本发明属于半导体设备技术领域，特别是涉及一种宏观划痕长度测量装置。
背景技术：
目检(visualinspection，vi)在半导体领域具有重要的意义，使用目检设备可以检测出半导体工艺过程中产生的很多种缺陷。其中一种目检可以检测到的重要缺陷为宏观划痕(macroscratch)，宏观划痕对芯片的性能会产生严重的不良影响。目检设备被广泛应用于确定宏观划痕的总长度以满足客户的需求。现有的目检设备如图1及图2所示，其中图1为所述目检设备的局部立体图，图2为所述目检设备中的夹持有待测晶圆的旋转夹具的俯视图。由图1及图2可知，现有的目检设备包括：旋转夹具11及光源13，所述旋转夹具11适于夹持待测晶圆14，所述旋转夹具11的下表面与一驱动装置12相连接，适于在所述驱动装置12的驱动下旋转，所述光源13位于所述旋转夹具11上表面的一侧，适于在目检时提供强光，其中，图1中的箭头表示强光。
然而，要想得到宏观划痕的长度，需要熟练的工程师操作，这无疑对测量提出更高的要求，并且不同的人员操作量测出来的结果也会不尽相同，从而不利于质量的控制。另外，在外延生长工艺后晶圆的背面会存在大量的背部缺陷，工程师一般会使用目检设备对这些背部缺陷进行观测，但使用目检设备只能观测到这些背部缺陷的大致结构，而不能得到这些背部缺陷的精确尺寸。
技术实现要素：
鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种宏观划痕长度测量装置，用于解决现有技术中的目检设备在对宏观划痕进行检测时存在的不能精确量测宏观划痕的总长度的问题。
为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种宏观划痕长度测量装置，所述宏观划痕长度测量装置包括：旋转夹具及光源，所述旋转夹具适于夹持待测晶圆，所述旋转夹具的下表面与一第一驱动装置相连接，适于在所述第一驱动装置的驱动下旋转，所述光源位于所述旋转夹具上表面的一侧，适于提供强光；所述旋转夹具的顶部沿其周向设有滑槽；所述宏观划痕长度测量装置还包括：
标尺，所述标尺的上表面沿其长度方向设有刻度，所述标尺的一端经由一固定装置固定于所述滑槽处；所述固定装置一端置于所述滑槽内，且可带动所述标尺以所述固定装置的轴向中心线为中心在平行于所述旋转夹具上表面的平面内旋转及带动所述标尺沿所述滑槽的长度方向滑动。
作为本发明的宏观划痕长度测量装置的一种优选方案，所述标尺的数量为一个，所述标尺的长度大于或等于所述待测晶圆的直径。
作为本发明的宏观划痕长度测量装置的一种优选方案，所述标尺的数量为两个，两个所述标尺的长度之和大于或等于所述待测晶圆的直径。
作为本发明的宏观划痕长度测量装置的一种优选方案，所述标尺的端面形状为圆形。
作为本发明的宏观划痕长度测量装置的一种优选方案，所述标尺可在平行于所述旋转夹具上表面的平面内360°旋转。
作为本发明的宏观划痕长度测量装置的一种优选方案，所述标尺的上表面设有两排平行对应的刻度，其中一排刻度位于所述标尺上表面的一侧，另一排刻度位于所述标尺上表面的另一侧。
作为本发明的宏观划痕长度测量装置的一种优选方案，所述刻度的最小单位为毫米。
作为本发明的宏观划痕长度测量装置的一种优选方案，所述标尺的材料为耐高温透明材料。
作为本发明的宏观划痕长度测量装置的一种优选方案，所述标尺的材料为石英。
作为本发明的宏观划痕长度测量装置的一种优选方案，所述固定装置为螺钉。
作为本发明的宏观划痕长度测量装置的一种优选方案，所述宏观划痕长度测量装置还包括第二驱动装置，所述第二驱动装置与所述固定装置相连接，适于驱动所述固定装置带动所述标尺以所述固定装置的轴向中心线为中心在平行于所述旋转夹具上表面的平面内旋转及带动所述标尺沿所述滑槽的长度方向滑动。
如上所述，本发明的宏观划痕长度测量装置，具有以下有益效果：本发明通过在旋转夹具的顶部开设沿其周向设有滑槽，并增设一具有刻度的标尺，且将标尺的一端经由一固定装置固定于滑槽处，并保证标尺可以固定点为中心在平行于旋转夹具上表面的平面内旋转，同时，固定装置一端置于滑槽内，且可带动标尺沿滑槽的长度方向滑动，上述测量装置可以在目检的同时精确测量晶圆表面任意位置处的宏观划痕；本发明的宏观划痕长度测量装置具有结构简单、操作方便及测量精度高等优点。
附图说明
图1及图2显示为现有技术的目检设备的结构示意图。
图3显示为本发明实施例一中提供的宏观划痕长度测量装置的结构示意图。
图4显示为本发明实施例一中提供的宏观划痕长度测量装置中的旋转夹具及标尺量测晶圆表面的宏观划痕的示意图。
图5显示为本发明实施例一中提供的宏观划痕长度测量装置中的标尺的结构示意图。
图6显示为图5沿aa’方向的截面结构示意图。
图7显示为本发明实施例二中提供的宏观划痕长度测量装置中的旋转夹具及标尺量测晶圆表面的宏观划痕的示意图。
元件标号说明
11旋转夹具
12驱动装置
13光源
14待测晶圆
21旋转夹具
211滑槽
22第一驱动装置
23光源
24标尺
241刻度
242通孔
25固定装置
26待测晶圆
27宏观划痕
具体实施方式
以下通过特定的具体实例说明本发明的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点与功效。本发明还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本发明的精神下进行各种修饰或改变。
请参阅图3至图7。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本发明的基本构想，虽图示中仅显示与本发明中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的形态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局形态也可能更为复杂。
实施例一
请参阅图3及图4，本发明提供一种宏观划痕长度测量装置，所述宏观划痕长度测量装置包括：旋转夹具21及光源23，所述旋转夹具21适于夹持待测晶圆26，所述旋转夹具21的下表面与一第一驱动装置22相连接，适于在所述第一驱动装置22的驱动下旋转，所述光源23位于所述旋转夹具21上表面的一侧，适于提供强光；所述旋转夹具21的顶部沿其周向设有滑槽211；所述宏观划痕长度测量装置还包括：标尺24，所述标尺24的上表面沿其长度方向设有刻度241，所述标尺24的一端经由一固定装置25固定于所述滑槽211处；所述固定装置25一端置于所述滑槽211内，且可带动所述标尺24以所述固定装置25的轴向中心线为中心在平行于所述旋转夹具21上表面的平面内旋转及带动所述标尺24沿所述滑槽211的长度方向滑动。本发明通过在所述旋转夹具21的顶部开设沿其周向设有滑槽211，并增设一具有刻度241的标尺24，且将标尺24的一端经由所述固定装置25固定于滑槽211处，并保证标尺24可以固定点为中心在平行于旋转夹具21上表面的平面内旋转，同时，所述固定装置25一端置于所述滑槽211内，且可带动所述标尺24沿滑槽211的长度方向滑动，上述测量装置可以在目检的同时精确测量所述待测晶圆26表面任意位置处的宏观划痕27；本发明的宏观划痕长度测量装置具有结构简单、操作方便及测量精度高等优点。
作为示例，所述标尺24的数量为一个，所述标尺24的长度大于或等于所述待测晶圆26的直径。所述标尺24的长度大于或等于所述待测晶圆26的直径，可以确保所述标尺24在目检的过程中测量所述待测晶圆26表面任意位置处的宏观划痕的长度。
作为示例，所述标尺24可在平行于所述旋转夹具21上表面的平面内360°旋转，以确保所述标尺24可以量测所述待测晶圆26表面任意角度的宏观划痕的长度。
需要说明的是，为了便于显示，图3及图4中的所述标尺24表面的刻度241并没有显示出来。
作为示例，请参阅图5，所述标尺24的上表面设有两排平行对应的所述刻度241，其中一排所述刻度241位于所述标尺24上表面的一侧，另一排刻度241位于所述标尺24上表面的另一侧。当然，在其他示例中，所述标尺24的上表面也可以设置一排所述刻度241，所述刻度241为一排时，可以位于所述标尺24上表面的一侧，也可以沿所述标尺24的宽度方向横跨所述标尺24。
作为示例，所述刻度241的最小单位为毫米，以确保测量的精度；当然，在其他示例中，所述刻度241的最小单位也可以为厘米、微米等等。
作为示例，如图5所示，所述标尺24的固定端设有通孔242，所述固定装置25的一端经由所述通孔242插入所述滑槽211内，另一端位于所述标尺24的上方；即所述标尺24的一端套至于所述固定装置25上。
作为示例，所述标尺24的端面形状可以为圆形。将所述标尺24的端面设置为圆形，可以确保从任意角度均可读取所述标尺24的刻度，以确保可以从任意角度进行观测测量。
作为示例，所述标尺24的测量范围可以为但不仅限于300mm。
作为示例，所述标尺24的材料可以为耐高温透明材料；所述标尺24的材料耐高温可以确保其在高温环境下的正常使用，所述标尺24的材料透明有利于从各个角度观测测量结果，以避免所述标尺24造成观测者视线的遮挡。
作为示例，所述标尺24的材料可以为石英、透明陶瓷等等。
作为示例，所述固定装置25可以为但不仅限于螺钉。
作为示例，所述宏观划痕长度测量装置还包括第二驱动装置(未示出)，所述第二驱动装置与所述固定装置25相连接，适于驱动所述固定装置25带动所述标尺24以所述固定装置25的轴向中心线为中心在平行于所述旋转夹具21上表面的平面内旋转及带动所述标尺24沿所述滑槽211的长度方向滑动。
本发明的所述宏观划痕长度测量装置的工作原理为：在目检的过程中，如果发现所述待测晶圆26表面有宏观划痕27，则使用所述第二驱动装置驱动所述固定装置25沿所述滑槽211滑动到适当位置，优选地，使用所述第二驱动装置驱动所述固定装置25沿所述滑槽211滑动到待检测的所述宏观划痕27一端，使得所述固定装置25位于所述宏观划痕27所在直线的一侧附近；将所述固定装置25固定于所述滑槽211内，再使用所述第二驱动装置驱动所述标尺24旋转至于所述宏观划痕27平行，且所述标尺24的一边位于所述宏观划痕27附近或与所述宏观划痕27相接触，如图4所示；读取所述宏观划痕27对应的所述标尺24上的刻度241，根据所述宏观划痕27对应的所述刻度241即可精确地确定出所述宏观划痕27的长度。
实施例二
请参阅图7，本实施例还提供一种宏观划痕长度测量装置，本实施例中的所述宏观划痕长度测量装置的结构与实施例一中所述的宏观划痕长度测量装置的结构大致相同，二者的区别在于：实施例一中所述的标尺24的数量为一个，所述标尺24的长度大于或等于所述待测晶圆26的直径，在测量的过程中，使用一个所述标尺24完成对所述待测晶圆26表面的所述宏观划痕27进行测量；而本实施例中，所述标尺24的数量为两个，两个所述标尺24的长度之和大于或等于所述待测晶26圆的直径，在测量的过程中，使用所述第二驱动装置同时驱动连接两个所述标尺24的所述固定装置25沿所述滑槽211运动，优选地，使用所述第二驱动装置驱动连接两个所述标尺24的所述固定装置25沿所述滑槽211分别滑动到待检测的所述宏观划痕27两端，使得两个所述固定装置25位于所述宏观划痕27所在直线的一侧附近，且两个所述标尺24位于同一直线上，根据所述宏观划痕27对应的两个所述标尺24上的所述刻度241可以精确地确定所述宏观划痕27的长度。
综上所述，本发明提供一种宏观划痕长度测量装置，所述宏观划痕长度测量装置包括：旋转夹具及光源，所述旋转夹具适于夹持待测晶圆，所述旋转夹具的下表面与一第一驱动装置相连接，适于在所述第一驱动装置的驱动下旋转，所述光源位于所述旋转夹具上表面的一侧，适于提供强光；所述旋转夹具的顶部沿其周向设有滑槽；所述宏观划痕长度测量装置还包括：标尺，所述标尺的上表面沿其长度方向设有刻度，所述标尺的一端经由一固定装置固定于所述滑槽处；所述固定装置一端置于所述滑槽内，且可带动所述标尺以所述固定装置的轴向中心线为中心在平行于所述旋转夹具上表面的平面内旋转及带动所述标尺沿所述滑槽的长度方向滑动。本发明通过在旋转夹具的顶部开设沿其周向设有滑槽，并增设一具有刻度的标尺，且将标尺的一端经由一固定装置固定于滑槽处，并保证标尺可以固定点为中心在平行于旋转夹具上表面的平面内旋转，同时，固定装置一端置于滑槽内，且可带动标尺沿滑槽的长度方向滑动，上述测量装置可以在目检的同时精确测量晶圆表面任意位置处的宏观划痕；本发明的宏观划痕长度测量装置具有结构简单、操作方便及测量精度高等优点。
上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本发明所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本发明的权利要求所涵盖。