稳定地加热闪蒸的六硼化物单结晶场致发射电子源,因此,本场致发射电子源具包括:金属丝(107)、与其接合的金属管(108)、发射电子的六硼化物电极头(104)、独立于金属管和六硼化物电极头的石墨片(109),六硼化物电极头配置成因石墨片而在结构上不与金属管接触,且具有六硼化物电极头、石墨片和金属管机械接触且电接触的结构。

技术研发人员:楠敏明;桥诘富博;糟谷圭吾;大嶋卓;酒井佑辅;小瀬洋一;荒井纪明
受保护的技术使用者:株式会社日立高新技术
技术研发日:2016.11.24
技术公布日:2018.10.23

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