量子级联激光器的制作方法

文档序号:12684938阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种量子级联激光器,其特征在于,包括:

阶梯热沉,其壁面上开有若干个阶梯平面;

单管量子级联激光器,固定安装在所述阶梯热沉的阶梯平面上;

非球面透镜,固定安装在所述阶梯热沉的阶梯平面上,位于单管量子级联激光器的前端;以及

反射镜,其固定安装在所述阶梯热沉的阶梯平面上,位于非球面透镜的前端。

2.根据权利要求1所述的量子级联激光器,其特征在于,还包括:

外腔体,其与所述量子级联激光器机体上的腔体连接口相互固定安装;

外腔镜,其安装在所述外腔体的内部,与所述外腔体内壁面的前端相互固定。

3.根据权利要求2所述的量子级联激光器,其特征在于:所述的外腔镜为具有反射率的平行平板;所述平行平板的反射率值在30%到50%之间。

4.根据权利要求2所述的量子级联激光器,其特征在于,还包括:

半波片,安装在外腔体的内部,与所述外腔体内壁面的后端相互固定;

衍射光栅,安装在外腔体的内部,其与外腔体的内壁面相互固定,其位于所述半波片与外腔镜之间。

5.根据权利要求4所述的量子级联激光器,其特征在于,所述衍射光栅为闪耀光栅。

6.根据权利要求5所述量子级联激光器,其特征在于,在工作过程中:

单管量子级联激光器发出的光束,经过非球面透镜的准直,入射到反射镜后从腔体连接口射出,反射镜射出的光束,形成平行等距的组合光束;

从腔体连接口射出的组合光束,入射到外腔体中的半波片,所述半波片使其偏振方向旋转90度后射出;波长相同的组合光束以相近的角度入射到衍射光栅,从衍射光栅射出的组合光束,入射到外腔镜,部分组合光束穿过外腔镜后射出,另一部分光束被外腔镜反馈;

被外腔镜反馈的部分反馈光束,经过衍射光栅、半波片、反射镜与非球面透镜,原路返回到各自的单管量子级联激光器的腔体内;

单管量子级联激光器发出具有与注入反馈相同波长的光束;光束经过非球面透镜、反射镜、半波片与衍射光栅后入射外腔镜,部分光束被反馈,从原路返回,另一部分穿过外腔镜后射出。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的量子级联激光器,其特征在于,所述单管量子级联激光器的管芯烧结在次级热沉上;该次级热沉焊接在热沉座上,该热沉座固定在阶梯热沉上。

8.根据权利要求1至6中任一项所述的量子级联激光器,其特征在于,所述单管量子级联激光器的波长为3.8~12μm。

9.根据权利要求1至6中任一项所述的量子级联激光器,其特征在于,所述单管量子级联激光器的前腔面上,安装有反射率低于10%的减反膜,所述单管量子级联激光器的横模为基模。

10.根据权利要求1至6中任一项所述的量子级联激光器,其特征在于,所述反射镜为镀了金的增反膜,所述增反膜的反射率大于95%,所述非球面透镜的数值孔径NA>0.5。

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