技术特征:
技术总结
本公开的激光装置具有:激光腔,其包含一对电极,以多个脉冲重复频率中的各频率射出脉冲激光束,该脉冲激光束具有与对一对电极之间施加的施加电压对应的脉冲能量;能量检测器,其设置在脉冲激光束的光路上,检测脉冲激光束的脉冲能量;电压控制部,其根据目标脉冲能量和由能量检测器检测到的脉冲能量,对施加电压进行控制;以及脉冲能量控制部,其以基准能量为变动中心,使目标脉冲能量以与多个脉冲重复频率分别对应的调制频率周期地变动。
技术研发人员:浅山武志
受保护的技术使用者:极光先进雷射株式会社
技术研发日:2016.12.05
技术公布日:2019.06.14