技术特征：
技术总结
本发明提供一种宏观划痕长度测量装置，包括：旋转夹具，所述旋转夹具的顶部沿其周向设有滑槽；光源；标尺，所述标尺的上表面沿其长度方向设有刻度，所述标尺的一端经由一固定装置固定于所述滑槽处；所述固定装置一端置于所述滑槽内，且可带动所述标尺以所述固定装置的轴向中心线为中心在平行于所述旋转夹具上表面的平面内旋转及带动所述标尺沿所述滑槽的长度方向滑动。本发明的宏观划痕长度测量装置可以在目检的同时精确测量晶圆表面任意位置处的宏观划痕；本发明的宏观划痕长度测量装置具有结构简单、操作方便及测量精度高等优点。
技术研发人员：王燕;刘源
受保护的技术使用者：上海新昇半导体科技有限公司
技术研发日：2017.01.25
技术公布日：2018.07.31