技术特征：
技术总结
本发明公开了一种固晶机的拾取键合装置，包括驱动轴和固晶臂，固晶臂的另一端设置有能够吸取晶圆的吸取装置，吸取装置包括安装于固晶臂另一端的转盘、驱动转盘转动的驱动装置和安装于转盘的多个吸嘴，多个吸嘴围绕转盘的旋转轴线依次排列，且多个吸嘴的开口均沿转盘端面的半径向外设置，驱动装置能够驱动转盘转动以使多个吸嘴的开口依次竖直向下，且吸嘴的开口竖直向下时吸取或键合晶圆。在吸取和键合的过程中，通过旋转转盘，一次可吸取或键合多个晶圆，固晶臂摆动一次和静置消除振动的时间基本不变，但在一个固晶周期内能够完成多个晶圆的吸取和键合，提高工作效率。本发明还公开了一种包括上述拾取键合装置的固晶机。
技术研发人员：高健;周凯鹏;陈新;陈云;贺云波;杨海东
受保护的技术使用者：广东工业大学;佛山市南海区广工大数控装备协同创新研究院
技术研发日：2017.05.09
技术公布日：2017.07.14